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碲和镉材料的SIMS相对灵敏度因子及其规律性
1
作者
张景文
杨得全
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1998年第A12期177-180,共4页
利用已知浓度的均匀体掺杂半导体碲与金属镉材料作为SIMS分析的标准样品,测量得到了正电性杂质元素的相对灵敏度因子RSF,发现了杂质元素相对灵敏度因子的对数与相应元素第一电离子IP之间成很好的线性关系。碲和镉样品的lo...
利用已知浓度的均匀体掺杂半导体碲与金属镉材料作为SIMS分析的标准样品,测量得到了正电性杂质元素的相对灵敏度因子RSF,发现了杂质元素相对灵敏度因子的对数与相应元素第一电离子IP之间成很好的线性关系。碲和镉样品的log QRSFi^-WIP关系的最小二乘拟合直线的斜率分别为0.98dec.eV和0.66dec.eV。
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关键词
相对灵敏度因子
碲
镉
半导体材料
SIMS
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职称材料
题名
碲和镉材料的SIMS相对灵敏度因子及其规律性
1
作者
张景文
杨得全
机构
中国空间技术研究院兰州物理研究所真空低温技术实验室
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1998年第A12期177-180,共4页
文摘
利用已知浓度的均匀体掺杂半导体碲与金属镉材料作为SIMS分析的标准样品,测量得到了正电性杂质元素的相对灵敏度因子RSF,发现了杂质元素相对灵敏度因子的对数与相应元素第一电离子IP之间成很好的线性关系。碲和镉样品的log QRSFi^-WIP关系的最小二乘拟合直线的斜率分别为0.98dec.eV和0.66dec.eV。
关键词
相对灵敏度因子
碲
镉
半导体材料
SIMS
分类号
TN304.7 [电子电信—物理电子学]
O657.99 [理学—分析化学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
碲和镉材料的SIMS相对灵敏度因子及其规律性
张景文
杨得全
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1998
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