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超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析
被引量：
4
1
作者
高飒飒
卢启鹏
+1 位作者
彭忠琦
龚学鹏
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期1741-1747,共7页
针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合。根据XIL光束线的特...
针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合。根据XIL光束线的特点,设计了一种合理有效的热缓释方案,对缝片进行了热-结构耦合分析。对狭缝的精度指标进行了测试。结果显示:该四刀狭缝的分辨率优于0.1μm、运动重复精度优于2μm、刀口直线度优于2.5μm、平行度优于0.5mrad,可以精确实现狭缝在水平和垂直方向-5～250μm的开度,缝片在热负载下的最大热变形控制在0.034μm。得到的结果表明,该精密四刀狭缝具有高的精度和稳定性,可满足XIL光束线的使用要求,现已实际使用并制备出了100nm周期的刻蚀线结构。
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关键词
X射线干涉光刻光束线
精密狭缝
四刀结构
重复精度
有限元分析
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职称材料
三角共路型干涉成象光谱仪研究
被引量：
2
2
作者
金锡哲
向阳
禹秉熙
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期14-18,共5页
空间调制干涉成象 (傅立叶变换 )光谱仪是一种有重要的研究和应用价值的空间遥感器。本文就在研的三角共路型干涉成象 (傅立叶变换 )光谱仪原理样机的情况进行了介绍 ,并依据应用要求和建立的信噪比方程设计了原理样机的具体参数。该样...
空间调制干涉成象 (傅立叶变换 )光谱仪是一种有重要的研究和应用价值的空间遥感器。本文就在研的三角共路型干涉成象 (傅立叶变换 )光谱仪原理样机的情况进行了介绍 ,并依据应用要求和建立的信噪比方程设计了原理样机的具体参数。该样机的设计性能达到和超过了预先提出的技术指标。用该样机的具体参数进行的信噪比计算及计算机仿真模拟计算也表明 ,本装置及其参数能够在可见和近红外谱段以较高的光谱分辨力满足探测要求。
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关键词
成象光谱仪
干涉光谱仪
遥感
三角共路型
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职称材料
同步辐射水平偏转压弯镜面形误差分析与补偿
被引量：
10
3
作者
卢启鹏
高飒飒
彭忠琦
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期2644-2650,共7页
为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法。在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析;针对光...
为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法。在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析;针对光束线中使用的压弯聚焦镜,利用有限元方法分析了影响面形精度的主要因素;最后,根据水平偏转压弯机构特点及误差分析结果,提出了重力平衡补偿方法。研究显示,镜子自重和冷却装置的重力对压弯镜面形的影响主要表现为柱面镜母线的弯曲,驱动杆重力对压弯镜面形的影响主要体现在子午斜率误差上。利用重力平衡方法对压弯镜面形误差进行补偿,结果显示,柱面镜母线产生的斜率误差均方根值由13.14μrad减小到0.15μrad,镜面在子午方向的斜率误差均方根值由8.21μrad减小到0.86μrad。由此表明,压弯镜面形误差分析及补偿方法行之有效,显著提高了水平偏转压弯镜的面形精度。
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关键词
同步辐射
压弯机构
水平偏转
面形误差
补偿
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职称材料
题名
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析
被引量：
4
1
作者
高飒飒
卢启鹏
彭忠琦
龚学鹏
机构
中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院
大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期1741-1747,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.11079035)
应用光学国家重点实验室开放基金资助项目(Y2Q03FQK02)
国家科技重大专项资助项目(No.2012ZX02702001)
文摘
针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合。根据XIL光束线的特点,设计了一种合理有效的热缓释方案,对缝片进行了热-结构耦合分析。对狭缝的精度指标进行了测试。结果显示:该四刀狭缝的分辨率优于0.1μm、运动重复精度优于2μm、刀口直线度优于2.5μm、平行度优于0.5mrad,可以精确实现狭缝在水平和垂直方向-5～250μm的开度,缝片在热负载下的最大热变形控制在0.034μm。得到的结果表明,该精密四刀狭缝具有高的精度和稳定性,可满足XIL光束线的使用要求,现已实际使用并制备出了100nm周期的刻蚀线结构。
关键词
X射线干涉光刻光束线
精密狭缝
四刀结构
重复精度
有限元分析
Keywords
X-ray Interferometric Lithography（XIL） beamline
precision slit
four-slit structure
repeatability precision
finite element analysis
分类号
TH744.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
三角共路型干涉成象光谱仪研究
被引量：
2
2
作者
金锡哲
向阳
禹秉熙
机构
中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期14-18,共5页
文摘
空间调制干涉成象 (傅立叶变换 )光谱仪是一种有重要的研究和应用价值的空间遥感器。本文就在研的三角共路型干涉成象 (傅立叶变换 )光谱仪原理样机的情况进行了介绍 ,并依据应用要求和建立的信噪比方程设计了原理样机的具体参数。该样机的设计性能达到和超过了预先提出的技术指标。用该样机的具体参数进行的信噪比计算及计算机仿真模拟计算也表明 ,本装置及其参数能够在可见和近红外谱段以较高的光谱分辨力满足探测要求。
关键词
成象光谱仪
干涉光谱仪
遥感
三角共路型
Keywords
Image spectrometers
Interference spectrometers
Remote sensing
分类号
TH744.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
同步辐射水平偏转压弯镜面形误差分析与补偿
被引量：
10
3
作者
卢启鹏
高飒飒
彭忠琦
机构
中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院
研究
生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期2644-2650,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.11079035)
应用光学国家重点实验室开放基金资助项目(No.O9Q33FQ091)
文摘
为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法。在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析;针对光束线中使用的压弯聚焦镜,利用有限元方法分析了影响面形精度的主要因素;最后,根据水平偏转压弯机构特点及误差分析结果,提出了重力平衡补偿方法。研究显示,镜子自重和冷却装置的重力对压弯镜面形的影响主要表现为柱面镜母线的弯曲,驱动杆重力对压弯镜面形的影响主要体现在子午斜率误差上。利用重力平衡方法对压弯镜面形误差进行补偿,结果显示,柱面镜母线产生的斜率误差均方根值由13.14μrad减小到0.15μrad,镜面在子午方向的斜率误差均方根值由8.21μrad减小到0.86μrad。由此表明,压弯镜面形误差分析及补偿方法行之有效,显著提高了水平偏转压弯镜的面形精度。
关键词
同步辐射
压弯机构
水平偏转
面形误差
补偿
Keywords
synchrotron radiation
bending mechanism
horizontal deflection
slope error
compensation
分类号
TH744.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析
高飒飒
卢启鹏
彭忠琦
龚学鹏
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
三角共路型干涉成象光谱仪研究
金锡哲
向阳
禹秉熙
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
同步辐射水平偏转压弯镜面形误差分析与补偿
卢启鹏
高飒飒
彭忠琦
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
10
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职称材料
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