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纳米技术在提高热电材料性能上的应用现状及发展趋势 被引量:4
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作者 罗婷 任山 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期50-53,共4页
综述了形成超晶格结构、纳米线(或纳米管)和纳米复合结构3种纳米技术在提高热电材料性能(ZT值)上的研究现状、存在的困难及发展趋势,同时指出纳米技术在提高热电材料性能上的应用还需要进一步完善理论模型,优化样品制备的实验手段,了解... 综述了形成超晶格结构、纳米线(或纳米管)和纳米复合结构3种纳米技术在提高热电材料性能(ZT值)上的研究现状、存在的困难及发展趋势,同时指出纳米技术在提高热电材料性能上的应用还需要进一步完善理论模型,优化样品制备的实验手段,了解材料微观结构以及确定结构与性能之间的关系。 展开更多
关键词 热电材料 纳米技术 超晶格结构 纳米线(或纳米管) 纳米复合结构
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反蛋白石结构光子晶体制备技术 被引量:13
2
作者 林旭彬 赵玉周 +4 位作者 李静 胡巧燕 江绍基 蔡志岗 李宝军 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期1022-1030,共9页
光子晶体是一种具有光子带隙的新型材料 ,由于其可以控制和抑制光子运动的特性 ,在光通讯领域具有广阔的应用前景。反蛋白石结构是光子晶体一种重要的结构 ,由于其制备方法简便、成本低廉而受到人们的普遍关注。本文在介绍目前常用的几... 光子晶体是一种具有光子带隙的新型材料 ,由于其可以控制和抑制光子运动的特性 ,在光通讯领域具有广阔的应用前景。反蛋白石结构是光子晶体一种重要的结构 ,由于其制备方法简便、成本低廉而受到人们的普遍关注。本文在介绍目前常用的几种制备光子晶体技术的基础上 ,详细阐述了制备反蛋白石结构光子晶体的各种技术和方法。 展开更多
关键词 反蛋白石 光子晶体 一维 光子带隙 二维 领域 新型材料 光通讯 结构光 制备技术
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稀土元素掺杂长余辉发光材料研究的最新进展 被引量:67
3
作者 李成宇 苏锵 邱建荣 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期19-27,共9页
介绍了长余辉材料的历史和近几年的发展。对长余辉材料中的一些问题 ,如余辉机理等进行了总结和探讨。从稀土元素变价化学的角度出发讨论了稀土离子在长余辉材料中的作用 ,介绍了长余辉材料设计的一些想法。提出了对长余辉材料今后发展... 介绍了长余辉材料的历史和近几年的发展。对长余辉材料中的一些问题 ,如余辉机理等进行了总结和探讨。从稀土元素变价化学的角度出发讨论了稀土离子在长余辉材料中的作用 ,介绍了长余辉材料设计的一些想法。提出了对长余辉材料今后发展的看法。 展开更多
关键词 稀土元素掺杂 发光材料 长余辉材料 稀土离子 变价化学 发展
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基于非对称F-P滤波器的光纤光栅解调技术 被引量:9
4
作者 梁有程 江绍基 +2 位作者 余志强 蔡志岗 李宝军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第6期906-909,共4页
介绍了利用非对称光纤Fabry-Préot(F-P)腔作为边沿滤波器的光纤光栅波长移位检测方案。基于薄膜干涉理论对该非对称F-P腔的反射率响应关系进行计算与分析,得出该F-P腔的结构参数,改善了普通F-P腔的反射特性,具有线性范围宽和线性... 介绍了利用非对称光纤Fabry-Préot(F-P)腔作为边沿滤波器的光纤光栅波长移位检测方案。基于薄膜干涉理论对该非对称F-P腔的反射率响应关系进行计算与分析,得出该F-P腔的结构参数,改善了普通F-P腔的反射特性,具有线性范围宽和线性度好的优点。利用该F-P腔的某一线性滤波边缘,将传感光栅的波长信息转化为功率信息进行检测,可完成光纤光栅的传感波长解调。采用该检测方案进行了光纤光栅应变传感实验,实现了在7 nm范围内的波长线性解调,测量波长分辨率为0.01nm。 展开更多
关键词 光纤光栅 解调 F-P腔
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一种蓝色有机发光材料的合成及性质 被引量:6
5
作者 袁继兵 梁万里 +2 位作者 苏树江 石建新 龚孟濂 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期207-209,共3页
A novel blue luminescent compound with both hole and electron transplanting groups, 2-(4-(N-ethylcarbazolyl))imidazo\phenanthroline(ECIP), was synthesized. The composition of the compound was confirmed by elemental an... A novel blue luminescent compound with both hole and electron transplanting groups, 2-(4-(N-ethylcarbazolyl))imidazo\phenanthroline(ECIP), was synthesized. The composition of the compound was confirmed by elemental analysis, MS and 1H NMR. Uv-Vis absorption, fluorescence, quantum yield determination and thermal analysis indicate this compound is an excellent blue luminescent material. 展开更多
关键词 蓝色发光材料 空穴传导 电子传导 咔唑 邻啡咯啉
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高效率有机蓝光和白光电致发光器件 被引量:12
6
作者 王振 陈双文 周翔 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期715-719,共5页
以蓝光材料FIrpic同时掺杂空穴传输层TCTA和电子传输层TPBI,制备了具有双发光层的高效率蓝光器件(D-BOLED),D-BOLED最大发光效率达23.4 cd/A,比单发光层蓝光器件(S-BOLED)提高了约36.8%。这是因为双发光层结构能够更有效地利用扩散到激... 以蓝光材料FIrpic同时掺杂空穴传输层TCTA和电子传输层TPBI,制备了具有双发光层的高效率蓝光器件(D-BOLED),D-BOLED最大发光效率达23.4 cd/A,比单发光层蓝光器件(S-BOLED)提高了约36.8%。这是因为双发光层结构能够更有效地利用扩散到激子复合界面两边载流子传输层的三线态激子。结合基于DCJTB的颜色转换层,实现了色坐标为(0.33,0.33)、最大效率为10.7 cd/A的白光发射。 展开更多
关键词 有机蓝光器件 有机白光器件 双发光层 颜色转换层
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ZnqCl_2薄膜与器件的制备及其光电特性 被引量:4
7
作者 刘彭义 许宁生 +4 位作者 赵福利 邓少芝 陈军 叶建青 龚孟濂 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期412-416,共5页
用热蒸发技术成功地制备了新合成的二氯取代的八羟基喹啉锌(ZnqCl2)薄膜,并制作成有机发光器件。紫外吸收谱分析表明,器件在225,290,350,392 5nm处有4个吸收峰。光致发光和电致发光研究表明,ZnqCl2薄膜有良好的发光特性,器件的发光亮度... 用热蒸发技术成功地制备了新合成的二氯取代的八羟基喹啉锌(ZnqCl2)薄膜,并制作成有机发光器件。紫外吸收谱分析表明,器件在225,290,350,392 5nm处有4个吸收峰。光致发光和电致发光研究表明,ZnqCl2薄膜有良好的发光特性,器件的发光亮度大。并分析了ZnqCl2薄膜的能级结构。 展开更多
关键词 ZnqCl2薄膜 二氯取代-八羟基喹啉锌薄膜 光电特性 制备 有机电致发光器件 热蒸发技术 能级结构
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用激光诱导击穿光谱技术定量分析油漆中的有害重金属 被引量:6
8
作者 赵芳 李润华 +3 位作者 周伦彬 陆林轩 王自鑫 周建英 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期107-112,共6页
很多轻工业产品需要用到油性油漆,其中的重金属元素的含量是否超标将会直接影响到产品质量及其安全性.因此发展轻工产品中重金属含量的快速检测技术,对促进国民经济的发展和保障消费者生命安全具有重要的意义.我们利用激光诱导击穿光谱... 很多轻工业产品需要用到油性油漆,其中的重金属元素的含量是否超标将会直接影响到产品质量及其安全性.因此发展轻工产品中重金属含量的快速检测技术,对促进国民经济的发展和保障消费者生命安全具有重要的意义.我们利用激光诱导击穿光谱技术实现了对油漆中有害重金属含量的快速定性和定量分析.通过观测激光等离子体中重金属原子辐射强度可以定性测量重金属含量的大体水平.然后,在相同检测条件下,将已知浓度的标准样品作为参考,制定出各元素的校正曲线,使用外标法,就能够实现定量分析.对Pb、Cr、Cd三种有害重金属元素,目前检出限分别达到9、3.5和23ppm的水平,分析相对误差小于10%,单次测量时间短于2分钟.汞的结果不太理想,检测灵敏度相对偏低,与其原子辐射寿命较短有关.我们将采取脉冲放电延长汞原子辐射弛豫时间的措施来改进汞元素的分析灵敏度,使其达到较高水平. 展开更多
关键词 激光诱导击穿光谱 油漆 有害重金属 快速定量分析
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热氧化法合成ZnO纳米带及其光电特性研究 被引量:3
9
作者 任山 叶志超 +3 位作者 胡卓锋 白云帆 杜文哲 秦锡洲 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期47-50,共4页
应用低于锌熔点的低温金属固态热氧化的方法,并结合金催化作用,成功地在金属锌基底上自发生长出了氧化锌纳米带阵列。应用X射线衍射,扫描电子显微镜,高分辩电子透射显微镜等技术对产物进行了观察研究。研究结果表明,金对纳米带形... 应用低于锌熔点的低温金属固态热氧化的方法,并结合金催化作用,成功地在金属锌基底上自发生长出了氧化锌纳米带阵列。应用X射线衍射,扫描电子显微镜,高分辩电子透射显微镜等技术对产物进行了观察研究。研究结果表明,金对纳米带形成具有明显的促进作用。合成的氧化锌纳米带的长度范围为6—14μm,厚度约为40nm,宽度范围为100~150nm,其顶部没有发现明显的金颗粒。XRD结果表明纳米带晶体结构为六方结构的ZnO,合成的纳米带的相结构很接近于无催化剂合成的ZnO纳米线。高分辨透射电镜观察显示部分纳米带结晶良好。通过对生长的氧化锌纳米带进行的光致发光(PL)测试,表明在PL光谱中可以看到紫外区,绿光波段有两个主要的峰。 展开更多
关键词 ZNO 纳米带 低温热氧化法 光致发光特性
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二氧化锰/球形活性炭复合材料在有机系超级电容器中的应用 被引量:4
10
作者 蔡敏 李胜英 +2 位作者 李泽胜 王红强 李庆余 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期414-420,共7页
以Mn(NO3)2和中间相炭微球基球形活性炭(MSAC)为原料,采用热分解的方法成功制备了一种新型超级电容器用MnO2/MSAC球形复合材料。通过X射线衍射、扫描电子显微镜和透射电子显微镜对比分析了该复合材料的结构和形貌,并采用循环伏安、恒流... 以Mn(NO3)2和中间相炭微球基球形活性炭(MSAC)为原料,采用热分解的方法成功制备了一种新型超级电容器用MnO2/MSAC球形复合材料。通过X射线衍射、扫描电子显微镜和透射电子显微镜对比分析了该复合材料的结构和形貌,并采用循环伏安、恒流充放电、电化学阻抗(EIS)、循环充放电研究了电极的电化学性能。结果表明,MnO2/MSAC球形复合物中的MnO2粒径为100~160 nm;在1 mol/L的LiPF6/(DMC+EC)(EC:乙烯碳酸酯;DMC:碳酸二甲酯)有机电解液中MnO2/MSAC复合材料所组装的电容器的工作电压可达3.0 V,在0.002 A/cm2电流密度下,MnO2/MSAC球形复合材料的电容器和单纯MSAC材料的电容器的首次循环比容量分别为186和167 F/g,在循环过程中,MnO2/MSAC球形复合材料的电容器循环200次后充放电的库仑效率基本保持在95%以上。此外,MnO2/MSAC球形复合材料的充放电曲线表现出典型的电容行为;循环伏安曲线也表现出良好矩型特征,同时具有较高的能量密度和良好的功率性能。 展开更多
关键词 超级电容器 中间相碳微球 氧化锰 复合电极材料
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Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜制备及光电性能研究 被引量:3
11
作者 阳生红 蒋志洁 +2 位作者 张曰理 汤健 王旭升 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期35-38,共4页
采用溶胶-凝胶法,在玻璃衬底上制备出Al-Y共掺杂的ZnO透明导电薄膜。X射线衍射(XRD)表明,Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向。制备的Al-Y共掺杂ZnO薄膜电阻率最小值为1.63×102Ω·cm,在... 采用溶胶-凝胶法,在玻璃衬底上制备出Al-Y共掺杂的ZnO透明导电薄膜。X射线衍射(XRD)表明,Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向。制备的Al-Y共掺杂ZnO薄膜电阻率最小值为1.63×102Ω·cm,在可见光区(400-800 nm)平均透过率超过85%。 展开更多
关键词 Al-Y共掺杂 ZnO透明导电薄膜 溶胶-凝胶
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一种新型发红光材料SrGdGa3O7:Eu^3+及其性质研究 被引量:2
12
作者 张新民 梁宏斌 +2 位作者 余瑞金 田梓峰 苏锵 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期62-64,共3页
采用高温固相法合成了发红光的荧光粉SrGdGa3O7:Eu3+。漫反射光谱和激发光谱中Eu3+的电荷迁移带、Eu3+离子f→f跃迁以及Gd3+离子8S7/2→6I7/2的跃迁相互吻合;监测Eu3+离子的特征发射,激发谱中有Gd3+离子的激发线表明存在Gd3+→Eu3+的能... 采用高温固相法合成了发红光的荧光粉SrGdGa3O7:Eu3+。漫反射光谱和激发光谱中Eu3+的电荷迁移带、Eu3+离子f→f跃迁以及Gd3+离子8S7/2→6I7/2的跃迁相互吻合;监测Eu3+离子的特征发射,激发谱中有Gd3+离子的激发线表明存在Gd3+→Eu3+的能量传递。发射光谱中以5D0→7F2跃迁为主,表明Eu3+离子所占据的晶体学格位没有对称中心的Cs格位。根据低温下的发射光谱计算了7F1和7F2能级完全解除简并后的每个分裂能级的位置。Eu3+的发射发生明显的温度猝灭现象,同时发射谱线的分辨率也逐渐降低。Eu3+离子的5D0→7F2跃迁在不同温度下的荧光衰减曲线相似;随着温度的升高,荧光发射强度衰减越快,但是仍然处于毫秒数量级;5D0→7F2跃迁是宇称和自旋禁阻的跃迁,所以荧光衰减时间比较长。 展开更多
关键词 发光 UV—Vis 荧光粉 SrGdGa3O7:Eu^3+
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半导体热电材料BI_(1-X)SB_X薄膜的电化学制备 被引量:3
13
作者 洪澜 任山 +2 位作者 VEREECKEN P M SUN L SEARSON P C 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期37-41,共5页
B I1-XSBX半导体合金是性能优异的热电和磁电功能材料,为制备固态电制冷器件、温差发电器件和磁电器件的重要材料。电化学沉积薄膜技术工艺设备简单成本低,在半导体薄膜制备方面有很好的应用前景。系统研究了高浓度盐酸(2.4 MOL/L)的B I... B I1-XSBX半导体合金是性能优异的热电和磁电功能材料,为制备固态电制冷器件、温差发电器件和磁电器件的重要材料。电化学沉积薄膜技术工艺设备简单成本低,在半导体薄膜制备方面有很好的应用前景。系统研究了高浓度盐酸(2.4 MOL/L)的B I和SB盐酸溶液,成份从纯铋逐步变化到纯锑的B I1-XSBX合金半导体薄膜电化学沉积特性。测试了沉积过程I-V循环曲线和和沉积电荷效率等电化学参数。结果表明在所有成份范围内都可以得到典型的B I1-XSBX固溶体结构的高质量薄膜。薄膜生长为典型的溶液扩散控制过程,具有高的沉积电荷效率。薄膜沉积和溶解之间的电位差随溶液中SB(Ⅲ)离子浓度增加而增大,生长的薄膜越来越稳定。在30%SB浓度附近,电化学过程、薄膜结构和性能发生明显的突变。应用X射线衍射和电子显微镜研究薄膜结构,发现薄膜具有明显的(012)择优取向,薄膜晶粒尺寸也随SB浓度的增加而变化。 展开更多
关键词 半金属 Bi—Sb合金 热电薄膜 电化学沉积 电流-电位循环曲线
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AlGaAs/GaAs多量子阱中相干控制光电流的超快弛豫 被引量:1
14
作者 林位株 寿倩 +3 位作者 刘鲁宁 吴羽 文锦辉 赖天树 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期73-76,共4页
在理论和实验上对室温下AlGaAs GaAs量子阱中的相干控制光电流的超快动力学过程进行了研究。首次由密度矩阵和电子-空穴散射弛豫模型导出相干光电流的弛豫时间为600fs,并由三波长飞秒脉冲泵浦-探测技术测量的结果得到验证。
关键词 飞秒脉冲 半导体量子阱 光学相干控制
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ZnO材料的生长及表征 被引量:7
15
作者 李树玮 小池一步 《液晶与显示》 CAS CSCD 2004年第3期178-181,共4页
氧化锌材料是新一代宽禁带光电子半导体材料和场致发射材料,通过等离子体分子束外延设备,在a plane的蓝宝石衬底上生长了高质量的氧化锌外延材料。在生长过程中用反射高能电子束衍射仪(RHEED),研究了生长时材料薄膜的表面形貌。为了使... 氧化锌材料是新一代宽禁带光电子半导体材料和场致发射材料,通过等离子体分子束外延设备,在a plane的蓝宝石衬底上生长了高质量的氧化锌外延材料。在生长过程中用反射高能电子束衍射仪(RHEED),研究了生长时材料薄膜的表面形貌。为了使材料更好地应用于器件,研究了材料的掺杂性质。研究了给体束缚激子(Donorboundexciton(DX))、自由激子(Freeexciton(EX))和受体束缚激子(Acceptorboundexciton(AX))随温度变化的发光过程。用紫外 可见透射光谱研究了ZnO薄膜材料的透射光谱性质。结果表明,用分子束外延生长设备成功地生长了高质量的氧化锌薄膜材料。 展开更多
关键词 氧化锌 分子束外延 光致发光 透射光谱
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分子水平的电化学科学与技术--第59届国际电化学学会年会综述 被引量:1
16
作者 崔艳华 沈培康 《电池》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期357-360,共4页
综述了2008年9月7-12日在西班牙塞维利亚举行的第59届国际电化学学会年会的情况。会议分为10个主题:①从单分子电化学到生物传感器和生物燃料电池;②分子水平的界面电化学:光谱技术和理论及计算机方法;③纳米尺度的电分析化学;④分子电... 综述了2008年9月7-12日在西班牙塞维利亚举行的第59届国际电化学学会年会的情况。会议分为10个主题:①从单分子电化学到生物传感器和生物燃料电池;②分子水平的界面电化学:光谱技术和理论及计算机方法;③纳米尺度的电分析化学;④分子电化学:从单分子到导电聚合物;⑤新材料和可再生能源的新型微观结构材料电化学;⑥腐蚀;⑦工业电解;⑧电化学能量转换和储存;⑨微能源及器件:能量转换与储存;⑩其他。重点介绍了主题⑧和⑨,论文包括燃料电池、锂离子电池、超级电容器和微能源等。 展开更多
关键词 第59届国际电化学学会年会(ISE) 分子水平 能量转换与储存
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迫呫吨并呫吨的快速合成及其光电性能
17
作者 宋继国 刘彭义 +1 位作者 周翔 沈培康 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期95-99,共5页
用微波碳浴法,以2-萘酚为原料,快速合成了迫呫吨并呫吨.优化后的反应条件:醋酸铜(Cu(OAc)2)做氧化剂;Cu(OAc)2与2-萘酚的量的比为3∶1;加热时间为210s左右。在氯仿溶液中,其吸收光谱与发射光谱呈镜面对称关系,最大发射峰波长约为445nm,... 用微波碳浴法,以2-萘酚为原料,快速合成了迫呫吨并呫吨.优化后的反应条件:醋酸铜(Cu(OAc)2)做氧化剂;Cu(OAc)2与2-萘酚的量的比为3∶1;加热时间为210s左右。在氯仿溶液中,其吸收光谱与发射光谱呈镜面对称关系,最大发射峰波长约为445nm,且呈现较高的荧光量子效率。循环伏安法测得该化合物的最高占有分子轨道(HOMO)和最低未占有分子轨道(LUMO)分别为5.45eV,3.00eV。 展开更多
关键词 迫咕吨并咕吨 微波碳浴法 2-萘酚
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基于虚拟仪器技术的EFPI光纤微位移传感器数据处理系统
18
作者 江绍基 潘洪昌 曾斌 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期228-231,共4页
设计了一套EFPI光纤微位移传感器数据处理系统。该系统以虚拟仪器技术为设计思想,采用SICL(标准仪器控制库)函数,用面向对象软件设计技术编写系统程序,实现了对光纤传感器光谱测试和腔距实时监测。实验结果表明该系统基本达到自动化和... 设计了一套EFPI光纤微位移传感器数据处理系统。该系统以虚拟仪器技术为设计思想,采用SICL(标准仪器控制库)函数,用面向对象软件设计技术编写系统程序,实现了对光纤传感器光谱测试和腔距实时监测。实验结果表明该系统基本达到自动化和实时化操作,为将来传感器实际应用时的数据处理提供了参考方案。 展开更多
关键词 光纤传感器 虚拟仪器 SICL 面向对象软件设计
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半导体热电材料Bi_2Te_3膜的电化学制备
19
作者 罗婷 洪澜 任山 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期14-17,共4页
研究了不同沉积电位对电化学生长半导体热电材料Bi2Te3膜沉积过程、膜形貌、结晶性及相结构的影响。利用I-V循环扫描曲线分别研究了纯Bi3+、纯Te4+及其两种离子的混合溶液电化学特性;应用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、电子能谱... 研究了不同沉积电位对电化学生长半导体热电材料Bi2Te3膜沉积过程、膜形貌、结晶性及相结构的影响。利用I-V循环扫描曲线分别研究了纯Bi3+、纯Te4+及其两种离子的混合溶液电化学特性;应用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、电子能谱(EDS)对膜的微观表面形貌、相结构及成分进行了表征。研究表明:生长的样品为斜方六面体(rhombohedral)晶体结构的Bi2Te3,薄膜表面平整致密,为明显的柱状晶结构,具有(110)择优取向;沉积电位越接近还原峰最大电流处,膜的生长电荷效率越高,薄膜结晶性也越好。 展开更多
关键词 热电材料薄膜 碲化铋半导体 电化学沉积
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基于数字微镜器件亚微米制备技术研究 被引量:7
20
作者 陆锦洪 谢向生 +1 位作者 张培晴 周建英 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期600-604,共5页
为了实时、便捷的改变光刻图案以用于微纳光子器件制备,使用数字微镜器件构建了一套无掩模亚微米尺度制备系统.基于阿贝成像原理分析了周期结构在相干光照明下的成像过程,并用数值模拟以及空间滤波实验证明了这个过程.使用此实验系统制... 为了实时、便捷的改变光刻图案以用于微纳光子器件制备,使用数字微镜器件构建了一套无掩模亚微米尺度制备系统.基于阿贝成像原理分析了周期结构在相干光照明下的成像过程,并用数值模拟以及空间滤波实验证明了这个过程.使用此实验系统制作出了周期为900nm的二维结构以及周期为数十微米的带缺陷结构.实验表明,使用数字微镜器件可以方便的制作出亚微米尺度的图案. 展开更多
关键词 干涉光刻 傅里叶光学 微纳光子器件 阿贝成像原理 数字微镜器件
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