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MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究
被引量：
18
1
作者
李路明
王立鼎
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1997年第1期67-73,共7页
简要叙述了微电子机械系统（ＭＥＭＳ）研究中的多单元综合体——微型系统，包括它的种类、结构、工作原理及相关的特性。对其应用前景作了讨论。
关键词
微型系统
微机械
微电子机械
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职称材料
题名
MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究
被引量：
18
1
作者
李路明
王立鼎
机构
中国科学院长春光学精密机械研究所微机械研究室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1997年第1期67-73,共7页
基金
国家科委攀登计划B资助
文摘
简要叙述了微电子机械系统（ＭＥＭＳ）研究中的多单元综合体——微型系统，包括它的种类、结构、工作原理及相关的特性。对其应用前景作了讨论。
关键词
微型系统
微机械
微电子机械
Keywords
Microsystem,MEMS,Applicaton
分类号
TH－39 [机械工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究
李路明
王立鼎
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1997
18
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