氧化钨薄膜着退色机制的 XPS 和 XRD 被引量：3

1

作者 王晓光 江月山 +3 位作者 杨乃恒 袁磊 庞世瑾 王毓民 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期321-324,共4页

对ＷＯｘ电致变色薄膜着退色状态下的物相组份结构、离子化合价态及其相对含量的研究表明，晶体ＷＯｘ薄膜在着色状态下，是以Ｈ０．３３ＷＯ３物相为主的混合相，并存在三种价态的钨离子，氧离子则存在于非单一的化合环境中，导致Ｏｌ... 对ＷＯｘ电致变色薄膜着退色状态下的物相组份结构、离子化合价态及其相对含量的研究表明，晶体ＷＯｘ薄膜在着色状态下，是以Ｈ０．３３ＷＯ３物相为主的混合相，并存在三种价态的钨离子，氧离子则存在于非单一的化合环境中，导致Ｏｌｓ峰位的多值移动．退色态ＷＯｘ薄膜由ＷＯ３物相组成，表现为单一价态Ｗ＋６离子和主峰位为５３０．６ｅＶ峰位的Ｏｌｓ价态Ｏ－２离子特征．分析表明，ＷＯｘ薄膜的电致变色效应与薄膜物相结构和钨、氧离子化合价态及化合环境密切相关． 展开更多

关键词 电致变色 化学位移 氧化钨 薄膜 XRD XPS

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纳米碳管的STM研究 被引量：1

2

作者 高聚宁 杨海强 +4 位作者 刘宁 时东霞 江月山 薛增泉 庞世谨 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第6期755-756,共2页

本文应用扫描隧道显微镜对弧光放电方法得到的纳米碳管进行了观察。弧光放电法所产生的纳米碳管以直线型为主，并且多以束状存在。碳管束直径约２０ｎｍ，而单根碳管的直径大多在２ｎｍ到５ｎｍ之间。观察到单层碳管的原子像，其表面为... 本文应用扫描隧道显微镜对弧光放电方法得到的纳米碳管进行了观察。弧光放电法所产生的纳米碳管以直线型为主，并且多以束状存在。碳管束直径约２０ｎｍ，而单根碳管的直径大多在２ｎｍ到５ｎｍ之间。观察到单层碳管的原子像，其表面为石墨网格的六角结构。纳米碳管的原子像及单根碳管表面均未发现明显缺陷存在，这可能是它具有很高强度质量比的主要原因之一。 展开更多

关键词 STM 碳管 原子结构 纳米碳管 石墨

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有机聚合物CPU的结构形态 被引量：1

3

作者 高鸿钧 马立平 +3 位作者 杨清传 陈慧英 薛增泉 庞世谨 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第6期726-728,共3页

本文用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）研究了有机氰基－苯基－脲（ＣＰＵ）的表面结构。在不同的ＣＰＵ薄膜制备条件下，得到了不同的ＣＰＵ薄膜的ＳＴＭ像，表明制备条件与成膜结构的密切关系。观察到了ＣＰＵ薄膜中晶区和非晶区的存在，证... 本文用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）研究了有机氰基－苯基－脲（ＣＰＵ）的表面结构。在不同的ＣＰＵ薄膜制备条件下，得到了不同的ＣＰＵ薄膜的ＳＴＭ像，表明制备条件与成膜结构的密切关系。观察到了ＣＰＵ薄膜中晶区和非晶区的存在，证实了聚合物晶体中晶区和非晶区的模型。 展开更多

关键词 STM CPU薄膜 表面结构 有机聚合物

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因子分析法在Ta_2O_5/Ta俄歇深度剖析上的应用 被引量：2

4

作者 李敏 张强基 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第1期13-20,共8页

将一种基于多元统计方法的因子分析法用于俄歇深度剖面分析,采用Ar^+离子轰击Ta_2O_5/Ta样品,俄歇峰采用具有高表面灵敏度和化学态灵敏的NOO俄歇跃迁,用因子分析可得到Ta的三种可区别的不同化学态即Ta、Ta_2O_5和Ta_xO_y,并且能提高探... 将一种基于多元统计方法的因子分析法用于俄歇深度剖面分析,采用Ar^+离子轰击Ta_2O_5/Ta样品,俄歇峰采用具有高表面灵敏度和化学态灵敏的NOO俄歇跃迁,用因子分析可得到Ta的三种可区别的不同化学态即Ta、Ta_2O_5和Ta_xO_y,并且能提高探测灵敏度。 展开更多

关键词 俄歇电子谱法 氧化钽 钽 因子分析

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薄膜形成的一种新理论 被引量：1

5

作者 吴全德 薛增泉 《真空科学与技术》 CSCD 1992年第5期363-370,共8页

目前的理论还不能解释较多的薄膜形成的各种现象。在前文“原子团、超微粒子及其功能薄膜”的基础上,针对单个粒子的毛细作用理论加以推广,提出在单位基底表面上沉积外来原子所形成的成核和生长的统计热力学理论。它能较好地讨论成核生... 目前的理论还不能解释较多的薄膜形成的各种现象。在前文“原子团、超微粒子及其功能薄膜”的基础上,针对单个粒子的毛细作用理论加以推广,提出在单位基底表面上沉积外来原子所形成的成核和生长的统计热力学理论。它能较好地讨论成核生长和外延生长的物理条件,推导出有关公式;讨论的结论与文献积累的实验结果定性相符,能使有关现象得到解释。但薄膜的形成问题极其复杂,有关材料和工艺问题都有待深入研究。 展开更多

关键词 薄膜物理学 沉积 成核 生长

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原子团、超微粒子及其功能薄膜 被引量：2

6

作者 吴全德 薛增泉 《真空科学与技术》 CSCD 1992年第5期349-362,共14页

超微粒子系指1～100nm之间的粒子。由几个原子至10~5个原子组成的粒子称为原子团。原子团的超微粒子的表面原子数与其原子总数之比随粒子尺寸减小而增大,表面效应更趋明显;其量子效应与尺寸大小有明显依赖关系。它们有独特的物理和化学... 超微粒子系指1～100nm之间的粒子。由几个原子至10~5个原子组成的粒子称为原子团。原子团的超微粒子的表面原子数与其原子总数之比随粒子尺寸减小而增大,表面效应更趋明显;其量子效应与尺寸大小有明显依赖关系。它们有独特的物理和化学特性。近些年发展较快,各自成为新的学科领域。薄膜形成的初期会出现原子团,大多数情况是接着出现超微粒子。因此研究原子团和超微粒子的形成和生长也是薄膜研究的基础。本文对原子团和超微粒子作有选择的评述,对含有原子团和超微粒子的功能薄膜作简要的评论和介绍。 展开更多

关键词 原子团 超微粒子 薄膜 功能薄膜

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有机功能复合薄膜在纳米电子学中应用的研究

7

作者 高鸿钧 赵文斌 +1 位作者 边志喜 薛增泉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期247-247,共1页

有机功能复合薄膜在纳米电子学中应用的研究高鸿钧，赵文斌，边志喜，薛增泉（中科院北京真空物理开放实验室和北京大学无线电电子学系）纳米科学与技术（ＮａｎｏｍｅｔｅｒＳｃａｌｅＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）作为... 有机功能复合薄膜在纳米电子学中应用的研究高鸿钧，赵文斌，边志喜，薛增泉（中科院北京真空物理开放实验室和北京大学无线电电子学系）纳米科学与技术（ＮａｎｏｍｅｔｅｒＳｃａｌｅＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）作为二十一世纪的科学与技术，它将会对未... 展开更多

关键词 纳米电子学 复合薄膜 纳米科学 表面科学 科学技术 技术会议 电学双稳态 信息存储 无线电电子学 纳米科技

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氧化镍及氧化钨薄膜电致变色机制的研究

8

作者 王晓光 江月山 +2 位作者 杨乃恒 袁磊 王毓民 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期226-232,共7页

通过ZrO_2膜层与NiOx，WOx膜层的不同组合，在液态电解质下，测得不同电致变色膜系的电化学特性及相应着、脱色状态的光透射性能。证明了ZrO2膜层具有导通离子而隔断电子的离子导体层特性，并对NiOx膜层的变色机制进行了探讨。用X射线... 通过ZrO_2膜层与NiOx，WOx膜层的不同组合，在液态电解质下，测得不同电致变色膜系的电化学特性及相应着、脱色状态的光透射性能。证明了ZrO2膜层具有导通离子而隔断电子的离子导体层特性，并对NiOx膜层的变色机制进行了探讨。用X射线衍射方法对不同状态下NiOx，WOx薄膜的物相分析表明：电致变色反应中的阳离子注入膜层，使薄膜向有序化排列变化，共产生晶格类型的转变。 展开更多

关键词 电致变色 离子导电层 晶格晶胞 氧化镍 薄膜

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用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统

9

作者 高鸿钧 刘惟敏 +3 位作者 赵兴珏 于洪滨 薛增泉 肖桂里 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第3期204-210,共7页

本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS... 本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS部分的分辨本领和灵敏度进行了测试:选定质荷比为149的谱峰,得到该质谱计的分辨本领为165;该质谱计对Ar^(40)的最小可检分压强为4.0×10^(-6)Pa。本文也给出了ICB沉积聚乙烯薄膜的飞行时间质谱及其初步分析。 展开更多

关键词 ICB TOFMS 金属超微粒子 薄膜

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纳米硅表面与界面的扫描隧道显微镜研究

10

作者 高聚宁 杨海强 +5 位作者 刘宁 时东霞 江月山 薛增泉 庞世谨 何宇亮 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第6期751-754,共4页

本文应用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ），对使用等离子体增强化学气相沉积法（ＰＥＣＶＤ）制备的纳米硅（ｎｃ－Ｓｉ：Ｈ）薄膜进行了研究，得到颗粒上以及颗粒间界的原子结构图像，从图像上可以得出：（１）纳米硅薄膜是由许多不同大小的... 本文应用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ），对使用等离子体增强化学气相沉积法（ＰＥＣＶＤ）制备的纳米硅（ｎｃ－Ｓｉ：Ｈ）薄膜进行了研究，得到颗粒上以及颗粒间界的原子结构图像，从图像上可以得出：（１）纳米硅薄膜是由许多不同大小的颗粒所组成。这些颗粒同时又是由更小的微颗粒所组成。（２）微颗粒的表面及界面原子排列可以分为四种形式；环状结构，线状结构，网状结构以及完全无规的随机排列。（３）观察到环状结构不仅存在于界面，而且普遍存在于微颗粒的表面。本文从机理上对以上各结构的生成机理进行了初步的讨论。 展开更多

关键词 微电子材料 纳米硅 扫描隧道显微镜 原子结构

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俄歇定量分析基体效应校正因子的获得

11

作者 杨新菊 陆明 张强基 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第3期180-185,共6页

本文探试了一种俄歇定量分析基体效应校正因子获取的新方法。通过测量淀积过程中的俄歇强度——时间曲线,并对此进行拟合,得到定量分析所需的相对背散射因子和相对非弹性碰撞平均自由程。将它们用于合金样品的定量分析,得到了较好的结... 本文探试了一种俄歇定量分析基体效应校正因子获取的新方法。通过测量淀积过程中的俄歇强度——时间曲线,并对此进行拟合,得到定量分析所需的相对背散射因子和相对非弹性碰撞平均自由程。将它们用于合金样品的定量分析,得到了较好的结果。实验表明,非弹性碰撞平均自由程效应的校正和背散射因子的校正对定量分析是同样重要的。 展开更多

关键词 俄歇电子谱法 定量分析 合金 表面

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Pd/a-Si双层膜退火后的两种新亚稳相 被引量：2

12

作者 吴学华 张庶元 吴自勤 《电子显微学报》 CAS CSCD 1993年第2期153-153,共1页

近些年来,人们在Pd₈₀Si₂₀玻璃合金中发现大量的亚稳相。然而对Pd/a-Si双层膜的一些实验结果（IERS和TEM）也发现低温退火后存在少量的未知结构,本文针对这个问题对Pd/a-Si双层膜低温退... 近些年来,人们在Pd₈₀Si₂₀玻璃合金中发现大量的亚稳相。然而对Pd/a-Si双层膜的一些实验结果（IERS和TEM）也发现低温退火后存在少量的未知结构,本文针对这个问题对Pd/a-Si双层膜低温退火进行了研究。发现在组分为含Si 34at%的退火样品（185C）中局部区域存在的两种亚稳相（NSA和NSB）,并确定了其结构。结构分析方法是利用二张不同的电子衍射图, 展开更多

关键词 金属玻璃 钯硅合金 双层膜 亚稳相

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验证键应弛豫模型的一个特例(英文)

13

作者 赵玉峰 薛增泉 庞世瑾 《北京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期119-124,共6页

在绝热近似下利用两种独立的紧束缚模型计算了Ｓｉ单晶（金刚石结构）沿其自然解理面（１１１）面解理所需的能量。结果表明，单位１×１面积所需的解理能正好等于晶体中Ｓｉ原子之间紧束缚键能的一半。这一结果验证了本文作者最近... 在绝热近似下利用两种独立的紧束缚模型计算了Ｓｉ单晶（金刚石结构）沿其自然解理面（１１１）面解理所需的能量。结果表明，单位１×１面积所需的解理能正好等于晶体中Ｓｉ原子之间紧束缚键能的一半。这一结果验证了本文作者最近提出的键应弛豫模型。 展开更多

关键词 紧束缚 结合能 键应弛豫模型 硅 单晶

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氧化锌纳米薄膜材料的制备及AES,XPS研究

14

作者 文全胜 潘孝仁 +5 位作者 戴慕仉 陆元成 王声乐 张强基 张勇 庞世瑾 《真空科学与技术》 CSCD 1995年第5期356-362,共7页

利用直流气体放电活化反应蒸发方法制备了ZnO纳米薄膜，运用多种分析手段（AES，XPS，SEM，XRD等）研究了ZnO纳米薄膜的表面形貌、组成、结构以及表面性质，讨论了ZnO纳米薄膜的AES和XPS谱线宽度与粒径之间的关系，解释谱线加宽的基本... 利用直流气体放电活化反应蒸发方法制备了ZnO纳米薄膜，运用多种分析手段（AES，XPS，SEM，XRD等）研究了ZnO纳米薄膜的表面形貌、组成、结构以及表面性质，讨论了ZnO纳米薄膜的AES和XPS谱线宽度与粒径之间的关系，解释谱线加宽的基本原因。 展开更多

关键词 纳米薄膜 俄歇电子能谱 氧化锌 制备

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(Ti,Al)N薄膜的升温出气特性研究

15

作者 马乾廷 谢子燕 庞世瑾 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第5期356-361,共6页

介绍了采用多弧离子镀方法在不锈钢表面镀覆(Ti,Al)N薄膜,并对膜的结构、表面成分和形貌进行了简单分析,用热出气方法研究其出气特性,并与不锈钢的热出气性能进行比较,发现在不锈钢表面镀覆一层(Ti,Al)N膜可以有效地阻挡不锈钢体内氢扩... 介绍了采用多弧离子镀方法在不锈钢表面镀覆(Ti,Al)N薄膜,并对膜的结构、表面成分和形貌进行了简单分析,用热出气方法研究其出气特性,并与不锈钢的热出气性能进行比较,发现在不锈钢表面镀覆一层(Ti,Al)N膜可以有效地阻挡不锈钢体内氢扩散和碳偏析,因此(Ti,Al)N是比较理想的真空材料。 展开更多

关键词 不锈钢 氮化钛 氮化铝 薄膜 离子镀

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