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微机械加工中的RIE技术
被引量：
2
1
作者
孙承龙
王德宁
王渭源
《传感器技术》
CSCD
1992年第6期8-11,共4页
简述了反应离子刻蚀(RIE)技术在微型传感器部件加工制造中的应用,报道了采用NF_3、SF_6等气体反应离子刻蚀Si的实验结果,研制出了φ300μm的微型Si齿轮。
关键词
离子刻蚀
RIE微机械加工
传感器
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职称材料
题名
微机械加工中的RIE技术
被引量：
2
1
作者
孙承龙
王德宁
王渭源
机构
中科院传感技术联合开放实验室
出处
《传感器技术》
CSCD
1992年第6期8-11,共4页
文摘
简述了反应离子刻蚀(RIE)技术在微型传感器部件加工制造中的应用,报道了采用NF_3、SF_6等气体反应离子刻蚀Si的实验结果,研制出了φ300μm的微型Si齿轮。
关键词
离子刻蚀
RIE微机械加工
传感器
Keywords
Reactive ion etch Sidewall Surface roughness
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
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作者
出处
发文年
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1
微机械加工中的RIE技术
孙承龙
王德宁
王渭源
《传感器技术》
CSCD
1992
2
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