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自由曲面的CGH光学检测方法与实验
被引量:
16
1
作者
黎发志
郑立功
+2 位作者
闫锋
薛栋林
张学军
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012年第4期1052-1056,共5页
自由曲面能有效地简化光学系统结构并提高其性能,在照明光学系统和成像光学系统中均具有良好的应用前景。为了实现自由曲面的高精度光学检测,分析了自由曲面的计算机全息图(CGH)检测方法并讨论了它的限制因素;探讨了使用基准CGH区域解...
自由曲面能有效地简化光学系统结构并提高其性能,在照明光学系统和成像光学系统中均具有良好的应用前景。为了实现自由曲面的高精度光学检测,分析了自由曲面的计算机全息图(CGH)检测方法并讨论了它的限制因素;探讨了使用基准CGH区域解决自由曲面检测时的对准问题;设计并制作了直径为180 mm的CGH对某三次方项波前编码自由曲面(口径150 mm,PV为6λ,λ@632.8 nm)进行了光学检测,该方法的检测结果(0.068λrms)与非零位检测方法的检测结果(0.067λrms)一致,实验验证了自由曲面的CGH检测方法。该方法具有易对准、精度高和效率高的优点。
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关键词
计算全息图
自由曲面
光学检测
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职称材料
基于轴向移动柱面-泽尼克校正元件的动态像差校正技术
2
作者
曲贺盟
张新
王灵杰
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012年第5期1294-1299,共6页
椭球形窗口光学系统最显著的特点在于其依赖扫描视场的动态像差变化特性,像散和彗差成为影响光学系统成像质量的主要因素,其中像散的影响最为突出。为解决这一难题,结合柱面透镜和泽尼克位相板的特点,提出了一种新颖的动态像差校正方法...
椭球形窗口光学系统最显著的特点在于其依赖扫描视场的动态像差变化特性,像散和彗差成为影响光学系统成像质量的主要因素,其中像散的影响最为突出。为解决这一难题,结合柱面透镜和泽尼克位相板的特点,提出了一种新颖的动态像差校正方法,即柱面-泽尼克元件校正方法,此元件的外表面为一对母线互相垂直的圆柱面,对应的两个内表面为泽尼克边缘矢高表面。该方法随扫描视场的变化实时地调整一对柱面-泽尼克校正元件间距以实现椭球形窗口引入像差的动态校正。突破了固定校正元件无法实现超大扫描视场的瓶颈。设计实例中成像光学系统实现了±55°扫描视场,各扫描视场像散和彗差的泽尼克像差系数P-V值校正到了±0.8个波长以内,椭球形窗口光学系统的成像质量得到了明显的提高。
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关键词
光学设计
椭球形窗口
动态像差校正
柱面镜
泽尼克边缘矢高表面
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职称材料
题名
自由曲面的CGH光学检测方法与实验
被引量:
16
1
作者
黎发志
郑立功
闫锋
薛栋林
张学军
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室.吉林长春
中国科学院
研究
生院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012年第4期1052-1056,共5页
基金
国家自然科学基金重点项目(61036015)
文摘
自由曲面能有效地简化光学系统结构并提高其性能,在照明光学系统和成像光学系统中均具有良好的应用前景。为了实现自由曲面的高精度光学检测,分析了自由曲面的计算机全息图(CGH)检测方法并讨论了它的限制因素;探讨了使用基准CGH区域解决自由曲面检测时的对准问题;设计并制作了直径为180 mm的CGH对某三次方项波前编码自由曲面(口径150 mm,PV为6λ,λ@632.8 nm)进行了光学检测,该方法的检测结果(0.068λrms)与非零位检测方法的检测结果(0.067λrms)一致,实验验证了自由曲面的CGH检测方法。该方法具有易对准、精度高和效率高的优点。
关键词
计算全息图
自由曲面
光学检测
Keywords
computer-generated hologram
freeform surface
optical testing
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
TP391.7 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
基于轴向移动柱面-泽尼克校正元件的动态像差校正技术
2
作者
曲贺盟
张新
王灵杰
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室.吉林长春
中国科学院
研究
生院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012年第5期1294-1299,共6页
基金
国家自然科学基金青年科学基金(61007009)
文摘
椭球形窗口光学系统最显著的特点在于其依赖扫描视场的动态像差变化特性,像散和彗差成为影响光学系统成像质量的主要因素,其中像散的影响最为突出。为解决这一难题,结合柱面透镜和泽尼克位相板的特点,提出了一种新颖的动态像差校正方法,即柱面-泽尼克元件校正方法,此元件的外表面为一对母线互相垂直的圆柱面,对应的两个内表面为泽尼克边缘矢高表面。该方法随扫描视场的变化实时地调整一对柱面-泽尼克校正元件间距以实现椭球形窗口引入像差的动态校正。突破了固定校正元件无法实现超大扫描视场的瓶颈。设计实例中成像光学系统实现了±55°扫描视场,各扫描视场像散和彗差的泽尼克像差系数P-V值校正到了±0.8个波长以内,椭球形窗口光学系统的成像质量得到了明显的提高。
关键词
光学设计
椭球形窗口
动态像差校正
柱面镜
泽尼克边缘矢高表面
Keywords
optical system design
elliptical window
variable aberration correcting
cylindrical lens
Zernike fringe sag surface
分类号
O43 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
自由曲面的CGH光学检测方法与实验
黎发志
郑立功
闫锋
薛栋林
张学军
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012
16
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职称材料
2
基于轴向移动柱面-泽尼克校正元件的动态像差校正技术
曲贺盟
张新
王灵杰
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012
0
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职称材料
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