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硅基底薄膜波导在VLSI光互连中的应用研究
被引量:
2
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作者
祖继锋
耿完桢
+3 位作者
洪晶
余宽豪
严金龙
陈学良
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
1992年第6期1-4,共4页
关键词
硅基底
光波导
超大规模
集成电路
在线阅读
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职称材料
题名
硅基底薄膜波导在VLSI光互连中的应用研究
被引量:
2
1
作者
祖继锋
耿完桢
洪晶
余宽豪
严金龙
陈学良
机构
哈尔滨工业大学应用物理系
中科院上海冶金所微电子分部
出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
1992年第6期1-4,共4页
基金
863计划资助课题
关键词
硅基底
光波导
超大规模
集成电路
Keywords
Si matrix
Optical waveguide
Optical interconnection
VLSI
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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作者
出处
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1
硅基底薄膜波导在VLSI光互连中的应用研究
祖继锋
耿完桢
洪晶
余宽豪
严金龙
陈学良
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
1992
2
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职称材料
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