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题名MEMS微机械结构受冲击力学分析
被引量：5
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作者
高成
王怡豪
傅成城
黄姣英
王长鑫
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机构
北京航空航天大学可靠性与系统工程学院
中国船舶工业系统工程研究所
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2020年第9期9-12,15,共5页
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基金
军用电子元器件科研项目(1807WK0002)。
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文摘
对微机电系统(MEMS)加速度传感器ADXL203的微机械结构建立三维模型,使用卡式定理与线性弹性理论推导折叠梁X,Y,Z方向刚度,并利用ANSYS有限元仿真验证了刚度计算结果。求解结构阻尼系数,由阻尼受迫振动模型入手,采用准静态理论或振动理论,分析微机械结构在冲击脉冲下的响应规律,推导出在半正弦波冲击条件下,微机械结构的运动方程。计算得到微机械结构在X,Y方向最大位移为0.883,0.8786 mm,分别在冲击发生后的0.141,0.142 ms时。提出了微机械结构刚度、阻尼、运动方程的求解方法,便于分析其失效机理,指导MEMS冲击试验的进行。
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关键词
微机电系统
折叠梁
刚度
阻尼
冲击
运动方程
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Keywords
micro-electro-mechanical system(MEMS)
folded beam
stiffness
damping
shock
motion equation
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分类号
O313.4
[理学—一般力学与力学基础]
TN403
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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