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SiO_2薄膜TO与LO振动模式的数值研究: 1; 作者刘华松罗征 +5 位作者刘幕霄姜玉刚王利栓季一勤张锋陈德应《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第11期3746-3750,共5页; 对Si-SiO2基底薄膜系统进行数值实验,将SiO2薄膜的能损函数与透过率光谱和反射椭圆偏振光谱进行对比,讨论了在红外透过率光谱和反射椭偏光谱中激发的SiO2薄膜TO和LO振动模式。在正入射的红外透过率光谱中,仅能发现SiO2薄膜的TO振动模式... 展开更多; 关键词 SIO2薄膜 TO模式 LO模式透过率光谱反射椭偏谱; 在线阅读下载PDF 职称材料

真空热处理对硫化锌薄膜光学与微结构特性的影响被引量：9: 2; 作者刘华松姜承慧 +4 位作者李士达杨霄季一勤张锋陈德应《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期2038-2045,共8页; 针对电子束蒸发离子辅助沉积的硫化锌薄膜,研究了550℃以下真空热处理对其光学与微结构特性的影响。薄膜光学和微结构特性的测试分析表明:制备后薄膜为类立方结构的ZnS,在337.5nm波长处出现临界特性转折点,随着热处理温度的增加,转折波... 展开更多; 关键词 ZNS薄膜折射率消光系数真空热处理晶相结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

离子束溅射氧化钽薄膜的光学带隙特性被引量：7: 3; 作者刘华松杨霄 +3 位作者王利栓姜玉刚季一勤陈德应《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期21-27,共7页; Ta_2O_5薄膜是可见光到近红外波段中重要的高折射率薄膜材料之一。本文针对离子束溅射制备Ta_2O_5薄膜的光学带隙特性开展了实验研究工作,基于Cody-Lorentz模型表征了薄膜的光学带隙特性,重点针对薄膜的禁带宽度和Urbach带尾宽度与制备... 展开更多; 关键词 Ta2O5薄膜禁带宽度 Urbach带尾宽度制备参数影响权重; 在线阅读下载PDF 职称材料

离子束溅射法制备碳化锗薄膜的红外光学特性和力学特性（英文）被引量：1: 4; 作者孙鹏胡明 +6 位作者张锋季一勤刘华松刘丹丹冷健杨明李钰《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期133-138,共6页; 采用离子束溅射法通过在CH4和Ar的混合气体中溅射Ge靶材制备碳化锗(Ge_(1-x)C_x)薄膜.分别通过原子力显微镜、拉曼光谱和X射线光电子能谱、傅里叶变换红外光谱以及纳米压痕测试研究了薄膜的表面形貌、化学结构、光学特性和力学特性.同... 展开更多; 关键词离子束溅射沉积碳化锗红外光学特性机械特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于二维相关分析的ZnS材料声子交互作用: 5; 作者刘华松杨霄 +4 位作者刘丹丹李士达季一勤张锋陈德应《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期606-611,共6页; 硫化锌材料是长波红外光学窗口材料优选材料之一.针对化学气相沉积(CVD)和热压成形(HP)两种工艺制备的硫化锌材料,研究了从室温到600℃的光谱透过率变化现象,基于二维相关光谱分析技术,获得了长波吸收区内的声子交互作用.研究结果表明:... 展开更多; 关键词 CVD ZNS HP ZNS 声子二维相关分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

离子束溅射氧化钽薄膜光学特性的热处理效应被引量：5: 6; 作者王利栓杨霄 +6 位作者刘丹丹姜承慧刘华松季一勤张锋樊荣伟陈德应《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第3期175-181,共7页; 主要研究了离子束溅射制备的氧化钽薄膜在大气氛围下热处理对其光学特性的影响规律。实验中热处理温度范围的选择为150~550℃,间隔为200℃。研究中分别采用介电常数的CodyLorentz色散模型和振子模型对氧化钽薄膜的能带特性(1~4 eV)和红... 展开更多; 关键词 Ta2O5薄膜热处理光学常数禁带宽度微结构振动; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名SiO_2薄膜TO与LO振动模式的数值研究: 1; 作者刘华松罗征刘幕霄姜玉刚王利栓季一勤张锋陈德应; 机构中国航天科工飞航技术研究院天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国家级重点实验室海军装备部天津局驻天津地区兵器设备军事代表室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第11期3746-3750,共5页; 基金国家自然科学基金(61235011) 国家重大科学仪器设备开发专项资金(2012YQ040164) +1 种基金天津市科委项目(14JCQNJC02400 13JCYBJC17300); 文摘对Si-SiO2基底薄膜系统进行数值实验,将SiO2薄膜的能损函数与透过率光谱和反射椭圆偏振光谱进行对比,讨论了在红外透过率光谱和反射椭偏光谱中激发的SiO2薄膜TO和LO振动模式。在正入射的红外透过率光谱中,仅能发现SiO2薄膜的TO振动模式;在倾斜入射的s偏振透过率光谱中没有激发的LO模式;在倾斜入射的p偏振透过率光谱中,当入射角小于60°时,三个TO振动模式全部被激发;当入射角大于60°时,三个LO振动模式都被激发,而TO模式仅能激发两个。在反射椭偏光谱中,TO模式未被激发,仅能激发LO模式。在透过率光谱和反射椭偏谱中,振动频率分别具有向高波数和低波数方向频移的现象。; 关键词 SIO2薄膜 TO模式 LO模式透过率光谱反射椭偏谱; Keywords SiO2 film TO mode LO mode transmission spectrum reflection spectroscopic ellipsometry; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名真空热处理对硫化锌薄膜光学与微结构特性的影响被引量：9: 2; 作者刘华松姜承慧李士达杨霄季一勤张锋陈德应; 机构中国航天科工飞航技术研究院天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国防科技重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期2038-2045,共8页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.61405145) 天津市自然科学重点基金资助项目(No.15JCZDJC31900) +1 种基金 No.2014M560104); 文摘针对电子束蒸发离子辅助沉积的硫化锌薄膜,研究了550℃以下真空热处理对其光学与微结构特性的影响。薄膜光学和微结构特性的测试分析表明:制备后薄膜为类立方结构的ZnS,在337.5nm波长处出现临界特性转折点,随着热处理温度的增加,转折波长两侧的消光系数变化规律相反,折射率和物理厚度呈现下降趋势,薄膜的禁带宽度逐渐增加;在红外波段的薄膜折射率与热处理温度的变化并不显著,在350℃下热处理时消光系数出现转折,主要是由晶粒变小的趋势所致;通过晶相分析,硫化锌薄膜经历了类立方结构到六方结构的转换,与禁带宽度的变化趋势基本一致。分析结果表明,光学特性变化的根本原因是薄膜的微结构特性变化。; 关键词 ZNS薄膜折射率消光系数真空热处理晶相结构; Keywords ZnS thin film refractive index extinction coefficient vacuum annealing crystallographicstructure; 分类号 O484.4 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离子束溅射氧化钽薄膜的光学带隙特性被引量：7: 3; 作者刘华松杨霄王利栓姜玉刚季一勤陈德应; 机构中国航天科工飞航技术研究院天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国防科技重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期21-27,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.61405145 No.61235011) +2 种基金 No.2014M560104); 文摘 Ta_2O_5薄膜是可见光到近红外波段中重要的高折射率薄膜材料之一。本文针对离子束溅射制备Ta_2O_5薄膜的光学带隙特性开展了实验研究工作,基于Cody-Lorentz模型表征了薄膜的光学带隙特性,重点针对薄膜的禁带宽度和Urbach带尾宽度与制备参数之间的相关性进行研究。研究结果表明:在置信概率95%以上时,对Ta_2O_5薄膜禁带宽度影响的制备参数,权重大小依次为氧气流量、基板温度、离子束电压;而对Ta_2O_5薄膜Urbach带尾宽度影响的制备参数,权重大小依次为基板温度和氧气流量。对于Ta_2O_5薄膜在超低损耗激光薄膜和高损伤阈值激光薄膜领域内应用,本文的研究结果给出了同步提高薄膜的禁带宽度和降低带尾宽度的重要工艺参数选择方法。; 关键词 Ta2O5薄膜禁带宽度 Urbach带尾宽度制备参数影响权重; Keywords Ta2O5 thin film band gap Urbach energy preparative parameters influence coefficient; 分类号 O484.4 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离子束溅射法制备碳化锗薄膜的红外光学特性和力学特性（英文）被引量：1: 4; 作者孙鹏胡明张锋季一勤刘华松刘丹丹冷健杨明李钰; 机构天津大学电子信息工程学院中国航天科工飞航技术研究院天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期133-138,共6页; 基金 Supported by National Natural Science Foundation of China(61235011) the Science and Technology Commission of Tianjin Municipality(13JCYBJC17300,12JCQNIC01200); 文摘采用离子束溅射法通过在CH4和Ar的混合气体中溅射Ge靶材制备碳化锗(Ge_(1-x)C_x)薄膜.分别通过原子力显微镜、拉曼光谱和X射线光电子能谱、傅里叶变换红外光谱以及纳米压痕测试研究了薄膜的表面形貌、化学结构、光学特性和力学特性.同时分析了制备薄膜时的离子源束压和薄膜性质之间的关系.结果表明,薄膜的粗糙度随束压的增大而减小.在较高束压下制备的薄膜含有较少的C元素和较多的Ge-C键.薄膜具有非常好的红外光学特性和力学特性.薄膜在较大波长范围内具有良好的透光性能.C元素含量随着束压的升高而降低,进而导致薄膜的折射率在束压从300 V增大到800 V的过程中逐渐升高.薄膜的硬度大于8GPa.由于薄膜中的Ge-C键代替了C-C键和C-Hn键,薄膜的硬度随束压的增加逐渐增加.; 关键词离子束溅射沉积碳化锗红外光学特性机械特性; Keywords ion beam sputtering deposition germanium carbon infrared optical property mechanical property; 分类号 O484.41 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于二维相关分析的ZnS材料声子交互作用: 5; 作者刘华松杨霄刘丹丹李士达季一勤张锋陈德应; 机构中国航天科工飞航技术研究院天津津航技术物理研究所哈尔滨工业大学光电子技术研究所; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期606-611,共6页; 基金国家自然科学基金(61405145,61235011) 天津市自然科学重点基金(15JCZDJC31900) 中国博士后科学基金(2014M560104,2015T80115)~~; 文摘硫化锌材料是长波红外光学窗口材料优选材料之一.针对化学气相沉积(CVD)和热压成形(HP)两种工艺制备的硫化锌材料,研究了从室温到600℃的光谱透过率变化现象,基于二维相关光谱分析技术,获得了长波吸收区内的声子交互作用.研究结果表明:在700~1250 cm^(-1)的长波吸收波段,CVD ZnS的声子频率为横向振动模式下(TO)的三次谐波频率和纵向声学模式下(LA)的三次谐波频率;HP ZnS的声子频率分别为3TO、3LA和4LA,并且在温度作用下的响应顺序依次为3LA、3TO和4LA.两种工艺制备的ZnS杂质振动吸收在温度作用下对2 000~1 250 cm^(-1)范围内的光谱透过率产生影响,出现不同程度的透过率增加现象,由于两者含有杂质的区别,在高温下CVD ZnS的透过率变化比HP ZnS较为显著.; 关键词 CVD ZNS HP ZNS 声子二维相关分析; Keywords CVD ZnS, HP ZnS, phonon, two-dimensional correlation analysis; 分类号 O482 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离子束溅射氧化钽薄膜光学特性的热处理效应被引量：5: 6; 作者王利栓杨霄刘丹丹姜承慧刘华松季一勤张锋樊荣伟陈德应; 机构哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室中国航天科工飞航技术研究院天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第3期175-181,共7页; 基金国家自然科学基金(61405145 61235011) +2 种基金中国博士后科学基金(2015T80115 2014M560104); 文摘主要研究了离子束溅射制备的氧化钽薄膜在大气氛围下热处理对其光学特性的影响规律。实验中热处理温度范围的选择为150~550℃,间隔为200℃。研究中分别采用介电常数的CodyLorentz色散模型和振子模型对氧化钽薄膜的能带特性(1~4 eV)和红外波段(400~4 000 cm^(-1))的微结构振动特性进行了表征。研究结果表明,在150℃和350℃之间出现热处理温度转折点,即热处理温度高于此值时消光系数增加。Urbach能量的变化与消光系数趋势相同,而禁带宽度的变化与消光系数恰好相反。通过红外微结构振动特性分析,薄膜中仍存在亚氧化物的化学计量缺陷。; 关键词 Ta2O5薄膜热处理光学常数禁带宽度微结构振动; Keywords Ta2O5 thin film annealing optical constants band gap microstructure vibration; 分类号 O484.5 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	SiO_2薄膜TO与LO振动模式的数值研究	刘华松罗征刘幕霄姜玉刚王利栓季一勤张锋陈德应	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2014	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	真空热处理对硫化锌薄膜光学与微结构特性的影响	刘华松姜承慧李士达杨霄季一勤张锋陈德应	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	9	在线阅读下载PDF 职称材料
3	离子束溅射氧化钽薄膜的光学带隙特性	刘华松杨霄王利栓姜玉刚季一勤陈德应	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	7	在线阅读下载PDF 职称材料
4	离子束溅射法制备碳化锗薄膜的红外光学特性和力学特性（英文）	孙鹏胡明张锋季一勤刘华松刘丹丹冷健杨明李钰	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2016	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于二维相关分析的ZnS材料声子交互作用	刘华松杨霄刘丹丹李士达季一勤张锋陈德应	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2017	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	离子束溅射氧化钽薄膜光学特性的热处理效应	王利栓杨霄刘丹丹姜承慧刘华松季一勤张锋樊荣伟陈德应	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2018	5	在线阅读下载PDF 职称材料