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光纤耦合间接电子探测器结构设计及其实验结果
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作者 彭华兴 刘术林 +8 位作者 梁晶 闫保军 刘辉 刘翔宇 张斌婷 王建铭 焦朋 张洋 独雅婕 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第1期14-20,共7页
依据透射电子显微镜中透射电子成像的特点,设计出纤维光学面板耦合CMOS相机的间接电子成像探测器,分别改变荧光粉层和铝膜的厚度,发现在相同条件下,薄荧光粉相较于厚荧光粉可以得到更亮的图像;在较小范围内,铝膜厚度的改变对图像亮度几... 依据透射电子显微镜中透射电子成像的特点,设计出纤维光学面板耦合CMOS相机的间接电子成像探测器,分别改变荧光粉层和铝膜的厚度,发现在相同条件下,薄荧光粉相较于厚荧光粉可以得到更亮的图像;在较小范围内,铝膜厚度的改变对图像亮度几乎无影响;考虑到微通道板对高能电子有一定的探测效率,尝试在荧光屏前放置微通道板,测试结果表明微通道板能够有效提高图像亮度,其在700 V工作电压下,荧光屏亮度较未安装微通道板的情况提高了30倍,并且微通道板能够屏蔽X射线,更换成本较低,可能是间接电子探测器的一个新选择。 展开更多
关键词 荧光粉 铝膜 微通道板 光纤耦合 透射电子显微镜
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基于APV25读出电子学系统的GEM探测器的位置分辨与X射线成像研究 被引量:2
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作者 蹇司玉 胡守扬 +5 位作者 周静 李兴隆 梁浩 周意 祁辉荣 李笑梅 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1132-1136,共5页
采用3层GEM膜制作了有效面积为10cm×10cm的GEM探测器,该探测器采用二维条读出方式,条间距为400μm,每个维度有256个读出通道。探测器的读出采用APV25读出电子学系统,根据GEM探测器的需要,设计并改进了电子学系统使用的背板连接器... 采用3层GEM膜制作了有效面积为10cm×10cm的GEM探测器,该探测器采用二维条读出方式,条间距为400μm,每个维度有256个读出通道。探测器的读出采用APV25读出电子学系统,根据GEM探测器的需要,设计并改进了电子学系统使用的背板连接器。实验测得GEM探测器空间分辨为76μm。进行了X射线二维成像研究,获得了清晰的二维图像,探测器与电子学运行稳定可靠。 展开更多
关键词 GEM探测器 APV25 位置分辨 X射线成像
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基于紫外激光测量时间投影室电离能损的方法研究
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作者 常悦 祁辉荣 +6 位作者 佘信 张锦闲 喻纯旭 赵光 伍灵慧 邓智 王建春 《原子能科学技术》 北大核心 2025年第3期725-733,共9页
时间投影室(TPC)具有高精度、低物质量和出色的粒子鉴别能力,在对撞机物理、暗物质研究以及核物理领域得到了广泛应用。TPC能同时测量电离能量损失率(dE/dx)和动量,这是其进行电离能损测量和实现粒子鉴别(PID)的关键特性。然而,传统的... 时间投影室(TPC)具有高精度、低物质量和出色的粒子鉴别能力,在对撞机物理、暗物质研究以及核物理领域得到了广泛应用。TPC能同时测量电离能量损失率(dE/dx)和动量,这是其进行电离能损测量和实现粒子鉴别(PID)的关键特性。然而,传统的电离能损测量方法存在成本高、重复性低等不足。本文提出通过监测每个激光脉冲的能量并进行校正,优化激光电离的概率密度分布,从而提高dE/dx分辨率的测量精度。实验使用集成了2层气体电子倍增器(GEM)模块的TPC原型机进行验证,结果表明该方法能恢复单能激光的高斯分布能谱,实现dE/dx分辨率的有效测量。通过拼接激光事件,模拟了有效长度为1.2 m时TPC的dE/dx分辨率为4%,与DESY GEM模块束流实验的拼接结果基本一致。此外,通过搭建TPC全模拟软件框架给出了大尺寸TPC的dE/dx在0 T和3 T下的模拟结果。 展开更多
关键词 时间投影室 气体电子倍增器 紫外激光 电离能损
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微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势 被引量:14
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作者 高杨 雷强 +1 位作者 赵俊武 吕军光 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期1-14,共14页
微机械谐振式加速度计(MMRA)是通过检测加速度施加前后谐振器谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点,己成为MEMS传感器的重要发展方向之一。详细讨论了微机械谐振式加速度计设... 微机械谐振式加速度计(MMRA)是通过检测加速度施加前后谐振器谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点,己成为MEMS传感器的重要发展方向之一。详细讨论了微机械谐振式加速度计设计中的关键技术,难点及对应解决方案、发展趋势。其中,关键技术包括机械结构、激励与检测方式以及谐振器刚度改变方式。分析了谐振器的三种机械结构以及微杠杆工艺误差造成的不对称性;根据谐振器材料的压电特性,可将MMRA分为压电MMRA和非压电MMRA,压电MMRA的激励与检测方式都是压电激励/压电检测,非压电MMRA主要为静电激励/电容检测;讨论了轴向应力和静电刚度这两种谐振器刚度改变方式的原理和适用范围。微机械谐振式加速度计主要存在四个技术难点:机械耦合、温度特性、工艺误差、组装与封装,并针对这四点给出了相应的解决方案。集成,静电刚度,新材料,多轴以及更高的性能指标将是今后微机械谐振式加速度计的主要发展趋势。 展开更多
关键词 谐振器 谐振频率 灵敏度
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产生大面积均匀面电子源的电子枪设计 被引量:3
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作者 顾运厅 林焱剑 +5 位作者 闫保军 刘术林 杨玉真 余洋 温凯乐 王玉漫 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期1109-1113,共5页
为了满足大尺寸微通道板(MCP)的性能测试和电子清刷除气处理,设计了一种电子枪,可以产生尺寸大、均匀性好、动态范围宽的平面电子源。该电子枪采用功函数较低的钽丝,加工成盘香式结构,通过外加电场,使得出射后打到微通道板输入面上的电... 为了满足大尺寸微通道板(MCP)的性能测试和电子清刷除气处理,设计了一种电子枪,可以产生尺寸大、均匀性好、动态范围宽的平面电子源。该电子枪采用功函数较低的钽丝,加工成盘香式结构,通过外加电场,使得出射后打到微通道板输入面上的电子源束流密度可调、均匀性优于90%,12 h内的稳定性优于±0.1μA,动态范围达到7个数量级(10^-12~10^-5 A),可以实现对直径为50 mm的微通道板进行精确测试和严格的电子清刷处理,也可以应用于其它领域。 展开更多
关键词 微通道板 电子枪 电子清刷 热电子发射 直流增益测试
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用于中子成像探测器的混合掺杂nMCP模拟及优化 被引量:2
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作者 谭金昊 周健荣 +4 位作者 宋玉收 杨建清 张连军 蒋兴奋 孙志嘉 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期1792-1798,1825,共8页
为了给CSNS中子谱仪提供性能优异的能量分辨中子成像探测器,本文设计了兼具高探测效率和高位置分辨的中子探测器。根据中子灵敏微通道板(nMCP)的中子探测原理和信号产生机制,使用Geant4建立nMCP的模拟模型以及位置分辨的计算模型,使用... 为了给CSNS中子谱仪提供性能优异的能量分辨中子成像探测器,本文设计了兼具高探测效率和高位置分辨的中子探测器。根据中子灵敏微通道板(nMCP)的中子探测原理和信号产生机制,使用Geant4建立nMCP的模拟模型以及位置分辨的计算模型,使用蒙特卡罗模拟对硼钆混合掺杂nMCP的探测效率和位置分辨2个关键性能展开了优化,并对nMCP中由中子入射位置不同产生的响应不均匀性进行了研究。结果表明:对于8μm孔径,10μm孔间距,1°倾角的nMCP,混合掺杂摩尔百分比为10的B_(2)O_(3)和摩尔百分比为0.4的Gd_(2)O_(3),在保持15μm位置分辨的同时可以最高达到28%的探测效率。相对于无倾角的nMCP,在有通道倾角的nMCP中这种响应不均匀现象更加严重。本文的模拟结果为开发用于能量分辨中子成像的高性能nMCP提供了有力的数据支持。 展开更多
关键词 中子成像 中子探测器 中子灵敏MCP 混合掺杂 蒙卡模拟 探测效率 位置分辨 响应不均匀性
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适用于电子倍增器件的电荷灵敏放大器的设计 被引量:6
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作者 张斌婷 闫保军 +4 位作者 刘术林 温凯乐 王玉漫 谷建雨 姚文静 《红外技术》 CSCD 北大核心 2022年第8期792-797,共6页
介绍了一种自主研制的新型电荷灵敏型三级放大器,其电路设计主要采用ADA4817高速低噪声集成运算放大芯片,该三级放大器噪声低、稳定性好、电路结构简单、性价比高、检修更换方便,可以不失真地放大上升时间在ns级的信号,放大器输出信号... 介绍了一种自主研制的新型电荷灵敏型三级放大器,其电路设计主要采用ADA4817高速低噪声集成运算放大芯片,该三级放大器噪声低、稳定性好、电路结构简单、性价比高、检修更换方便,可以不失真地放大上升时间在ns级的信号,放大器输出信号质量优异,可配合后续的多道分析器MCA8000D读取微通道板(microchannel plate,MCP)组件或单通道电子倍增器(single-channel electron multiplier,CEM)的单光电子谱,测试结果表明:自主设计的ADA4817型放大器在一定的方波标定脉冲信号下,其基线的宽度小于2 m V,上升沿时间约为800 ns,幅值约为40 m V,性能接近或略优于A250型放大器,可以更好地配合后续的多道分析器MCA8000D进行输出波形的分析和处理,完全满足MCP或CEM探测器的脉冲性能测试需求。 展开更多
关键词 电子倍增器 脉冲计数 单光电子谱 电荷灵敏放大器
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电子倍增器脉冲信号图形化离线分析软件 被引量:2
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作者 彭华兴 闫保军 +2 位作者 刘术林 张斌婷 韦雯露 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2022年第6期1107-1116,共10页
电子倍增器(electron multiplier,EM)工作于脉冲状态下,其阳极上输出离散的信号,考虑到电子倍增过程具有一定的统计性规律,研究EM在脉冲状态下的性能参数,需要对阳极输出的脉冲信号进行大量测试和分析。以基于打拿极电子倍增器的光电倍... 电子倍增器(electron multiplier,EM)工作于脉冲状态下,其阳极上输出离散的信号,考虑到电子倍增过程具有一定的统计性规律,研究EM在脉冲状态下的性能参数,需要对阳极输出的脉冲信号进行大量测试和分析。以基于打拿极电子倍增器的光电倍增管(photomultiplier tubes,PMT)为例,通过改变入射光强度使其工作在脉冲状态,利用高带宽、高采样率示波器采集其阳极输出信号。基于Python开发了一种图形化数据分析软件,用来对示波器采集的大量脉冲信号数据进行离线分析,从中可以获得PMT的电荷积分谱、增益、分辨率、后脉冲率、前沿时间等性能参数,软件采用模块化结构,根据不同的测试需求各个模块可以单独工作。该软件可以快速实现EM在脉冲状态下的性能参数分析,为EM制作工艺的优化及其在微弱信号探测领域中的应用提供了一种便利的分析手段。 展开更多
关键词 电子倍增器 PYTHON 脉冲状态 分析软件 光电倍增管 后脉冲
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新型分离式打拿极电子倍增器研制 被引量:1
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作者 闫保军 韦雯露 +3 位作者 刘术林 衡月昆 彭华兴 张斌婷 《中国无机分析化学》 CAS 北大核心 2023年第9期1023-1029,共7页
分离式打拿极电子倍增器(Discrete Dynode Electron Multiplier,DDEM)作为一种真空电子倍增器件可以实现对电子、离子和光子等粒子的探测,具有增益高、寿命长、动态范围宽、耐轰击等优点,广泛应用于材料分析、高能物理、航空航天等领域... 分离式打拿极电子倍增器(Discrete Dynode Electron Multiplier,DDEM)作为一种真空电子倍增器件可以实现对电子、离子和光子等粒子的探测,具有增益高、寿命长、动态范围宽、耐轰击等优点,广泛应用于材料分析、高能物理、航空航天等领域。传统DDEM一般由铜铍或银镁合金作为基底材料,经过氧化激活工艺制备而成,DDEM的性能依赖于基底材料的性能,由于氧化激活工艺复杂且合金材料的稳定性难以控制,造成后续制作出的打拿极性能难以保证。抛弃传统复杂的合金氧化工艺,采用原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)技术制备二次电子发射系数(Secondary Electron Yield,SEY)高而且稳定的氧化铝薄膜(SEY最大值为4.2),设计了一种盒栅式结构的DDEM,搭建了真空设备实现DDEM关键技术参数的测试评价,在直流状态下DDEM的增益可达2×10^(6),脉冲状态下增益可达1×10^(8),验证了ALD技术研制DDEM的可行性,解决了传统DDEM打拿极发射层材料严重依赖于金属合金成分和高温氧化激活工艺的难题,为今后研制更优性能的DDEM提供了良好的实验基础和新的技术方案。 展开更多
关键词 电子倍增器 分离式打拿极 原子层沉积 二次电子发射系数
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一种基于金阴极MCP的冷阴极电子源的研制 被引量:1
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作者 姚文静 刘术林 +4 位作者 闫保军 张斌婷 韦雯露 彭华兴 杨玉真 《质谱学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期96-104,共9页
采用深紫外光子激发金阴极产生的冷阴极电子源具有诸多优点,将其应用于电子轰击离子源(EI)有助于获得高质量的离子源。本实验分别采用在JGS2石英玻璃上蒸镀金薄膜构成透射式金阴极、在微通道板(MCP)输入面蒸镀金薄膜构成反射式金阴极,... 采用深紫外光子激发金阴极产生的冷阴极电子源具有诸多优点,将其应用于电子轰击离子源(EI)有助于获得高质量的离子源。本实验分别采用在JGS2石英玻璃上蒸镀金薄膜构成透射式金阴极、在微通道板(MCP)输入面蒸镀金薄膜构成反射式金阴极,将二者以不同的组合方式装配在一起,通过施加不同的间隙电压,从而获得较大范围的电子流输出,研制出电子束流可调(10^(-11)~10^(-5) A)、均匀分布(非均匀度6.5%)的稳定输出(稳定工作时间大于5 h)电子源,有望在高质量EI源中得到推广和应用。 展开更多
关键词 电子源 深紫外 金阴极 微通道板(MCP) 电子束流
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碳化硅与硅探测器辐射探测性能比较
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作者 张凌民 崔兴柱 +5 位作者 魏志鹏 郭东亚 刘雅清 乔锐 彭文溪 王晓华 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2016年第10期1044-1048,共5页
碳化硅(SiC)材料因其禁带宽度大、晶体原子离位能高等物理特性,而被视为制作耐高温和抗辐射器件极具潜力的宽带隙半导体材料。本文采用Geant4模拟得到了30μm厚的SiC和Si材料对不同能量的电子、质子、α粒子以及X射线的响应,并对SiC和S... 碳化硅(SiC)材料因其禁带宽度大、晶体原子离位能高等物理特性,而被视为制作耐高温和抗辐射器件极具潜力的宽带隙半导体材料。本文采用Geant4模拟得到了30μm厚的SiC和Si材料对不同能量的电子、质子、α粒子以及X射线的响应,并对SiC和Si探测器器件的I-V特性和能谱测量结果进行了比较。仿真及试验结果证明,SiC粒子阻挡本领及X射线探测效率与Si探测器相当,SiC与Si探测器对带电粒子的能谱分辨率也没有明显差别。 展开更多
关键词 SI C GEANT4 辐射探测
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江门中微子实验远程监控系统设计
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作者 韩子国 叶梅 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2016年第3期344-348,共5页
介绍了在实验物理和工业控制系统(EPICS)平台上开发远程监控系统,其实现的功能包括:远程监控硬件设备电压、电流、风扇转速、环境温湿度等,从而保证江门中微子实验(JUNO)探测器在满足实验需求的环境中正常工作,目前已全部完成并正常运转... 介绍了在实验物理和工业控制系统(EPICS)平台上开发远程监控系统,其实现的功能包括:远程监控硬件设备电压、电流、风扇转速、环境温湿度等,从而保证江门中微子实验(JUNO)探测器在满足实验需求的环境中正常工作,目前已全部完成并正常运转。NIM8304高压机箱监控系统采用基于数据流的设备通讯驱动软件模块Stream Device,Wiener机箱监控系统与温湿度探测器监控系统分别采用了SNMP协议和Modbus协议进行通讯,其底层IOC(Input/Output Controller)驱动通讯模块都采用了EPICS平台上的C语言开发。 展开更多
关键词 实验物理和工业控制系统 中微子实验 远程监控系统 IOC驱动
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CSNS反角白光中子源束线控制系统研制 被引量:4
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作者 何泳成 李刚 +12 位作者 康明涛 吴煊 朱鹏 金大鹏 张玉亮 郭凤琴 高文春 王林 王鹏程 于永积 宁常军 敬罕涛 唐靖宇 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期117-122,共6页
中国散裂中子源(CSNS)反角白光中子源束线主要由中子束窗、中子开关、中子准直器和真空管道等组成。为了保证CSNS反角白光中子源束线安全、稳定、可靠地运行,研制了基于EPICS(Experimental Physics and Industrial Control System)软件... 中国散裂中子源(CSNS)反角白光中子源束线主要由中子束窗、中子开关、中子准直器和真空管道等组成。为了保证CSNS反角白光中子源束线安全、稳定、可靠地运行,研制了基于EPICS(Experimental Physics and Industrial Control System)软件架构的控制系统。该系统主要由中子束窗、中子开关及中子准直器的运动控制系统、真空控制系统和控制室三部分组成,实现了对反角白光中子源束线主要设备的远程监测和控制。测试结果表明,该系统具有稳定可靠性高、人机交互友好的特点,很好地满足了反角白光中子源束线运行的需要。 展开更多
关键词 中国散裂中子源 反角白光中子源 束线 控制系统 EPICS
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高性能氮化铝差分谐振式加速度计的结构设计 被引量:5
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作者 高杨 韩超 雷强 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第1期69-75,共7页
提出了一种高性能氮化铝(Al N)差分谐振式加速度计结构。通过引入两级微杠杆来放大质量块的惯性力,提高灵敏度;采用"I"形支撑梁来降低横向灵敏度;利用差频检测方案降低温度共模误差的影响。该加速度计主要由质量块、支撑梁、... 提出了一种高性能氮化铝(Al N)差分谐振式加速度计结构。通过引入两级微杠杆来放大质量块的惯性力,提高灵敏度;采用"I"形支撑梁来降低横向灵敏度;利用差频检测方案降低温度共模误差的影响。该加速度计主要由质量块、支撑梁、双级微杠杆和谐振器组成,并通过理论分析和有限元仿真优化了它们的结构参数。模态分析表明两个谐振器的基频大约为373.3 k Hz,与干扰模态的频率差大约为9.4 k Hz,有效地实现了模态隔离。根据灵敏度的仿真结果,Al N差分谐振式加速度计的灵敏度64.6 Hz/g,线性度为0.787%,横向灵敏度为0.0033 Hz/g。热仿真的结果表明单个谐振器的温度灵敏度约为490 Hz/℃,加速度计输出差频的温度灵敏度为–0.83 Hz/℃,证明了差频检测方案可以降低温度共模误差的影响。上述所有仿真结果验证了该加速度计结构设计的可行性。 展开更多
关键词 谐振式加速度计 氮化铝 微杠杆 支撑梁 差频检测
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Wi-Fi频段体声波滤波器的设计 被引量:4
15
作者 贾乐 高杨 +1 位作者 韩超 吕军光 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期107-112,共6页
为了保证移动设备在Wi-Fi频段正常工作且不受相邻频段的干扰,设计了一种用于Wi-Fi IEEE802.11b频段(2402~2482MHz)的BAW滤波器。设计基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的一维Mason等效电路模型构成初始结构的梯形滤波器。然后,将串联FBAR的谐... 为了保证移动设备在Wi-Fi频段正常工作且不受相邻频段的干扰,设计了一种用于Wi-Fi IEEE802.11b频段(2402~2482MHz)的BAW滤波器。设计基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的一维Mason等效电路模型构成初始结构的梯形滤波器。然后,将串联FBAR的谐振区面积值以及串、并联FBAR的谐振区面积的比值设置为优化参数,以所需的滤波器的带内插损和带外抑制为优化目标,使用ADS软件基于遗传和梯度的优化算法对滤波器进行优化。在滤波器的设计过程中,为了使仿真结果更加精确,采用声电磁协同仿真方法对滤波器进行仿真,并与Mason等效电路模型仿真结果对比,结果表明,滤波器性能有所下降,带内插损增大1.6dB,带内纹波增大1.1dB,带外抑制基本一致。所设计的Wi-Fi频段的BAW滤波器具有低插入损耗(小于3dB)、高带外抑制(大于40dB)性能。 展开更多
关键词 Wi-Fi频段 滤波器 体声波 Mason模型 声电磁协同仿真
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S波段窄带带通体声波滤波器设计 被引量:4
16
作者 高杨 赵坤丽 韩超 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期95-101,共7页
针对无人机测控应用设计了一种S波段窄带带通体声波(BAW)滤波器,其技术指标为:中心频率2.46 GHz,带宽41 MHz,带内插损大于-3 d B,带内纹波小于1 d B,带外抑制小于-40 d B@2.385 GHz和2.506 GHz。采用Mason模型设计了BAW滤波器中各薄膜... 针对无人机测控应用设计了一种S波段窄带带通体声波(BAW)滤波器,其技术指标为:中心频率2.46 GHz,带宽41 MHz,带内插损大于-3 d B,带内纹波小于1 d B,带外抑制小于-40 d B@2.385 GHz和2.506 GHz。采用Mason模型设计了BAW滤波器中各薄膜体声波谐振器(FBAR)的叠层结构;使用变迹法设计了各FBAR(电极)的形状;采用一种自行开发的自动布局方法得到紧凑的BAW滤波器布局;建立了BAW滤波器的声-电磁协同仿真模型,通过这种高保真的多物理场仿真方法对设计结果进行了性能验证。该设计流程是通用的,并且有两个特点:采用声-电磁协同仿真方法对设计阶段的BAW滤波器进行最终性能检验,可以及早发现并拒绝1D Mason模型过于乐观的设计;滤波器布局设计中采用了一种新的自动化布局方法,大大简化了在此阶段的反复尝试工作,也为声-电磁协同仿真模型输出了必需的面内结构信息。 展开更多
关键词 体声波 滤波器 薄膜体声波谐振器 变迹电极 声-电磁协同仿真 布局
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体声波谐振器热行为仿真 被引量:3
17
作者 韩超 高杨 张大鹏 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期507-510,515,共5页
为了预测体声波谐振器(BAWR)的热行为并评估其功率容量,提出一种BAWR热行为仿真方法。首先提取BAWR电磁模型中的导体表面损耗,并以此作为热仿真的热源,得到谐振器的温度分布。然后就信号馈送边、有源区形状、功率容量这3方面进行了研究... 为了预测体声波谐振器(BAWR)的热行为并评估其功率容量,提出一种BAWR热行为仿真方法。首先提取BAWR电磁模型中的导体表面损耗,并以此作为热仿真的热源,得到谐振器的温度分布。然后就信号馈送边、有源区形状、功率容量这3方面进行了研究。仿真结果表明,为了减弱BAWR的自热效应,信号馈送宜遵循"长边馈入、长边馈出"原则;有源区形状对自热效应影响甚小;所设计的BAWR功率容量可达3 W。 展开更多
关键词 体声波谐振器 自热效应 信号馈送边 功率容量 有源区形状
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氮化铝双端固支音叉谐振器的结构设计 被引量:1
18
作者 雷强 高杨 +1 位作者 赵俊武 吕军光 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期89-93,共5页
基于氮化铝双端固支音叉(AlN DETF)的谐振式传感器具有尺寸小、稳定性和可靠性好、时间响应快等特点。为了提高灵敏度和分辨率,需要分析AlN DETF谐振器的振梁结构参数对灵敏度和信号功率的影响。在有限元仿真软件中建立AlN谐振器的多物... 基于氮化铝双端固支音叉(AlN DETF)的谐振式传感器具有尺寸小、稳定性和可靠性好、时间响应快等特点。为了提高灵敏度和分辨率,需要分析AlN DETF谐振器的振梁结构参数对灵敏度和信号功率的影响。在有限元仿真软件中建立AlN谐振器的多物理场模型,进行预应力特征频率分析,仿真验证单个振梁结构参数对灵敏度的影响。在振梁厚度保持恒定的情况下,对仿真结果的数据进行后处理,得到信号功率与振梁长度、宽度的关系。结果表明,相对灵敏度、信号功率随振梁长度、宽度的变化趋势相反。因此,需要根据工艺水平和结构强度等因素,综合考虑AlN谐振器的信号功率和相对灵敏度,对两者进行权衡。仿真分析了优化后AlN DETF谐振器的性能,±10μN范围内的灵敏度为56 Hz/μN,信号功率为6.8×10-4 nW,Q值为958。 展开更多
关键词 微传感器 氮化铝双端固支音叉 灵敏度 信号功率
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体声波滤波器自动布局工具的设计开发 被引量:2
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作者 贾乐 高杨 张大鹏 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期483-486,共4页
为了实现体声波(BAW)滤波器版图的自动排布和构建滤波器的三维模型,开发了一款体声波滤波器自动布局工具。根据文献提出的BAW梯形滤波器布局设计流程,基于.NET平台,使用C#语言,创建生成滤波器版图的功能界面。根据输入的薄膜体声波谐振... 为了实现体声波(BAW)滤波器版图的自动排布和构建滤波器的三维模型,开发了一款体声波滤波器自动布局工具。根据文献提出的BAW梯形滤波器布局设计流程,基于.NET平台,使用C#语言,创建生成滤波器版图的功能界面。根据输入的薄膜体声波谐振器(FBAR)个数和面积大小生成对应的多边形外接圆,通过FBARs的串并联连接情况,生成放置外接圆的位置,并生成多边形。生成多边形后,用户只需对其进行微调(拖动、旋转等),即可在保证滤波器性能的情况下,得到面积尽可能小的版图。在所完成的滤波器版图基础上,根据滤波器的结构参数和建模方式,在AutoCAD中导入写好的动态链接库,创建生成滤波器三维模型的功能界面。输入FBAR膜层厚度等参数后,软件自动生成滤波器的三维模型。并自动保存为可导入电磁仿真软件的dwg文件或sat文件,方便滤波器的电磁仿真。设计开发过程中所用滤波器的结构参数等即为该文验证所设计软件的案例。证明了所开发软件的可行性。即软件在保证滤波器性能的情况下,最大限度地缩小版图面积,提高滤波器在晶圆上的面积利用率,且节省了滤波器设计人员的时间和精力。 展开更多
关键词 体声波 滤波器 布局 软件开发 C#
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体声波谐振器MASON模型改进的方法 被引量:1
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作者 贾乐 高杨 韩超 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期352-355,361,共5页
为了更精确的模拟薄膜体声波谐振器(FBAR)特性,提出了一种改进FBAR Mason模型的方法。首先采用有限元仿真法将FBAR压电层的机械损耗和介质损耗考虑在内进行仿真。得到的导纳曲线数据利用等效介电常数法导入FBAR的电磁模型中,可以模拟FBA... 为了更精确的模拟薄膜体声波谐振器(FBAR)特性,提出了一种改进FBAR Mason模型的方法。首先采用有限元仿真法将FBAR压电层的机械损耗和介质损耗考虑在内进行仿真。得到的导纳曲线数据利用等效介电常数法导入FBAR的电磁模型中,可以模拟FBAR电极的欧姆损耗和引线损耗等,仿真得到FBAR的阻抗曲线。通过阻抗曲线拟合的方式提取MBVD模型参数。借鉴MBVD模型参数改进FBAR的Mason模型。对比拟合结果发现,FBAR电磁模型的仿真结果在串联谐振点处向左偏移。推测是由于电磁模型中引入寄生参数,故在改进的Mason模型中加入寄生电感参数后仿真,此时仿真所得的FBAR阻抗特性曲线与电磁模型仿真结果曲线吻合,验证了猜想,且得到了较精确的FBAR Mason模型。 展开更多
关键词 体声波谐振器 Mason模型 损耗机制 模型改进 寄生参数
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