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衍射光栅刻划机的高精度开环定位系统
被引量：
1
1
作者
王晓琳
杨厚民
+1 位作者
郭杜
张宇华
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期63-67,共5页
本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点...
本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点。实用表明：该系统控制的刻划机的定位精度σ＝３．６ｎｍ，最大定位误差为１４．６ｎｍ。
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关键词
开环控制
光栅干涉仪
幅值细分
衍射光栅刻划机
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职称材料
题名
衍射光栅刻划机的高精度开环定位系统
被引量：
1
1
作者
王晓琳
杨厚民
郭杜
张宇华
机构
中国科学院长春精密光学机械研究所
北京理工大学光电工程系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期63-67,共5页
文摘
本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点。实用表明：该系统控制的刻划机的定位精度σ＝３．６ｎｍ，最大定位误差为１４．６ｎｍ。
关键词
开环控制
光栅干涉仪
幅值细分
衍射光栅刻划机
Keywords
Open loop control Grating interferometer Amplitude sub division
分类号
TH741.6 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
衍射光栅刻划机的高精度开环定位系统
王晓琳
杨厚民
郭杜
张宇华
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
1
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