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多元HgCdTe线列探测器的同步辐射形貌术分析 被引量:1
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作者 蔡毅 郑国珍 +2 位作者 汤定元 朱惜辰 蒋建华 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1994年第5期385-390,共6页
利用同步辐射拍摄了长波光导多元HgCdTe探测器芯片的高分辨率的白光形貌相,观察到多元线列器件探测元中明显存在晶格应变区、亚晶界、滑移面等缺陷.实验结果表明:多元线列器件探测元的性能与其光敏区HgCdTe材料中的晶体缺陷密切相关,器... 利用同步辐射拍摄了长波光导多元HgCdTe探测器芯片的高分辨率的白光形貌相,观察到多元线列器件探测元中明显存在晶格应变区、亚晶界、滑移面等缺陷.实验结果表明:多元线列器件探测元的性能与其光敏区HgCdTe材料中的晶体缺陷密切相关,器件工艺对HgCdTe晶片的应力状态有极大的影响,器件工艺对材料的应力作用可从多元器件探测元晶格的完整性反映出来. 展开更多
关键词 多元线列探测 同步辐射 形貌术 HGCDTE
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