半导体气体流量控制器原位校准装置研究

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作者 回博旭 徐志鹏 +2 位作者 张高明 周彬 孙英恺 《液压与气动》 北大核心 2025年第1期90-94,共5页

半导体制造需使用多种气体用于沉积、光刻等工序,气体流量控制的精度直接影响加工质量。而流量控制器需要经常检测和校准以确保其工作性能。半导体设备和工艺的特殊性决定了流量控制器只能进行原位校准。为解决流量控制器的原位校准问题... 半导体制造需使用多种气体用于沉积、光刻等工序,气体流量控制的精度直接影响加工质量。而流量控制器需要经常检测和校准以确保其工作性能。半导体设备和工艺的特殊性决定了流量控制器只能进行原位校准。为解决流量控制器的原位校准问题,根据半导体设备的特点提出一种基于动态pVTt方法的流量控制器原位校准装置,基于CFD仿真对固定容器充气后的非稳态流场进行计算,并预测流场稳定后的平均温度,从而实现充气气体流量的快速检测。通过与高精度流量校准装置对比,装置可以实现N2介质50~50000 mm^(3)/s的流量校准,精度优于0.5%。 展开更多

关键词 半导体 气体流量 原位校准 流量控制器 动态pVTt 流场预测

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液体微小流量测量技术研究进展 被引量：1

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作者 侯立凯 范旭 +2 位作者 金羽卓 刘铭扬 包福兵 《力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期1573-1584,共12页

随着流体力学与生命科学、材料科学、医疗健康、能源环境和先进制造等多学科领域的交叉融合,微量液体与微流控技术逐渐在这些领域取得了广泛的应用.与此同时,液体微小流量(每分钟几微升、几纳升,甚至更低)的测量需求逐渐凸显出来.随着... 随着流体力学与生命科学、材料科学、医疗健康、能源环境和先进制造等多学科领域的交叉融合,微量液体与微流控技术逐渐在这些领域取得了广泛的应用.与此同时,液体微小流量(每分钟几微升、几纳升,甚至更低)的测量需求逐渐凸显出来.随着特征尺度的减小,原有的液体流量测量技术已经无法满足测量准确度的要求,因此,需要流量测量技术的进一步发展来满足微小流量测量和传感器微尺度集成的需求.文章介绍了液体微小流量的应用背景和面临的主要问题,首先,根据测量过程中是否引入外界能量(例如电能、热能等),将现有的和正在开发的液体微小流量测量技术分为有源流量测量技术和无源流量测量技术;其次,分别对其包含的具体测量技术展开论述,主要包括质量流量测量技术(科里奥利和微谐振器)、热式流量测量技术(热损失型、热分布型和热脉冲型)、光流控流量测量技术(光致褪色)、压力转换流量测量技术(压差式、悬臂式和柔性膜形变)、粒子测速技术、重力测量技术和弯月面追踪技术等,并讨论了上述测量技术的传感测量原理、测量性能指标和优缺点;最后,结合液体微小流量测量技术的发展和先进测量体系的建设,总结了液体微小流量测量的应用前景和有待解决的挑战. 展开更多

关键词 微小流量 测量 流量计 微量液体 传感器

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基于高精度时差法的气体超声流量计研究 被引量：5

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作者 潘旭东 赵伟国 +3 位作者 章圣意 林新霞 林恒 马也驰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期490-496,共7页

针对气体超声流量计在测量中存在回波信号衰减大、波形易受工况影响的问题,提出了一种基于高精度时差的气体超声流量测量方法。该方法首先通过相似度评估回波信号,对回波信号特征点进行准确定位,进而获取飞行时间差的粗测量值,其次选取... 针对气体超声流量计在测量中存在回波信号衰减大、波形易受工况影响的问题,提出了一种基于高精度时差的气体超声流量测量方法。该方法首先通过相似度评估回波信号,对回波信号特征点进行准确定位,进而获取飞行时间差的粗测量值,其次选取特定回波波形进行互相关法计算获得时差的细测量值,最后对两次测量结果相加得到高精度时差,从而实现高精度的流量测量。不同压力下的声速测量实验表明该方法在100 kPa至500 kPa范围内可准确测量飞行时间和时差。气体流量计样机的流量测量误差小于1%,重复性优于0.2%,并在大流量下与传统阈值法相比具有更高的准确性和更优的重复性。 展开更多

关键词 气体超声流量计 回波相似度 特征点定位 互相关法

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活塞式体积管法微小气体流量标准装置

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作者 杨宏明 徐雅 +2 位作者 刘铁军 谢代梁 黄震威 《计量学报》 北大核心 2025年第5期700-708,共9页

为实现对微小气体流量计的便携式计量校准,设计了一种基于活塞式体积管法的微小气体流量标准装置。通过数学建模设计了活塞的几何尺寸,构建了基于光纤传感器的光电检测系统,以满足装置所需的检测时间准确度。利用动网格6DOF技术研究光... 为实现对微小气体流量计的便携式计量校准,设计了一种基于活塞式体积管法的微小气体流量标准装置。通过数学建模设计了活塞的几何尺寸,构建了基于光纤传感器的光电检测系统,以满足装置所需的检测时间准确度。利用动网格6DOF技术研究光纤传感器位置,通过分析活塞运动中的惯性效应,确保在2个光纤传感器之间的匀速运动。为满足现场在线检定智能化系统的需求,开发基于PLC的控制系统,并设计了人机交互控制与数据采集界面。对装置的不确定度进行了分析和评定,结果表明该装置的扩展不确定度为0.38%(k=2)。 展开更多

关键词 流量计量 气体流量标准装置 活塞式体积管 控制系统 不确定度

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多传感器热式气体流量计的研制 被引量：8

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作者 沈平平 赵伟国 《计量学报》 CSCD 北大核心 2016年第6期619-622,共4页

针对大中型管道以及不规则流场中气体流量测量存在的问题，研制了一种多传感器结构的气体流量计。在测量管道中按照对数线性法选取测量特征点，采用4个热式气体流量传感器获取特征点的流量信号，利用正交多项式拟合建立特性曲线的函数... 针对大中型管道以及不规则流场中气体流量测量存在的问题，研制了一种多传感器结构的气体流量计。在测量管道中按照对数线性法选取测量特征点，采用4个热式气体流量传感器获取特征点的流量信号，利用正交多项式拟合建立特性曲线的函数关系式。在不规则流场条件下对200mm口径样机进行实验。实验结果表明，多传感器测量方法能够明显改善单传感器的测量精度不高的问题。 展开更多

关键词 计量学 热式气体流量计 不规则流场 多传感器

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往复式双柱塞气体流量标准装置实验研究 被引量：4

6

作者 徐春伟 张高明 徐志鹏 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第8期1229-1234,共6页

针对活塞式气体流量标准装置活塞缸筒尺寸受限、流量范围较小的问题,设计了一种往复式双柱塞气体流量标准装置,基于该装置探索了单缸、双缸并联以及双缸串联等不同模式的运行规律。采用0.06 m^(3)/h名义流量喷嘴进行了检定实验,结果表明... 针对活塞式气体流量标准装置活塞缸筒尺寸受限、流量范围较小的问题,设计了一种往复式双柱塞气体流量标准装置,基于该装置探索了单缸、双缸并联以及双缸串联等不同模式的运行规律。采用0.06 m^(3)/h名义流量喷嘴进行了检定实验,结果表明,装置在不同运行模式时的重复率均小于0.02%,其中单缸和双缸并联模式下检测误差不超过0.02%,双缸串联模式下不超过0.05%。 展开更多

关键词 计量学 气体流量 往复式双柱塞 标准装置

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微小液体流量校准技术 被引量：1

7

作者 侯立凯 范旭 包福兵 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期579-585,共7页

微小液体被广泛应用于微反应器中,具有传热传质效率高、高通量、集成化、方便控制等优势,微小液体流量计可以实现对样品的精确控制,但在极低流量下(μL/min乃至nL/min),微小液体流量计存在计量基标准不完善、校准难度大等问题。本文综... 微小液体被广泛应用于微反应器中,具有传热传质效率高、高通量、集成化、方便控制等优势,微小液体流量计可以实现对样品的精确控制,但在极低流量下(μL/min乃至nL/min),微小液体流量计存在计量基标准不完善、校准难度大等问题。本文综述了目前在微小液体流量计量领域所采用的几种校准技术,主要包括质量法和体积法,并根据现有的研究给出了这些技术目前所能达到的校准范围和不确定度。分析表明,现有的质量法微小液体流量校准技术在应用于微小液体时仍具有不足,需要进一步研究多种作用机制的影响;体积法微小液体流量校准技术有多种实现方式,虽然目前仍处于探索阶段,但在未来有望成为更具有研究前景的一种方法。最后,结合微小液体流量计量技术的发展和先进测量体系的建设,展望了微小液体流量计量的发展前景。 展开更多

关键词 微反应器 微流体学 测量 校准技术

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基于SVD的涡街流量计信号处理方法 被引量：4

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作者 王力辉 刘通 +5 位作者 谢代梁 季鹏 詹毅 刘铁军 徐雅 黄震威 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期731-737,共7页

针对涡街信号处理中振动干扰及噪声信号难以分离的问题,提出一种基于奇异值分解(SVD)的信号处理方法。在获取涡街传感器输出的两路差分信号的基础上,利用噪声系数对两路信号进行合成,并采用SVD对信号的主要频率成分进行分解。通过对涡... 针对涡街信号处理中振动干扰及噪声信号难以分离的问题,提出一种基于奇异值分解(SVD)的信号处理方法。在获取涡街传感器输出的两路差分信号的基础上,利用噪声系数对两路信号进行合成,并采用SVD对信号的主要频率成分进行分解。通过对涡街信号幅频关系的分析,将有效信号分量从分解出来的频率成分中提取出来,进而计算出信号的频率。测试结果表明利用SVD可以有效提取信号中的主要频率成分,滤除杂乱噪声及振动干扰信号,提高涡街流量计信号处理的准确度与抗干扰性。 展开更多

关键词 涡街信号 奇异值分解 噪声系数 幅频特性

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基于局部管网的天然气能量计量赋值算法 被引量：6

9

作者 吕海舟 杨敬东 +1 位作者 刘婉莹 葛贤福 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第1期80-87,共8页

现阶段我国天然气贸易交接过程中,计量方式较多采用体积计量,这种计量方式不仅不能满足天然气按质论价、优质优价的商品交易原则,而且需要依靠价格昂贵的色谱仪分析来实现。天然气能量计量能够避免体积计量所带来的缺陷,同时计量方式又... 现阶段我国天然气贸易交接过程中,计量方式较多采用体积计量,这种计量方式不仅不能满足天然气按质论价、优质优价的商品交易原则,而且需要依靠价格昂贵的色谱仪分析来实现。天然气能量计量能够避免体积计量所带来的缺陷,同时计量方式又具有较高准确性,越来越成为世界上各个国家天然气贸易结算的方式。基于局部天然气管网建立的天然气能量计量的赋值算法,对1周内天然气能量进行了预测,并将预测值与测量值进行了对比,预测值与测量值的相对误差控制在1.8440%左右,表明所建立的赋值算法能够较好地预测在一定时间内的天然气热值。 展开更多

关键词 计量学 天然气 能量计量 赋值算法 溯源

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液氢涡轮流量计叶尖泄漏涡空化及其流场特性研究

10

作者 项姣姣 包福兵 +1 位作者 凃程旭 毕祯 《低温工程》 2025年第4期39-46,共8页

为了探究液氢涡轮流量计内流特性,使用k-ωSST湍流模型和考虑热效应的Zwart空化模型,通过六自由度(6DOF)动网格方法,研究了液氢涡轮流量计在测量范围上限出现的热力学空化现象及叶尖泄漏涡对其造成的影响。结果发现叶顶和叶根率先出现... 为了探究液氢涡轮流量计内流特性,使用k-ωSST湍流模型和考虑热效应的Zwart空化模型,通过六自由度(6DOF)动网格方法,研究了液氢涡轮流量计在测量范围上限出现的热力学空化现象及叶尖泄漏涡对其造成的影响。结果发现叶顶和叶根率先出现空化现象,叶尖泄漏涡空化呈螺旋状分布,并受热力学效应影响显著。叶片入口处压力脉动剧烈,各主导频率都在77.8 kHz左右,同时脉动幅值随空泡的再生溃灭增强。 展开更多

关键词 液氢 涡轮流量计 空化 六自由度

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内径量表中双正弦机构原理误差研究

11

作者 王颖 禹静 李东升 《中国测试》 CAS 北大核心 2016年第5期33-37,共5页

为提高内径量表的测量准确度,采用数学建模与实验测量相结合的方法对双正弦机构的原理误差进行研究。在正弦机构的理论基础上,针对内径量表建立双正弦机构的传动模型,通过与百分表刻度特性比较得到原理误差模型。提出两种通过调整传动... 为提高内径量表的测量准确度,采用数学建模与实验测量相结合的方法对双正弦机构的原理误差进行研究。在正弦机构的理论基础上,针对内径量表建立双正弦机构的传动模型,通过与百分表刻度特性比较得到原理误差模型。提出两种通过调整传动特性来减小原理误差的方案,利用软件建模分析表明杠杆臂长的最佳调整模型对减小原理误差的效果更优。自行设计实验平台对原理误差进行重复测量,初步验证杠杆臂长转角与原理误差的非线性特性,建议后续研究可从分析双正弦机构初始位置的角度改进测量实验。该研究为工程实际应用中调修内径量表、提高测量准确度提供理论基础。 展开更多

关键词 内径量表 双正弦机构 原理误差 非线性特性

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基于蚁群算法的超声波水体悬移质浓度测量研究 被引量：5

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作者 张述仁 徐雅 +3 位作者 谢代梁 徐志鹏 刘铁军 王月兵 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第8期1163-1168,共6页

水体悬移质浓度测量是水文观测的重要内容之一,对于我国水资源的保护和管理具有重大意义。现有的测量方法不能同时满足实时、高精度、大量程等测量需求,针对悬移质浓度测量中颗粒粒径分布与浓度相互耦合的问题,提出了基于蚁群算法的超... 水体悬移质浓度测量是水文观测的重要内容之一,对于我国水资源的保护和管理具有重大意义。现有的测量方法不能同时满足实时、高精度、大量程等测量需求,针对悬移质浓度测量中颗粒粒径分布与浓度相互耦合的问题,提出了基于蚁群算法的超声波水体悬移质浓度测量方法。搭建了超声波水体悬移质参数测量系统,对不同粒径、不同浓度的悬移质水样进行了超声衰减实验,并采用蚁群算法对水体悬移质浓度进行了反演。研究表明:当蚂蚁数量为20、蚂蚁最大移动次数为90、转移概率为0.6、信息素挥发系数为0.4时,蚁群算法的性能达到最佳,三种粒径下各组水样的测量浓度相对误差分布分别为±10%、±13%、±15%,实验结果与参考值较为一致,该方法可为悬移质浓度测量提供一定的借鉴。 展开更多

关键词 超声波 蚁群算法 悬移质 浓度 固液两相流

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基于聚焦式超声波传感器的悬移质浓度测量研究 被引量：2

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作者 夏一丹 谢代梁 +1 位作者 安雅丽 王月兵 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期483-490,共8页

液体中悬移质含量是表征液固两相流的重要参数之一,其准确测量具有重要意义。基于超声波在悬移质中传播的衰减效应,提出了一种新型聚焦式传感器对悬移质的浓度进行测量。以不同悬移质浓度和粒径的水-泥沙混合物作为测量介质,利用数据采... 液体中悬移质含量是表征液固两相流的重要参数之一,其准确测量具有重要意义。基于超声波在悬移质中传播的衰减效应,提出了一种新型聚焦式传感器对悬移质的浓度进行测量。以不同悬移质浓度和粒径的水-泥沙混合物作为测量介质,利用数据采集卡获取衰减反馈波形,经过小波去噪和快速傅里叶变换FFT(Fast Fourier Transformation)得到衰减信号的频谱图,根据浓度与衰减系数对应关系建立悬移质浓度模型。实验数据表明,混合粒径和单一粒径下衰减系数与浓度分别呈现三次函数关系和良好的幂函数关系,在实验范围内,3种不同平均粒径下的模型平均相对误差基本在3%以内,均方根误差在10%以内,证明了所建立的模型有一定的可行性。 展开更多

关键词 液固两相流 聚焦传感器 超声波衰减法 悬移质 浓度

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pVTt法气体流量标准装置热量主动补偿方法 被引量：2

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作者 胡文清 徐志鹏 +1 位作者 张高明 郭婧 《液压与气动》 北大核心 2023年第6期102-108,共7页

pVTt因其精度高、结构简单、维护费用低等独特优势,已被许多国家用作主要气体流量标准。然而,由于进气和排气过程的稳定时间较长,其标定效率相对较低。为了缩短稳定时间,提出了一种具有主动热补偿的新型pVTt气体流量标准;介绍了新型pVT... pVTt因其精度高、结构简单、维护费用低等独特优势,已被许多国家用作主要气体流量标准。然而,由于进气和排气过程的稳定时间较长,其标定效率相对较低。为了缩短稳定时间,提出了一种具有主动热补偿的新型pVTt气体流量标准;介绍了新型pVTt标准装置的原理图;详细分析了气动状态变化和传热的数学模型;对热补偿的影响进行了数值模拟;进行了实验,结果表明,进气后的稳定时间可以从10 min缩短到1 min左右。 展开更多

关键词 PVTT 温度场特征 数值模拟 主动补偿

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荷电颗粒在旋转环形通道内分离性能研究

15

作者 沈家鑫 彭慧 +2 位作者 王彦入 尹招琴 包福兵 《计算力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期491-498,共8页

为研究带电旋转环形通道内荷电颗粒的运动和沉积特性,本文使用计算流体力学两相流离散颗粒法对带电旋转环形通道内的荷电颗粒的运动过程进行了模拟。根据模拟结果分析了不同粒径、电压、入口雷诺数和通道长径比等参数对荷电颗粒运动和... 为研究带电旋转环形通道内荷电颗粒的运动和沉积特性,本文使用计算流体力学两相流离散颗粒法对带电旋转环形通道内的荷电颗粒的运动过程进行了模拟。根据模拟结果分析了不同粒径、电压、入口雷诺数和通道长径比等参数对荷电颗粒运动和沉积的影响,研究了荷电颗粒在旋转通道内离心力与电场力之间的竞争关系,探索了离心力和电场力导致的荷电颗粒运动和沉积变化的规律。结果表明,单个不同粒径颗粒具有不同的颗粒逃逸电压区间,区间的大小随着颗粒粒径的增大而增大,且区间的宽度随着通道长径比的增大将会明显变小;多个颗粒的逃逸率曲线,不同粒径的颗粒将会有不同程度的交叉,随着长径比的增大,颗粒逃逸率曲线的高度与交叉会有明显的减小,而随着转速的增大,颗粒逃逸率曲线的交叉会有一定程度的减小,且高度不会有明显变化。 展开更多

关键词 荷电颗粒 旋转流场 环形通道 分离性能 扩散荷电

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多输出回归算法在超声粒径分布反演中的研究 被引量：3

16

作者 应启帆 谢代梁 +3 位作者 徐志鹏 徐雅 刘铁军 黄震威 《声学技术》 CSCD 北大核心 2022年第1期137-143,共7页

悬移质粒径分布作为研究水体运动规律和水利建设中的关键参数,通过对Epstein-Carhart-Allegra-Hawley(ECAH)模型和超声衰减实验这类先验信息的研究,结合机器学习算法对悬移质颗粒粒径进行预测。根据超声衰减实验和其他相关物性参数提取... 悬移质粒径分布作为研究水体运动规律和水利建设中的关键参数,通过对Epstein-Carhart-Allegra-Hawley(ECAH)模型和超声衰减实验这类先验信息的研究,结合机器学习算法对悬移质颗粒粒径进行预测。根据超声衰减实验和其他相关物性参数提取特征,结合筛分法确定的粒径分布种类制作训练数据集和验证数据集,通过对单种粒径预测的梯度提升决策树(Gradient Boosting Decision Tree,GBDT)算法进行组合构建多输出回归算法对粒径分布进行预测。结果表明:三种样品单种粒径的最大相对误差在±10%以内,中位径误差分别为0.07%、−0.10%和−2.20%;在实验范围内,预测分布结果与筛分法结果一致,有较高的可行性和准确度,可为粒径分布测量提供一种新的思路。 展开更多

关键词 多输出回归 超声衰减 粒径分布 特征选择

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基于自适应峰值提取算法的水表梅花针计数方法研究 被引量：1

17

作者 王威 徐志鹏 +2 位作者 汤建斌 曹松晓 周彬 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2023年第10期80-88,共9页

针对水表出厂检定过程中的被检表梅花针在接近于采集频率1/2的高速转动下识别效果差的问题,提出了一种基于自适应峰值提取算法的水表梅花针计数方法。首先对图像进行预处理转化为二值化图像,再利用背景异或法对当前帧图像与起始帧图像... 针对水表出厂检定过程中的被检表梅花针在接近于采集频率1/2的高速转动下识别效果差的问题,提出了一种基于自适应峰值提取算法的水表梅花针计数方法。首先对图像进行预处理转化为二值化图像,再利用背景异或法对当前帧图像与起始帧图像进行异或运算得到梅花针运动轨迹,统计梅花针转动过程中的白色像素占比大小变化,最后通过自适应峰值提取算法统计转动齿数。通过实验,证明了该算法克服了伪波峰对峰值提取算法的干扰,相较于传统统计方法,该方法对梅花针转动齿数识别效果显著,误差不超过1%。 展开更多

关键词 计量学 梅花针 峰值检测 背景异或 水表检定 机器视觉

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pVTt用液压驱动快开三通阀设计与流场仿真 被引量：1

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作者 徐志鹏 郭婧 +1 位作者 李澜吉 谢代梁 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期201-205,共5页

pVTt是多个国家的气体流量原级标准装置,其进气阀门的性能对检定结果有显著的影响。设计了一种液压驱动的快开三通阀,介绍了其结构与工作原理,建立了流场仿真模型,对其切换过程进行了动态仿真,结果表明所设计的快开三通阀能够实现临界... pVTt是多个国家的气体流量原级标准装置,其进气阀门的性能对检定结果有显著的影响。设计了一种液压驱动的快开三通阀,介绍了其结构与工作原理,建立了流场仿真模型,对其切换过程进行了动态仿真,结果表明所设计的快开三通阀能够实现临界流的快速切换。最后对三通阀的"重叠"模式和"非重叠"模式进行了对比分析,表明"非重叠"模式下流场更为稳定。 展开更多

关键词 气体流量 PVTT 三通阀 流场仿真

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基于USB及CPLD的超声信号采集器设计及应用 被引量：2

19

作者 李明凯 刘铁军 +1 位作者 周民 陈宜倩 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第5期83-87,共5页

为满足便携式设备在工程应用中对多路高频信号采集功能的需求,研制了一套以CPLD为时序控制器,以高速模/数转换器(ADC)为信号采样器,以USB接口为数据传输通道的多路信号采集器,最多可进行16路差分信号的高速采集。采集器使用数据缓冲器... 为满足便携式设备在工程应用中对多路高频信号采集功能的需求,研制了一套以CPLD为时序控制器,以高速模/数转换器(ADC)为信号采样器,以USB接口为数据传输通道的多路信号采集器,最多可进行16路差分信号的高速采集。采集器使用数据缓冲器协调各路数据的采样与传输。通过对USB固件程序、CPLD时序控制程序及上位机接口程序的开发,采集器可实现单路信号采样频率10MHz以上,采样数据直接传输至上位机软件MATLAB中处理。以采集器在气液两相流体积流量测量的应用为例,体现了所设计的信号采集器具有实用、便携的特点。 展开更多

关键词 信号采集 模/数转换器 USB接口 流量测量 相关函数

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黏弹性系统随机响应分析 被引量：1

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作者 徐明 《振动工程学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第5期881-886,共6页

应用等效非线性化方法分析了高斯白噪声激励作用下强非线性黏弹性系统随机响应。首先,通过广义谐和变换,黏弹性作用力可近似等效为拟线性阻尼和拟线性刚度两部分,进而原系统简化为无黏弹性项的非线性随机系统。其次,选取一类具有待定参... 应用等效非线性化方法分析了高斯白噪声激励作用下强非线性黏弹性系统随机响应。首先,通过广义谐和变换,黏弹性作用力可近似等效为拟线性阻尼和拟线性刚度两部分,进而原系统简化为无黏弹性项的非线性随机系统。其次,选取一类具有待定参数的等效非线性系统类。该等效非线性系统类具有精确稳态解,且和简化后的非线性随机系统具有相同的特性。然后,根据简化系统和等效非线性系统类之差的均方值最小原则,最终确定等效非线性系统类中的待定参数。最后以该系统的精确稳态随机响应近似表示原系统的随机响应。本文所提方法得到的解析结果与蒙特卡洛模拟方法得到的结果符合较好,证实了该方法的正确性。 展开更多

关键词 黏弹性系统 随机响应 等效非线性化方法 广义谐和变换 稳态概率密度函数

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