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基体效应对二次离子质谱相对灵敏度因子影响的研究 被引量:1
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作者 杨得全 范垂祯 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第A12期173-176,共4页
众所周知,二次离子质谱定量分析的最大困难之一就是其体效应的影响。由于二次离子质谱发射机理较为复杂,从理论上描述和分析基体效应仍有较大难度。本文基于对不同基人本中相对灵敏度因子值的分析,提出了一种描述基体效应的物理量-... 众所周知,二次离子质谱定量分析的最大困难之一就是其体效应的影响。由于二次离子质谱发射机理较为复杂,从理论上描述和分析基体效应仍有较大难度。本文基于对不同基人本中相对灵敏度因子值的分析,提出了一种描述基体效应的物理量-基体效应因子。分析结果说明,在O2^+离子入射下,基体效应因子与基体的平均原子序数、平均电负性及其基体元素的氧化物平均生成热之间的密切的关系。依据作者曾提出的“结合断键-局域热平衡” 展开更多
关键词 二次离子质谱 基体效应 相对灵敏度因子 SIMS
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