期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
色谱/质谱联用法测定NF_3中微量CF_4
被引量：
13
1
作者
张洪彬
韦桂欢
周升如
《质谱学报》
EI
CAS
CSCD
2001年第3期51-55,共5页
本文利用色谱 质谱联用技术对NF3中微量CF4进行了测定。采用选择离子监测 (SIM)方式测定 ,定量选择离子m z为 69,方法简单、准确、选择性好 ,CF4浓度在 55～ 550 0mg m3范围内与峰面积呈线性关系 ,方法最低检测浓度5.5mg m3,相对标准偏...
本文利用色谱 质谱联用技术对NF3中微量CF4进行了测定。采用选择离子监测 (SIM)方式测定 ,定量选择离子m z为 69,方法简单、准确、选择性好 ,CF4浓度在 55～ 550 0mg m3范围内与峰面积呈线性关系 ,方法最低检测浓度5.5mg m3,相对标准偏差 5.6%。
展开更多
关键词
色谱
质谱
选择离子监测
NF3
CF4
半导体
刻蚀
测定
联用技术
测定
刻蚀剂
电子工业
三氟化氮
四氟化碳
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
色谱/质谱联用法测定NF_3中微量CF_4
被引量：
13
1
作者
张洪彬
韦桂欢
周升如
机构
中国船舶重工集团公司七院第七一八研究所
出处
《质谱学报》
EI
CAS
CSCD
2001年第3期51-55,共5页
文摘
本文利用色谱 质谱联用技术对NF3中微量CF4进行了测定。采用选择离子监测 (SIM)方式测定 ,定量选择离子m z为 69,方法简单、准确、选择性好 ,CF4浓度在 55～ 550 0mg m3范围内与峰面积呈线性关系 ,方法最低检测浓度5.5mg m3,相对标准偏差 5.6%。
关键词
色谱
质谱
选择离子监测
NF3
CF4
半导体
刻蚀
测定
联用技术
测定
刻蚀剂
电子工业
三氟化氮
四氟化碳
Keywords
GC/MS, select ion monitor (SIM), NF 3, CF 4
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
色谱/质谱联用法测定NF_3中微量CF_4
张洪彬
韦桂欢
周升如
《质谱学报》
EI
CAS
CSCD
2001
13
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
