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用热丝法制备优质稳定非晶硅薄膜的研究
被引量：
6
1
作者
陈国
朱美芳
+2 位作者
孙景兰
郭晓旭
苏夷希
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第3期269-272,共4页
系统地研究了低压热丝化学汽相沉积技术中沉积气压、衬底温度、钨丝温度等参量对氢化非晶硅膜结构、光电特性及稳定性的影响。结果表明，沉积气压是影响非晶硅膜的最主要参数，在优化沉积参数的条件下制备非晶硅。
关键词
热丝法
稳定性
太阳能电池
非晶硅薄膜
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职称材料
题名
用热丝法制备优质稳定非晶硅薄膜的研究
被引量：
6
1
作者
陈国
朱美芳
孙景兰
郭晓旭
苏夷希
机构
中国科技大学研究生院物理系
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第3期269-272,共4页
文摘
系统地研究了低压热丝化学汽相沉积技术中沉积气压、衬底温度、钨丝温度等参量对氢化非晶硅膜结构、光电特性及稳定性的影响。结果表明，沉积气压是影响非晶硅膜的最主要参数，在优化沉积参数的条件下制备非晶硅。
关键词
热丝法
稳定性
太阳能电池
非晶硅薄膜
Keywords
hot wire chemical vapour deposition technique,a Si∶H film,stability
分类号
TM914.42 [电气工程—电力电子与电力传动]
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
用热丝法制备优质稳定非晶硅薄膜的研究
陈国
朱美芳
孙景兰
郭晓旭
苏夷希
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
6
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