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长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展
被引量：
17
1
作者
张立超
高劲松
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期2395-2401,共7页
综述了深紫外光学薄膜技术在中科院长春光学精密机械与物理研究所的研究进展。为满足高性能深紫外光学系统对薄膜光学元件的需求,在以下方面开展了系统研究:定制了两台深紫外光学薄膜专用沉积设备,分别用于高性能深紫外光学薄膜的热蒸...
综述了深紫外光学薄膜技术在中科院长春光学精密机械与物理研究所的研究进展。为满足高性能深紫外光学系统对薄膜光学元件的需求,在以下方面开展了系统研究:定制了两台深紫外光学薄膜专用沉积设备,分别用于高性能深紫外光学薄膜的热蒸发与离子束溅射沉积工艺,实现了φ410mm光学元件的镀膜;通过优化薄膜沉积工艺,双面镀膜样品在193nm处典型透过率为98.5%～99%;对影响光学元件面形精度的因素进行了考察,可实现的膜厚均匀性为0.1%(rms),能够满足高质量深紫外光学系统的容差要求;采用X射线衍射方法对薄膜应力进行了测量,并采用有限元方法分析了应力对元件面形的影响;针对影响薄膜实用性能的因素,提出了针对性的解决方法,采用紫外辐照方法恢复了环境污染引起的透过率下降,发展了基于晶振监控法的膜厚精确控制方法。基于这些研究的阶段性成果,明确了下一步的研究方向。
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关键词
深紫外光学
光学薄膜
薄膜沉积
薄膜测量
透过率
面形精度
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职称材料
基于遮挡矩阵的膜厚修正挡板的设计
被引量：
13
2
作者
张立超
高劲松
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第11期2757-2763,共7页
为了在光学元件镀膜过程中精确控制膜厚均匀性,通常需要有针对性地设计并制作膜厚修正挡板。然而,由于基底在真空室内运动方式复杂,实际工作中通常采用多次试验,反复进行局部修正的方法来确定挡板形状。为解决这一问题,本文提出了遮挡...
为了在光学元件镀膜过程中精确控制膜厚均匀性,通常需要有针对性地设计并制作膜厚修正挡板。然而,由于基底在真空室内运动方式复杂,实际工作中通常采用多次试验,反复进行局部修正的方法来确定挡板形状。为解决这一问题,本文提出了遮挡矩阵的概念。基于这一概念,提出了膜厚修正挡板的设计方法。通过对挡板进行合理的划分,对膜厚空间分布与挡板形状建立起精确的定量关系,从而可在不需进行事后修正的情况下,准确计算出修正挡板的形状。针对平面行星夹具,设计并制作了膜厚修正挡板,在φ300mm的口径上实现了膜厚均匀性的PV值优于0.3%、rms值优于0.1%。这些结果验证了这一方法的有效性,表明该方法满足光学元件镀膜过程中高效、可靠地调整膜厚均匀性的要求。
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关键词
热蒸发
膜厚控制
膜厚均匀性
行星夹具
修正挡板
遮挡矩阵
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职称材料
反应连接230mm口径RB-SiC反射镜
被引量：
2
3
作者
张斌智
张舸
董德义
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期2360-2364,共5页
针对传统工艺难以制备口径大于1.2m的整块反射镜的问题,提出了反应连接制备大口径RB-SiC反射镜的工艺。该工艺在素坯阶段实现连接,一次反应烧结完成坯体的致密化和镜体的连接。采用该工艺制备了230mm口径的RB-SiC反射镜,并使用FSGJ-2光...
针对传统工艺难以制备口径大于1.2m的整块反射镜的问题,提出了反应连接制备大口径RB-SiC反射镜的工艺。该工艺在素坯阶段实现连接,一次反应烧结完成坯体的致密化和镜体的连接。采用该工艺制备了230mm口径的RB-SiC反射镜,并使用FSGJ-2光学数控机床对反射镜进行了研磨、粗抛光和精抛光加工,其镜面面形精度RMS值达到了λ/50(λ=632.8nm)。在环境温度(20±3)℃检测了连接反射镜,其面形变化RMS值小于λ/300,热循环试验前后连接反射镜面形没有明显变化;连接镜体表面在焊缝处粗糙度Ra<3.3nm,连接层与基体的显微结构基本相似,热性能相匹配。研究结果表明,用新型反应连接技术制成的RB-SiC反射镜可以满足空间光学应用要求。
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关键词
反应连接
碳化硅
RB-SiC反射镜
表面轮廓
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职称材料
题名
长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展
被引量：
17
1
作者
张立超
高劲松
机构
中国科学院
长春
光学
精密机械
与物理
研究所
应用
光学
国家
重点
实验室
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中科院光学系统先进制造技术重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期2395-2401,共7页
基金
国家科技重大专项资助项目
科技部国际合作资助项目(No.2011DFA50590)
文摘
综述了深紫外光学薄膜技术在中科院长春光学精密机械与物理研究所的研究进展。为满足高性能深紫外光学系统对薄膜光学元件的需求,在以下方面开展了系统研究:定制了两台深紫外光学薄膜专用沉积设备,分别用于高性能深紫外光学薄膜的热蒸发与离子束溅射沉积工艺,实现了φ410mm光学元件的镀膜;通过优化薄膜沉积工艺,双面镀膜样品在193nm处典型透过率为98.5%～99%;对影响光学元件面形精度的因素进行了考察,可实现的膜厚均匀性为0.1%(rms),能够满足高质量深紫外光学系统的容差要求;采用X射线衍射方法对薄膜应力进行了测量,并采用有限元方法分析了应力对元件面形的影响;针对影响薄膜实用性能的因素,提出了针对性的解决方法,采用紫外辐照方法恢复了环境污染引起的透过率下降,发展了基于晶振监控法的膜厚精确控制方法。基于这些研究的阶段性成果,明确了下一步的研究方向。
关键词
深紫外光学
光学薄膜
薄膜沉积
薄膜测量
透过率
面形精度
Keywords
DUV optics
optical coating
coating deposition
coating measurement
transmission
fig- ure error
分类号
TB43 [一般工业技术]
TN23 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于遮挡矩阵的膜厚修正挡板的设计
被引量：
13
2
作者
张立超
高劲松
机构
中国科学院
长春
光学
精密机械
与物理
研究所
应用
光学
国家
重点
实验室
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中科院光学系统先进制造技术重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第11期2757-2763,共7页
基金
国家科技重大专项资助项目
文摘
为了在光学元件镀膜过程中精确控制膜厚均匀性,通常需要有针对性地设计并制作膜厚修正挡板。然而,由于基底在真空室内运动方式复杂,实际工作中通常采用多次试验,反复进行局部修正的方法来确定挡板形状。为解决这一问题,本文提出了遮挡矩阵的概念。基于这一概念,提出了膜厚修正挡板的设计方法。通过对挡板进行合理的划分,对膜厚空间分布与挡板形状建立起精确的定量关系,从而可在不需进行事后修正的情况下,准确计算出修正挡板的形状。针对平面行星夹具,设计并制作了膜厚修正挡板,在φ300mm的口径上实现了膜厚均匀性的PV值优于0.3%、rms值优于0.1%。这些结果验证了这一方法的有效性,表明该方法满足光学元件镀膜过程中高效、可靠地调整膜厚均匀性的要求。
关键词
热蒸发
膜厚控制
膜厚均匀性
行星夹具
修正挡板
遮挡矩阵
Keywords
thermal evaporation
coating thickness control
thickness uniformity
planetary fixture
correction mask
shadow matrix
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
反应连接230mm口径RB-SiC反射镜
被引量：
2
3
作者
张斌智
张舸
董德义
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中科院光学系统先进制造技术重点实验室
中国科学院
大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期2360-2364,共5页
基金
国家自然科学基金重点项目(No.61036015)
科技部国际合作项目(No.2011DFA50590)
文摘
针对传统工艺难以制备口径大于1.2m的整块反射镜的问题,提出了反应连接制备大口径RB-SiC反射镜的工艺。该工艺在素坯阶段实现连接,一次反应烧结完成坯体的致密化和镜体的连接。采用该工艺制备了230mm口径的RB-SiC反射镜,并使用FSGJ-2光学数控机床对反射镜进行了研磨、粗抛光和精抛光加工,其镜面面形精度RMS值达到了λ/50(λ=632.8nm)。在环境温度(20±3)℃检测了连接反射镜,其面形变化RMS值小于λ/300,热循环试验前后连接反射镜面形没有明显变化;连接镜体表面在焊缝处粗糙度Ra<3.3nm,连接层与基体的显微结构基本相似,热性能相匹配。研究结果表明,用新型反应连接技术制成的RB-SiC反射镜可以满足空间光学应用要求。
关键词
反应连接
碳化硅
RB-SiC反射镜
表面轮廓
Keywords
reaction-formed joint
SiC
RB-SiC Mirror
Surface profile
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展
张立超
高劲松
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
17
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于遮挡矩阵的膜厚修正挡板的设计
张立超
高劲松
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
13
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
反应连接230mm口径RB-SiC反射镜
张斌智
张舸
董德义
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
2
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职称材料
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