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双Fabry-Perot干涉纳米测量控制系统的设计
被引量：
1
1
作者
陈本永
朱若谷
吴昭同
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期43-49,共7页
设计了一种基于双 Fabry- Perot干涉仪的新型纳米测量系统 ,阐述了系统各环节的数学模型。针对探针与样品表面相互作用的数学模型比较复杂的特点 ,详细设计了基于模糊控制理论的控制系统 ,提出了通过控制探针振动曲线中线不变进行纳米...
设计了一种基于双 Fabry- Perot干涉仪的新型纳米测量系统 ,阐述了系统各环节的数学模型。针对探针与样品表面相互作用的数学模型比较复杂的特点 ,详细设计了基于模糊控制理论的控制系统 ,提出了通过控制探针振动曲线中线不变进行纳米测量的理论依据及实测方法。在此基础上 ,对系统进行了仿真实验 。
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关键词
纳米测量
Fabry-Perot干涉仪
模糊控制
数学模型
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职称材料
题名
双Fabry-Perot干涉纳米测量控制系统的设计
被引量：
1
1
作者
陈本永
朱若谷
吴昭同
机构
浙江大学机械
系
精密
测量
教研室
中国计量学院计测系精密仪器教研室
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期43-49,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目 !(597750 87)
文摘
设计了一种基于双 Fabry- Perot干涉仪的新型纳米测量系统 ,阐述了系统各环节的数学模型。针对探针与样品表面相互作用的数学模型比较复杂的特点 ,详细设计了基于模糊控制理论的控制系统 ,提出了通过控制探针振动曲线中线不变进行纳米测量的理论依据及实测方法。在此基础上 ,对系统进行了仿真实验 。
关键词
纳米测量
Fabry-Perot干涉仪
模糊控制
数学模型
Keywords
Computer simulation
Control systems
Fabry
Perot interferometers
Fuzzy control
Interferometry
Mathematical models
Nanotechnology
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双Fabry-Perot干涉纳米测量控制系统的设计
陈本永
朱若谷
吴昭同
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
1
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