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MEMS音叉式振动陀螺仪的动态特性研究
1
作者
郭秋芬
孙枫
+1 位作者
苗成义
李俊山
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第z2期1658-1660,共3页
MEMS陀螺仪是MEMS惯性测量组合单元中的重要组成部分,其精度的高低直接影响到整个组合单元的输出精度。本文介绍了MEMS音叉式振动陀螺仪的结构特点及工作机理,主要建立了其误差模型,对原理性误差进行了定性分析,给出了影响其精度的主要...
MEMS陀螺仪是MEMS惯性测量组合单元中的重要组成部分,其精度的高低直接影响到整个组合单元的输出精度。本文介绍了MEMS音叉式振动陀螺仪的结构特点及工作机理,主要建立了其误差模型,对原理性误差进行了定性分析,给出了影响其精度的主要干扰源,并提出了误差补偿的方法。
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关键词
硅微陀螺仪
音叉式振动陀螺仪
动态特性
误差分析及补偿方法
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职称材料
微型梳状线振动陀螺仪的特性研究
2
作者
郭秋芬
孙枫
苗成义
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期352-356,共5页
硅微陀螺仪是微机电系统研究的一个重要内容,由于其体积小(达到微米级别),许多在传统陀螺仪中忽略掉的干扰条件要重新进行评估。其中,温度对其性能的影响很大。本文通过分析温度对梳状线振动陀螺仪的影响,推出了检测轴输出幅值和相位与...
硅微陀螺仪是微机电系统研究的一个重要内容,由于其体积小(达到微米级别),许多在传统陀螺仪中忽略掉的干扰条件要重新进行评估。其中,温度对其性能的影响很大。本文通过分析温度对梳状线振动陀螺仪的影响,推出了检测轴输出幅值和相位与温度的关系。提出一种利用输出相位作为温度补差的新方法,经温度实验验证了这种方法的可行性,此方法为提高微型梳状线振动陀螺仪的性能提供了一种新的途径。
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关键词
硅微陀螺仪
梳状线振动
温度特性
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职称材料
题名
MEMS音叉式振动陀螺仪的动态特性研究
1
作者
郭秋芬
孙枫
苗成义
李俊山
机构
哈尔滨工程大学
中国航天科工集团第三研究院第三十三研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第z2期1658-1660,共3页
基金
国家自然科学基金(50475155)资助项目
文摘
MEMS陀螺仪是MEMS惯性测量组合单元中的重要组成部分,其精度的高低直接影响到整个组合单元的输出精度。本文介绍了MEMS音叉式振动陀螺仪的结构特点及工作机理,主要建立了其误差模型,对原理性误差进行了定性分析,给出了影响其精度的主要干扰源,并提出了误差补偿的方法。
关键词
硅微陀螺仪
音叉式振动陀螺仪
动态特性
误差分析及补偿方法
Keywords
silicon MEMS gyroscope tuning fork gyro dynamic characteristic error analysis andcompensation
分类号
TH7-55 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
微型梳状线振动陀螺仪的特性研究
2
作者
郭秋芬
孙枫
苗成义
机构
哈尔滨工程大学自动化学院
中国航天科工集团第三研究院第三十三研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期352-356,共5页
文摘
硅微陀螺仪是微机电系统研究的一个重要内容,由于其体积小(达到微米级别),许多在传统陀螺仪中忽略掉的干扰条件要重新进行评估。其中,温度对其性能的影响很大。本文通过分析温度对梳状线振动陀螺仪的影响,推出了检测轴输出幅值和相位与温度的关系。提出一种利用输出相位作为温度补差的新方法,经温度实验验证了这种方法的可行性,此方法为提高微型梳状线振动陀螺仪的性能提供了一种新的途径。
关键词
硅微陀螺仪
梳状线振动
温度特性
Keywords
silicon MEMS gyroscope
comb line vibration
temperature characteristic
分类号
TB123 [理学—工程力学]
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职称材料
题名
作者
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1
MEMS音叉式振动陀螺仪的动态特性研究
郭秋芬
孙枫
苗成义
李俊山
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
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职称材料
2
微型梳状线振动陀螺仪的特性研究
郭秋芬
孙枫
苗成义
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
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职称材料
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参考文献
引证文献
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