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拼接干涉技术在同步辐射领域的发展现状及趋势
被引量:
7
1
作者
刘丁枭
盛伟繁
+1 位作者
王秋实
李明
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第10期2357-2369,共13页
针对同步辐射领域光学元件的口径逐渐增大,其面形测量精度的要求已达到纳弧度级的问题,本文研究了该领域先进的面形测量方法——拼接干涉技术,以实现光学元件的高分辨率二维测量。介绍了拼接干涉技术的基本原理,综述了目前同步辐射光学...
针对同步辐射领域光学元件的口径逐渐增大,其面形测量精度的要求已达到纳弧度级的问题,本文研究了该领域先进的面形测量方法——拼接干涉技术,以实现光学元件的高分辨率二维测量。介绍了拼接干涉技术的基本原理,综述了目前同步辐射光学领域常用的面形测量设备——激光光束长程面形仪、高精度自准直纳米测量仪,以及拼接干涉仪的发展历程和特点,比较了它们各自的缺点和优势。最后,分析了拼接干涉涉及的主要误差来源,指出该技术的应用和发展趋势主要有拼接算法的创新,干涉仪测量的快速化,拼接干涉仪的商业化,以及拼接干涉技术与其他科学技术的融合等。
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关键词
光学元件
面形检测
拼接干涉术
同步辐射
综述
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职称材料
基于纳米颗粒溶液散射的激光平场系统
被引量:
2
2
作者
王秋实
杨福桂
+2 位作者
刘丁枭
盛伟繁
李明
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1213-1220,共8页
根据对阵列探测器光电响应误差校正的要求,基于纳米颗粒溶液漫散射效应建立了能产生高平整度参考光场的激光平场系统。介绍了激光平场装置的结构和工作原理及光学设计中涉及的若干关键技术。使用光纤将激光高效地导入溶液中,通过优化光...
根据对阵列探测器光电响应误差校正的要求,基于纳米颗粒溶液漫散射效应建立了能产生高平整度参考光场的激光平场系统。介绍了激光平场装置的结构和工作原理及光学设计中涉及的若干关键技术。使用光纤将激光高效地导入溶液中,通过优化光纤位置和腔体结构参数,在保证一定光场均匀度的前提下,提高系统的光能利用率,降低界面上的背向散射损耗。基于改进过的蒙特卡洛程序,数值计算了腔体材料反射率对系统透射率的影响。最后,利用现有的高反射率聚四氟乙烯材料,设计了激光平场系统。结果显示,光纤端口的最优位置取决于腔体反射率,对于高反射率的腔体材料,靠近腔体背部的光纤端口可以有效增强前向散射。设计的激光平场系统能够提供的光场均匀度好于0.3%,可基本满足长程面形仪等高精度激光测量装置中探测器误差校正的需求。
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关键词
激光平场系统
纳米颗粒
溶液
漫散射
CCD探测器
非均匀响应
校正
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职称材料
题名
拼接干涉技术在同步辐射领域的发展现状及趋势
被引量:
7
1
作者
刘丁枭
盛伟繁
王秋实
李明
机构
中国科学院高能物理研究所北京同步辐射装置x射线光学与技术实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第10期2357-2369,共13页
基金
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.11005123)
文摘
针对同步辐射领域光学元件的口径逐渐增大,其面形测量精度的要求已达到纳弧度级的问题,本文研究了该领域先进的面形测量方法——拼接干涉技术,以实现光学元件的高分辨率二维测量。介绍了拼接干涉技术的基本原理,综述了目前同步辐射光学领域常用的面形测量设备——激光光束长程面形仪、高精度自准直纳米测量仪,以及拼接干涉仪的发展历程和特点,比较了它们各自的缺点和优势。最后,分析了拼接干涉涉及的主要误差来源,指出该技术的应用和发展趋势主要有拼接算法的创新,干涉仪测量的快速化,拼接干涉仪的商业化,以及拼接干涉技术与其他科学技术的融合等。
关键词
光学元件
面形检测
拼接干涉术
同步辐射
综述
Keywords
optical element
surface figure test
stitching interferometry
synchrotron radiation
overview
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于纳米颗粒溶液散射的激光平场系统
被引量:
2
2
作者
王秋实
杨福桂
刘丁枭
盛伟繁
李明
机构
中国科学院高能物理研究所北京同步辐射装置x射线光学与技术实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1213-1220,共8页
基金
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.Y11139005C)
文摘
根据对阵列探测器光电响应误差校正的要求,基于纳米颗粒溶液漫散射效应建立了能产生高平整度参考光场的激光平场系统。介绍了激光平场装置的结构和工作原理及光学设计中涉及的若干关键技术。使用光纤将激光高效地导入溶液中,通过优化光纤位置和腔体结构参数,在保证一定光场均匀度的前提下,提高系统的光能利用率,降低界面上的背向散射损耗。基于改进过的蒙特卡洛程序,数值计算了腔体材料反射率对系统透射率的影响。最后,利用现有的高反射率聚四氟乙烯材料,设计了激光平场系统。结果显示,光纤端口的最优位置取决于腔体反射率,对于高反射率的腔体材料,靠近腔体背部的光纤端口可以有效增强前向散射。设计的激光平场系统能够提供的光场均匀度好于0.3%,可基本满足长程面形仪等高精度激光测量装置中探测器误差校正的需求。
关键词
激光平场系统
纳米颗粒
溶液
漫散射
CCD探测器
非均匀响应
校正
Keywords
laser flat-field system
nano-particle
solution
diffusion
CCD array detector
non- uniform response
correction
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
拼接干涉技术在同步辐射领域的发展现状及趋势
刘丁枭
盛伟繁
王秋实
李明
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
7
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职称材料
2
基于纳米颗粒溶液散射的激光平场系统
王秋实
杨福桂
刘丁枭
盛伟繁
李明
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
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