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Zemax软件在离轴三反射镜系统计算机辅助装调中的应用
被引量:
30
1
作者
杨晓飞
张晓辉
韩昌元
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004年第3期270-274,共5页
利用Zemax光学设计软件与自编计算机辅助装调软件,实现了对大口径、长焦距、无中心遮拦离轴三反射镜光学系统的装调。通过Zemax软件模拟光学系统的失调模式,得到整个光学系统的波前像差,把波前像差代入到自编的复杂光学系统计算机辅助...
利用Zemax光学设计软件与自编计算机辅助装调软件,实现了对大口径、长焦距、无中心遮拦离轴三反射镜光学系统的装调。通过Zemax软件模拟光学系统的失调模式,得到整个光学系统的波前像差,把波前像差代入到自编的复杂光学系统计算机辅助装调软件中,计算出光学系统的失调量,与引入的失调量对比,证明了其正确性。在实际的装调过程中,用小型球面干涉仪分别收集3个视场的干涉图,得到失调光学系统的失调量,用Zemax软件验证失调量数据的正确性,从而指导装调。按此方法,在波长λ=632.8nm时,得到离轴三反射镜光学系统的全视场波像差RMS值为0.108λ。该方法也可以运用到其他光学系统中。
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关键词
离轴三反射镜光学系统
计算机辅助装调
Zemax软件
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职称材料
题名
Zemax软件在离轴三反射镜系统计算机辅助装调中的应用
被引量:
30
1
作者
杨晓飞
张晓辉
韩昌元
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所国家光学机械质检中心
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004年第3期270-274,共5页
文摘
利用Zemax光学设计软件与自编计算机辅助装调软件,实现了对大口径、长焦距、无中心遮拦离轴三反射镜光学系统的装调。通过Zemax软件模拟光学系统的失调模式,得到整个光学系统的波前像差,把波前像差代入到自编的复杂光学系统计算机辅助装调软件中,计算出光学系统的失调量,与引入的失调量对比,证明了其正确性。在实际的装调过程中,用小型球面干涉仪分别收集3个视场的干涉图,得到失调光学系统的失调量,用Zemax软件验证失调量数据的正确性,从而指导装调。按此方法,在波长λ=632.8nm时,得到离轴三反射镜光学系统的全视场波像差RMS值为0.108λ。该方法也可以运用到其他光学系统中。
关键词
离轴三反射镜光学系统
计算机辅助装调
Zemax软件
Keywords
computer-aided alignment
Zemax software
off-axis three-mirror optical system
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Zemax软件在离轴三反射镜系统计算机辅助装调中的应用
杨晓飞
张晓辉
韩昌元
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004
30
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