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表面镀膜调控二次电子发射的研究进展
1
作者
万雪曼
杨晶
+5 位作者
胡天存
何鋆
杨兆伦
张雨婷
张娜
崔万照
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第24期31-39,98,共10页
二次电子发射现象属于材料表面的一种特殊物理效应,广泛存在于显微分析和信号探测领域、空间大功率微波部件、大型粒子加速器以及高压真空绝缘部件中。表面镀膜技术是二次电子发射调控的重要研究方向之一,通过引入镀层材料来改变衬底的...
二次电子发射现象属于材料表面的一种特殊物理效应,广泛存在于显微分析和信号探测领域、空间大功率微波部件、大型粒子加速器以及高压真空绝缘部件中。表面镀膜技术是二次电子发射调控的重要研究方向之一,通过引入镀层材料来改变衬底的表面状态,从而影响材料对电子的散射能力。从镀膜材料二次电子发射的物理机制和理论模型出发,分析了半经验物理模型的适用条件及优化方向。随后,根据二次电子发射特性应用场景的不同,对常用的镀层材料及其调控方法进行了文献调研和综合分析,从镀膜工艺和显微结构等方面进行了讨论。对电子倍增领域而言,镀覆Al_(2)O_(3)、MgO和Zn O等氧化物薄膜作为二次电子倍增层材料,可以提高器件的探测效率。对空间大功率微波部件而言,镀覆碳化物、氮化物等低SEY的材料,可以降低材料的二次电子发射能力,避免由电子倍增所引起微放电效应。最后,总结了镀膜结构在调控二次电子发射特性的研究进展,并对其未来发展进行了合理展望。
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关键词
二次电子发射特性
二次电子发射系数调控
表面镀膜技术
表面结构
纳米薄膜
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职称材料
题名
表面镀膜调控二次电子发射的研究进展
1
作者
万雪曼
杨晶
胡天存
何鋆
杨兆伦
张雨婷
张娜
崔万照
机构
中国空间技术研究院空间微波通信全国重点实验室
南京航空航天大学
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第24期31-39,98,共10页
基金
空间微波通信全国重点实验室稳定支持基金(HTKJ2023KL504001)
自然科学基金青年基金(62101434)。
文摘
二次电子发射现象属于材料表面的一种特殊物理效应,广泛存在于显微分析和信号探测领域、空间大功率微波部件、大型粒子加速器以及高压真空绝缘部件中。表面镀膜技术是二次电子发射调控的重要研究方向之一,通过引入镀层材料来改变衬底的表面状态,从而影响材料对电子的散射能力。从镀膜材料二次电子发射的物理机制和理论模型出发,分析了半经验物理模型的适用条件及优化方向。随后,根据二次电子发射特性应用场景的不同,对常用的镀层材料及其调控方法进行了文献调研和综合分析,从镀膜工艺和显微结构等方面进行了讨论。对电子倍增领域而言,镀覆Al_(2)O_(3)、MgO和Zn O等氧化物薄膜作为二次电子倍增层材料,可以提高器件的探测效率。对空间大功率微波部件而言,镀覆碳化物、氮化物等低SEY的材料,可以降低材料的二次电子发射能力,避免由电子倍增所引起微放电效应。最后,总结了镀膜结构在调控二次电子发射特性的研究进展,并对其未来发展进行了合理展望。
关键词
二次电子发射特性
二次电子发射系数调控
表面镀膜技术
表面结构
纳米薄膜
Keywords
secondary electron emission
modulation of secondary electron yield
film coating process
surface microstructure
nano-film
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
表面镀膜调控二次电子发射的研究进展
万雪曼
杨晶
胡天存
何鋆
杨兆伦
张雨婷
张娜
崔万照
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
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