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硅基微机械加工技术
被引量：
5
1
作者
袁明权
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第8期6-10,共5页
阐明了微机电系统（ＭＥＭＳ）的学科内涵，概述了体微机械加工技术、表面微机械加工技术和复合微机械加工技术的特点，运用具体实例对三种硅基微机械加工技术的基本制作工艺过程进行了讨论。
关键词
硅基
微机电系统
微机械加工技术
陀螺仪
在线阅读
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职称材料
题名
硅基微机械加工技术
被引量：
5
1
作者
袁明权
机构
中物院电子工程研究所先进传感器与执行器研究中心
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第8期6-10,共5页
文摘
阐明了微机电系统（ＭＥＭＳ）的学科内涵，概述了体微机械加工技术、表面微机械加工技术和复合微机械加工技术的特点，运用具体实例对三种硅基微机械加工技术的基本制作工艺过程进行了讨论。
关键词
硅基
微机电系统
微机械加工技术
陀螺仪
Keywords
MEMS
micro-machining
gyroscope
分类号
TH－39 [机械工程]
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题名
作者
出处
发文年
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1
硅基微机械加工技术
袁明权
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001
5
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