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塑料基底a-Si∶H TFT制备技术 被引量:1
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作者 姚建可 许宁生 +3 位作者 邓少芝 陈军 佘峻聪 王彬 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期542-545,共4页
采用PECVD工艺,在300℃下在50μm厚的Kapton E高分子塑料片上制备了底栅结构a-Si∶H TFT阵列(20×20)。用傅里叶变换红外光谱仪表征了a-Si∶H薄膜的结构,用二探针法和四探针法分别表征了a-Si∶H薄膜和n+a-Si∶H薄膜的电导率。a-S... 采用PECVD工艺,在300℃下在50μm厚的Kapton E高分子塑料片上制备了底栅结构a-Si∶H TFT阵列(20×20)。用傅里叶变换红外光谱仪表征了a-Si∶H薄膜的结构,用二探针法和四探针法分别表征了a-Si∶H薄膜和n+a-Si∶H薄膜的电导率。a-Si∶H薄膜中的H(原子数分数)约为15.6%,H主要以Si H和Si H2基团的形式存在,其电导率为8.2×10^-78.8×10^-6S/cm;n+a-Si∶H薄膜的电导率为3.8×10^-3S/cm。所制备的TFT具有以下性能:Ioff≈1×10^-14A,Ion≈1×10-9A,Ion/Ioff≈105,Vth≈5V,μ≈0.113cm2/(V.s),S≈2.5V/dec,满足TFT-LCD等平板显示器件的开关寻址电路要求。 展开更多
关键词 塑料基底 a-Si∶H TFT 柔性显示
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ZnqCl_2薄膜与器件的制备及其光电特性 被引量:4
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作者 刘彭义 许宁生 +4 位作者 赵福利 邓少芝 陈军 叶建青 龚孟濂 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期412-416,共5页
用热蒸发技术成功地制备了新合成的二氯取代的八羟基喹啉锌(ZnqCl2)薄膜,并制作成有机发光器件。紫外吸收谱分析表明,器件在225,290,350,392 5nm处有4个吸收峰。光致发光和电致发光研究表明,ZnqCl2薄膜有良好的发光特性,器件的发光亮度... 用热蒸发技术成功地制备了新合成的二氯取代的八羟基喹啉锌(ZnqCl2)薄膜,并制作成有机发光器件。紫外吸收谱分析表明,器件在225,290,350,392 5nm处有4个吸收峰。光致发光和电致发光研究表明,ZnqCl2薄膜有良好的发光特性,器件的发光亮度大。并分析了ZnqCl2薄膜的能级结构。 展开更多
关键词 ZnqCl2薄膜 二氯取代-八羟基喹啉锌薄膜 光电特性 制备 有机电致发光器件 热蒸发技术 能级结构
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