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碲和镉材料的SIMS相对灵敏度因子及其规律性
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作者 张景文 杨得全 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第A12期177-180,共4页
利用已知浓度的均匀体掺杂半导体碲与金属镉材料作为SIMS分析的标准样品,测量得到了正电性杂质元素的相对灵敏度因子RSF,发现了杂质元素相对灵敏度因子的对数与相应元素第一电离子IP之间成很好的线性关系。碲和镉样品的lo... 利用已知浓度的均匀体掺杂半导体碲与金属镉材料作为SIMS分析的标准样品,测量得到了正电性杂质元素的相对灵敏度因子RSF,发现了杂质元素相对灵敏度因子的对数与相应元素第一电离子IP之间成很好的线性关系。碲和镉样品的log QRSFi^-WIP关系的最小二乘拟合直线的斜率分别为0.98dec.eV和0.66dec.eV。 展开更多
关键词 相对灵敏度因子 半导体材料 SIMS
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