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液晶显示技术的开发和产业化——庆祝中国科学院长春光学精密机械与物理研究所建所50周年 被引量:15
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作者 黄锡珉 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第6期403-415,共13页
介绍中国科学院原长春物理所1969年国内首次开展研究液晶显示技术以来TN、STN、a SiTFT及低温p SiTFT LCD的研究和取得的科研成果,并叙述了科技成果与吉林省液晶产业、联信STN LCD产业结合的情况。
关键词 液晶显示技术 开发 产业化 TN STN TFT LCD 显示器
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Eu(p-PBA)_3phen1/2H_2O的高分辨光谱和Raman光谱Eu(p-PBA)3phen1/2H2O的高分辨光谱和Raman光谱*张颖唐波金林培(北京师范大学化学系,北京100875)吕少哲黄世华(中国科学院激发
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作者 张颖 唐波 +2 位作者 金林培 吕少哲 黄世华 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期148-154,共7页
配合物Eu(p-PBA)3phen1/2H2O(p-PBA:对苯基苯甲酸酸根离子;phen:邻菲咯啉)在紫外光激发下,能发出很强的红色荧光.以Eu(Ⅲ)离子为光谱探针,77K下测得其高分辨激发和发射光谱,选择激发配合... 配合物Eu(p-PBA)3phen1/2H2O(p-PBA:对苯基苯甲酸酸根离子;phen:邻菲咯啉)在紫外光激发下,能发出很强的红色荧光.以Eu(Ⅲ)离子为光谱探针,77K下测得其高分辨激发和发射光谱,选择激发配合物的5D0能级,得到两组不同的发光光谱,表明配合物中Eu(Ⅲ)离子有两种不同的化学环境.配合物的喇曼光谱中,羧基阴离子的反对称伸缩振动和对称伸缩振动谱带是明显分裂和带肩峰的宽带。 展开更多
关键词 铕配合物 高分辨光谱 喇曼光谱 电致发光
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短波中波红外折反射式共口径光学系统设计 被引量:1
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作者 马洪涛 韩冰 +2 位作者 许洪刚 李旭 张明亮 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第2期359-367,共9页
为了实现高精度、高可靠性的动态场景模拟,设计了一套短波中波多波段折反射式共口径光学系统。该系统结合了反射、折射和共口径光路的优势,该系统分为主光学系统、短波光学系统和中波光学系统,3个系统分别独立设计。通过理论计算得到光... 为了实现高精度、高可靠性的动态场景模拟,设计了一套短波中波多波段折反射式共口径光学系统。该系统结合了反射、折射和共口径光路的优势,该系统分为主光学系统、短波光学系统和中波光学系统,3个系统分别独立设计。通过理论计算得到光学系统的初始结构,再利用光学设计软件对光学参数作进一步细化,最后,按照光瞳匹配原则将各分系统组合在一起,并对系统的成像质量作进一步优化设计。利用调制传递函数(Modulation Transfer Function,MTF)和畸变等定量评价指标,仿真验证了系统设计的合理性。结果显示:所设计的短波光学系统视场角为±0.107°、焦距为2500 mm、入瞳尺寸为300 mm,MTF达到衍射极限,畸变小于0.3%;中波光学系统的视场角为±0.65°、焦距为750 mm、入瞳尺寸为300 mm,MTF接近衍射极限,畸变小于1%。该系统成像质量好、体积小、实用性强,在光电跟瞄和空间探测等领域具有较大应用潜力。 展开更多
关键词 景物模拟器 光学设计 短波中波红外成像 共口径光学系统
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“先进光学制造与检测技术”专题序言
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作者 王孝坤 薛常喜 +1 位作者 孙国燕 张全利 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第9期F0002-F0002,I0001,共2页
随着光学制造技术的创新发展、成像理论研究的不断深入、新型军民应用场景的层出不穷,光学制造与检测由古典走向数控、自动及智能,由单一走向多元,在结构/尺寸/精度等要求上逐步走向极端。中国精密光学元件行业市场规模高达约700亿元,... 随着光学制造技术的创新发展、成像理论研究的不断深入、新型军民应用场景的层出不穷,光学制造与检测由古典走向数控、自动及智能,由单一走向多元,在结构/尺寸/精度等要求上逐步走向极端。中国精密光学元件行业市场规模高达约700亿元,涵盖了激光核聚变、大型空间望远镜、航空航天、同步辐射光源、极紫外光刻等为代表的国家重大项目中的高精度光学元件,以及电子产品、摄像设备、AR/VR、工业测量等广阔市场中的消费级光学元件。 展开更多
关键词 光学制造 创新发展 自动 数控 成像理论
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空间光学相机抗强光干扰主被动防护系统设计 被引量:1
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作者 李磊 王泽斌 +3 位作者 孟庆宇 王栋 张海鑫 刘美辰 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第2期67-76,共10页
空间光学相机拥有较高灵敏度,在面对外部强光干扰时所受到的影响更为严重。研究如何抑制强光对空间相机的干扰并设计有效的防护系统对确保相机安全性、延长相机工作寿命以及保障其有效运行具有重要意义。研究人员解析了在不同光学参数下... 空间光学相机拥有较高灵敏度,在面对外部强光干扰时所受到的影响更为严重。研究如何抑制强光对空间相机的干扰并设计有效的防护系统对确保相机安全性、延长相机工作寿命以及保障其有效运行具有重要意义。研究人员解析了在不同光学参数下,互补金属氧化物半导体探测器(CMOS)的眩光特性与相机入瞳处能量分布的关系;设计了基于机械快门和632.8 nm陷波滤光片的抗强光干扰主被动防护系统。选择632.8 nm连续激光器作为模拟干扰光源搭建桌面实验系统,通过强光干扰实验,验证了防护系统的有效性。实验结果表明,在实验相机面对外部强光源干扰时,CMOS探测器饱和面积达到106μm2(占探测器面积1/3),主动防护措施能够在10 ms内快速响应,减少相机因强干扰光引起探测器过饱和或损坏的风险,有效提高相机的工作安全性;在632.8 nm谱段干扰光工况下,被动防护措施可使探测器饱和面积下降至原有1/100,并可以对靶标实现清晰成像,显著提高实验相机工作效率。主被动防护系统可以有效保障光学相机的安全工作,为相机在强光干扰环境中提供良好的防护效果,对空间光学相机抗强光干扰系统的设计具有参考价值。 展开更多
关键词 空间光学相机 强光干扰 防护系统 机械快门
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光学遥感卫星精密敏捷成像控制技术综述 被引量:1
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作者 曲友阳 钟兴 +2 位作者 戴路 范林东 徐开 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期678-693,共16页
从控制的角度综述了多功能、高质量成像需求下,超稳定、超精确、超敏捷高分辨率光学遥感卫星精密敏捷控制的关键技术和研究进展。以卫星成像与姿态控制系统性能的关系为基础,从姿态机动能力与多功能成像、姿态确定精度与成像质量和姿态... 从控制的角度综述了多功能、高质量成像需求下,超稳定、超精确、超敏捷高分辨率光学遥感卫星精密敏捷控制的关键技术和研究进展。以卫星成像与姿态控制系统性能的关系为基础,从姿态机动能力与多功能成像、姿态确定精度与成像质量和姿态控制精度与成像质量三个方面论述了精密敏捷控制技术对光学遥感卫星成像的重要性。在此基础上,结合光学遥感卫星姿态控制系统的组成及原理,分析了影响姿态控制精度和姿态机动能力的主要因素,对高精度姿态确定、精密姿态控制和敏捷姿态控制三个关键技术方向进行了讨论和总结。最后,综合当前技术的发展趋势,围绕一体化成像控制的设计思想展望了精密敏捷控制技术未来的发展趋势,为实现高分辨率光学遥感卫星多功能、高质量成像控制提供了理论依据和工程参考。 展开更多
关键词 光学遥感卫星 多功能成像 高质量成像 精密敏捷控制 一体化成像控制
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分段式空间光学系统机构位姿测量方法总结与展望
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作者 李禹辰 秦超 +1 位作者 安其昌 徐振邦 《应用光学》 北大核心 2025年第1期1-16,共16页
构建大口径分段空间光学系统是一项同时涉及光学、材料学、机械、控制学等学科的综合任务,为了达到观测目标,人们对空间光学系统光机结构的运动精度提出了极高的要求。目前,如何有效测量并修正空间复杂环境负荷变化导致的机构失调,从而... 构建大口径分段空间光学系统是一项同时涉及光学、材料学、机械、控制学等学科的综合任务,为了达到观测目标,人们对空间光学系统光机结构的运动精度提出了极高的要求。目前,如何有效测量并修正空间复杂环境负荷变化导致的机构失调,从而在位实现更高的位姿精度是有待解决的重要问题。依靠光学测量系统对空间机构实现高精度的在位测量是解决这一问题的关键,本文从不同测量维度、不同精度水平、不同测量原理的角度综述了相关精密光学测量系统的关键技术和研究现状,并对其发展趋势和在空间光学系统中的应用场景做了阐述和归纳。 展开更多
关键词 精密测量 光学测量系统 可展开分段式空间光学系统 机构位姿校正 辅助装调
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面向空间目标广域探测的大视场宽光谱光学系统设计
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作者 牟帅威 吴洪波 +3 位作者 张新 马霖 闫磊 谭双龙 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第5期1174-1184,共11页
为了实现空间目标的广域探测,本文设计并研制了一种宽光谱(400~1000nm)、大视场(61°)、小F数(1.38)、低畸变的光学系统。该光学系统具备六等星的探测能力,能够实现对空间目标的广域探测。首先,建立空间目标探测辐射特性模型与光学... 为了实现空间目标的广域探测,本文设计并研制了一种宽光谱(400~1000nm)、大视场(61°)、小F数(1.38)、低畸变的光学系统。该光学系统具备六等星的探测能力,能够实现对空间目标的广域探测。首先,建立空间目标探测辐射特性模型与光学系统参数的映射关系,然后开展相应的光学系统设计理论分析,采用反摄远式结构作为初始的光学系统设计构型。通过优化设计,平衡并校正其大视场与宽光谱带来的严重色差,提高能量集中度的同时兼顾弥散斑圆整度。空间光学仿真及实物探测能力实验验证结果表明,该光学系统能够满足六等星的空间目标广域探测需求。该光学系统整体设计合理、结构紧凑,能够满足空间目标广域探测的应用需求。 展开更多
关键词 空间目标 广域探测 光学系统设计 大视场 宽光谱
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基于深度学习的高分辨率夜光与光学遥感影像配准
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作者 孙鹏韬 李建荣 +1 位作者 王志乾 于树海 《液晶与显示》 北大核心 2025年第10期1509-1519,共11页
作为异源遥感影像,高分辨率夜光与光学遥感影像差异巨大,无法基于传统影像配准算法实现自动配准,目前基本依赖人工利用ArcGIS手动刺点的方式进行配准。因此,本文提出了一种基于深度学习的高分辨率夜光与光学遥感影像自动配准框架。首先... 作为异源遥感影像,高分辨率夜光与光学遥感影像差异巨大,无法基于传统影像配准算法实现自动配准,目前基本依赖人工利用ArcGIS手动刺点的方式进行配准。因此,本文提出了一种基于深度学习的高分辨率夜光与光学遥感影像自动配准框架。首先,提取夜光和光学遥感影像二值化路网并降采样,采用绝对误差和(SAD)算法对夜光和光学遥感影像进行粗匹配。其次,利用YOLOv8目标检测模型提取夜光与光学遥感影像路网交叉口中心点作为控制点,通过欧氏距离和随机采样一致性(RANSAC)算法匹配和筛选同名控制点。最后,采用最小二乘法求解仿射变换矩阵,实现高分辨率夜光与光学遥感影像的精配准。利用吉林一号0.92 m分辨率的夜光遥感影像和0.75 m分辨率的光学遥感影像验证了所提方法的有效性。实验结果表明,所提方法可实现高分辨率夜光与光学遥感影像的自动配准,成都市和长春市建成区测试数据配准后的均方根误差(RMSE)分别为3.29 m和3.36 m,具有较高的配准精度。 展开更多
关键词 夜光遥感影像 光学遥感影像 深度学习 路网 自动配准
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光学系统偏振特性影响抑制方法综述
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作者 罗敬 陈兴达 +4 位作者 吕凝睿 佟雅楠 李静怡 张晓辉 董吉洪 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第5期979-1015,共37页
光学系统的偏振特性会改变入射光的偏振态,从而对成像质量、探测精度等产生影响。对于望远镜、光刻物镜等光学仪器,偏振特性是决定系统性能的重要因素之一。因此,抑制光学系统偏振特性的不利影响对于实现高性能现代光学系统具有重要意... 光学系统的偏振特性会改变入射光的偏振态,从而对成像质量、探测精度等产生影响。对于望远镜、光刻物镜等光学仪器,偏振特性是决定系统性能的重要因素之一。因此,抑制光学系统偏振特性的不利影响对于实现高性能现代光学系统具有重要意义。本文总结了光学系统偏振特性影响抑制方法的研究现状,并将已有方法归纳为三类:偏振定标、偏振补偿和低偏振优化设计。接下来,介绍了上述3类方法的基本原理,并结合应用实例对各种方法进行了分类与讨论。最后,分析了三种方法的联系及其相互之间的协同应用,并对光学系统偏振特性影响抑制方法的未来发展进行了讨论与展望。 展开更多
关键词 光学系统偏振特性 偏振定标 偏振补偿 低偏振优化设计
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高灵敏度光学探测模块热设计参数灵敏度分析
11
作者 金永伟 刘春龙 《红外技术》 北大核心 2025年第2期141-147,共7页
为了满足高灵敏度光学探测模块(简称探测模块)正常工作时的温度要求,解决其散热困难的问题,本文使用灵敏度分析方法,对影响探测模块热学特性的参数进行了相应分析。首先建立了探测模块在宇宙空间的热平衡方程,针对探测模块热学特性的设... 为了满足高灵敏度光学探测模块(简称探测模块)正常工作时的温度要求,解决其散热困难的问题,本文使用灵敏度分析方法,对影响探测模块热学特性的参数进行了相应分析。首先建立了探测模块在宇宙空间的热平衡方程,针对探测模块热学特性的设计参数,提取出了7个影响探测模块温度的相关参数。然后使用蒙特卡罗法对设计参数进行抽样,并通过有限元分析获取了200组样本。通过对样本的BP神经网络分析,获得探测模块温度分布与7个热设计参数之间的神经网络模型。最后基于建立的神经网络模型,对探测模块进行了BP-Sobol'全局灵敏度分析。分析结果表明,设计参数X_(1)、X_(2)的一阶Sobol'灵敏度值较大,对探测模块的影响最大,参数X_(1)、X_(5)和X_(6)的一阶灵敏度和总灵敏度相差较大,与其他参数交互效应对探测器温度输出产生了较大的影响,灵敏度分析为后续的热设计和热试验提供较强的指导作用。 展开更多
关键词 热设计 有限元仿真分析 BP神经网络分析 全局灵敏度分析
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多运动组共轨型紧凑变焦光学系统
12
作者 谢佳儀 王治乐 +2 位作者 于东辉 王泽奇 黄莉雯 《光学精密工程》 北大核心 2025年第11期1713-1721,共9页
传统变焦系统广泛运用的机械补偿型变焦结构在一定程度上存在总长较大、结构笨重的问题,难以符合小型化设备对光学系统体积和质量的严格约束。为了解决上述问题,讨论了多运动组变焦系统稳定成像原理,提出了一种基于多运动组共轨型结构... 传统变焦系统广泛运用的机械补偿型变焦结构在一定程度上存在总长较大、结构笨重的问题,难以符合小型化设备对光学系统体积和质量的严格约束。为了解决上述问题,讨论了多运动组变焦系统稳定成像原理,提出了一种基于多运动组共轨型结构的紧凑变焦光学系统模型,以五组元变焦系统为设计载体,详细阐述了从设计指标制定到高斯解分析再到优化方案的完整设计流程,并通过性能评估验证了设计结果的有效性。设计结果表明:该系统采用3片玻璃透镜与7片塑料透镜组合,用69 mm总长实现了23~69 mm三倍连续变焦,其中F数为2.4~4.5,像高为8.49 mm,工作波段为435~650 nm,系统质量控制在30 g以内,全视场全焦段成像质量优良,变焦曲线平滑无拐点。该多运动组共轨型紧凑变焦光学系统设计模型在固定行程条件下扩大了单个运动组元的有效移动范围,在压缩变焦系统轴向尺寸的同时,保障了连续变焦过程中的像质稳定性,为实现变焦光学系统的紧凑型设计目标提供了有效路径。此外,通过透镜材料玻塑混合配置方案实现了系统的轻量化。 展开更多
关键词 光学设计 连续变焦 多运动组 紧凑型光学系统
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超薄光学元件精密加工关键技术 被引量:13
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作者 彭利荣 马占龙 +2 位作者 王高文 王飞 王东方 《中国光学》 EI CAS CSCD 2015年第6期964-970,共7页
针对超薄光学元件在加工过程中因重力和磨头产生应力形变的特点,提出了一种高效、先进的超薄光学元件综合加工方法。该方法综合运用了精密铣磨、精密抛光、离子束修形等先进技术进行面形控制。在铣磨阶段采用受力分析和误差补偿的方法... 针对超薄光学元件在加工过程中因重力和磨头产生应力形变的特点,提出了一种高效、先进的超薄光学元件综合加工方法。该方法综合运用了精密铣磨、精密抛光、离子束修形等先进技术进行面形控制。在铣磨阶段采用受力分析和误差补偿的方法降低了元件变形引入的面形误差;在抛光阶段通过气囊抛光和沥青抛光的迭代实现了面形快速收敛;在离子束加工阶段充分利用其非接触、无应力的加工特点实现了高精度面形修正。实验选择径厚比为34(边长152 mm,厚度6.35 mm)的方形融石英材料进行加工实验。结果表明:在铣磨、抛光、修形阶段的各项指标都达到了精密光学元件的加工水平,最终的面形精度为PV=25 nm,RMS=1.5 nm。该加工方法可以广泛应用于超薄光学元件的高精度加工。 展开更多
关键词 超薄镜 精密铣磨 精密抛光 离子束精修 误差补偿
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大口径光学元件的机械手抛光 被引量:11
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作者 王朋 陈亚 +4 位作者 宣斌 李俊峰 陈晓苹 宋淑梅 谢京江 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1077-1085,共9页
为满足大口径光学元件多模式组合加工技术(MCM)的需要,研制了JP-01型数控抛光机械手。该机械手采用柱坐标结构,ρ-θ极坐标运动方式,ρ、θ两轴联动完成MCM加工所需各种运动。运用齐次坐标变换理论和Preston方程,在分析机械手抛光过程... 为满足大口径光学元件多模式组合加工技术(MCM)的需要,研制了JP-01型数控抛光机械手。该机械手采用柱坐标结构,ρ-θ极坐标运动方式,ρ、θ两轴联动完成MCM加工所需各种运动。运用齐次坐标变换理论和Preston方程,在分析机械手抛光过程中工件表面上任意一点的相对速度、压强及抛光时间的基础上,建立了机械手抛光的材料去除数学模型,同时求解了JP-01型机械手的位姿转换矩阵。运用所建立的数学模型对MCM加工中修正环带误差和局部误差时单个抛光盘常用运动模式的材料去除特性进行了计算机模拟。应用JP-01型机械手对一口径为240 mm,F数为1.5的球面反射镜进行了确定性抛光实验,最终面形精度达到14.6 nm(RMS)。实验表明,所测得数据与理论分析数据吻合,建立的数学模型能真实反映材料去除分布特性,可以指导抛光实现确定性加工,JP-01型机械手能够提供MCM加工所需运动形式。 展开更多
关键词 大口径光学元件 机械手 确定性加工 材料去除
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精密光学系统的热像差 被引量:6
15
作者 张巍 于新峰 +3 位作者 周连生 王学亮 倪明阳 彭海峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期3033-3040,共8页
为了精确控制与补偿物镜的热像差,设计了一套三镜实验光学系统,基于该系统验证了热像差计算方法的准确性。介绍了热像差分析方法及验证实验方案。开展不同热载工况下热像差测试实验,并与仿真结果进行了对比。最后,综合实验与仿真结果,... 为了精确控制与补偿物镜的热像差,设计了一套三镜实验光学系统,基于该系统验证了热像差计算方法的准确性。介绍了热像差分析方法及验证实验方案。开展不同热载工况下热像差测试实验,并与仿真结果进行了对比。最后,综合实验与仿真结果,分析了特定热载条件下系统热像差中非轴对称像差成分以及系统最佳焦面的变化趋势,获得了热像差的瞬态特性。实验结果显示:在输入热载大小之比为1∶4∶9的情况下,实验和仿真获得的热像差均方根(RMS)值之比分别为1∶3.75∶9和1∶4.01∶9.01,光学系统所加热载和热像差之间呈线性关系;在实验热载荷作用下,系统最佳焦面的稳态时间小于450min,而热像差中一阶像散(标准Zernike Z4)的稳态时间小于48min,一阶四叶(标准Zernike Z11)的稳态时间小于9min,最佳焦面稳态时间远大于非轴对称成分的稳态时间。基于该三镜实验光学系统所获得的热像差特性能够为投影光刻物镜或其它精密光学系统的热像差控制与补偿提供有力支撑。 展开更多
关键词 精密光学系统 激光辐照 投影光刻物镜 热像差
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量子光学与量子信息领域中的中国 被引量:10
16
作者 白雨虹 杨秀彬 严寒 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期684-698,共15页
为了解世界量子光学与量子信息的发展态势,认识中国在国际量子光学与量子信息领域中的地位,针对量子光学与量子信息领域的主要学科,按照美国光学学会(OSA)数据库量子光学与量子信息的13个分类,检索了SCI数据库1991年至2006年的数据。用... 为了解世界量子光学与量子信息的发展态势,认识中国在国际量子光学与量子信息领域中的地位,针对量子光学与量子信息领域的主要学科,按照美国光学学会(OSA)数据库量子光学与量子信息的13个分类,检索了SCI数据库1991年至2006年的数据。用文献计量学、科学计量学和情报分析方法研究国际量子光学与量子信息领域各学科的发展速度,比较各主要国家量子光学与量子信息论文的数量,从而使中国量子光学与量子信息领域的科学家有一个量的判断,多一些思维空间,多一种观察视角。结论认为,量子光学与量子信息是21世纪最具生命力的新兴学科之一,中国在理论和实验两方面都做出了一些重要的具有创新性的贡献,论文被引频次的世界贡献率呈增长态势。 展开更多
关键词 量子光学 量子信息 文献计量学 科学计量学
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空间光学遥感器中碳纤维复合材料精密支撑构件的结构稳定性 被引量:32
17
作者 李威 刘宏伟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2173-2179,共7页
为了研究应用于大口径空间光学遥感器中由碳纤维复合材料(CFRP)制成的精密支撑构件的结构稳定性,设计并研制了连接在主、次镜间的CFRP连接筒。由给定的主、次镜间角度变化量计算出连接筒前端面的最大挠度,根据实际载荷情况建立等效力学... 为了研究应用于大口径空间光学遥感器中由碳纤维复合材料(CFRP)制成的精密支撑构件的结构稳定性,设计并研制了连接在主、次镜间的CFRP连接筒。由给定的主、次镜间角度变化量计算出连接筒前端面的最大挠度,根据实际载荷情况建立等效力学模型,计算连接筒轴向弹性模量,结合复合材料层压板理论,确定碳纤维铺层的合理形式。然后,运用ANSYS软件对有限元模型进行分析,计算主、次镜间的角度变化量和支撑结构的模态分布。最后,通过量级逐增的力学试验,采用光学测量方法测量主、次镜间角度变化量,验证CFRP连接筒的结构稳定性。实验结果显示:主、次镜间角度变化量<10″,CFRP支撑构件一阶基频>75 Hz。CFRP支撑构件满足主、次镜间角度变化量要求,具有较好的结构稳定性。 展开更多
关键词 空间光学遥感器 碳纤维复合材料 结构稳定性 光学测量
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长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展 被引量:17
18
作者 张立超 高劲松 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2395-2401,共7页
综述了深紫外光学薄膜技术在中科院长春光学精密机械与物理研究所的研究进展。为满足高性能深紫外光学系统对薄膜光学元件的需求,在以下方面开展了系统研究:定制了两台深紫外光学薄膜专用沉积设备,分别用于高性能深紫外光学薄膜的热蒸... 综述了深紫外光学薄膜技术在中科院长春光学精密机械与物理研究所的研究进展。为满足高性能深紫外光学系统对薄膜光学元件的需求,在以下方面开展了系统研究:定制了两台深紫外光学薄膜专用沉积设备,分别用于高性能深紫外光学薄膜的热蒸发与离子束溅射沉积工艺,实现了φ410mm光学元件的镀膜;通过优化薄膜沉积工艺,双面镀膜样品在193nm处典型透过率为98.5%~99%;对影响光学元件面形精度的因素进行了考察,可实现的膜厚均匀性为0.1%(rms),能够满足高质量深紫外光学系统的容差要求;采用X射线衍射方法对薄膜应力进行了测量,并采用有限元方法分析了应力对元件面形的影响;针对影响薄膜实用性能的因素,提出了针对性的解决方法,采用紫外辐照方法恢复了环境污染引起的透过率下降,发展了基于晶振监控法的膜厚精确控制方法。基于这些研究的阶段性成果,明确了下一步的研究方向。 展开更多
关键词 深紫外光学 光学薄膜 薄膜沉积 薄膜测量 透过率 面形精度
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6-PSS型光学元件精密轴向调节机构 被引量:15
19
作者 郭抗 巩岩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2648-2655,共8页
设计了一种采用6-PSS型并联机构的光学元件精密轴向调节机构,以使光刻物镜中光学元件的调节行程达微米级,调节精度达纳米级。将6-PSS型并联机构中的6个移动副改进为3个,减少了驱动器的使用数量,提高了轴向调节机构的可靠性;设计了一种... 设计了一种采用6-PSS型并联机构的光学元件精密轴向调节机构,以使光刻物镜中光学元件的调节行程达微米级,调节精度达纳米级。将6-PSS型并联机构中的6个移动副改进为3个,减少了驱动器的使用数量,提高了轴向调节机构的可靠性;设计了一种圆角薄柔性铰链结构作为6-PSS型并联机构中的球铰副,实现了轴向调节机构的结构一体化,简化了光机组件的装调过程,提高了机构的机械精度;利用空间矢量法分析了机构输入构件与输出构件之间的位置关系,推导出了机构的传动比表达式,为机构主要结构尺寸的选取提供了依据。轴向调节机构的验证试验结果表明:机构传动比的理论计算值接近于实测值;轴向调节机构的调节行程为74.4μm,调节精度在40nm以内,满足光刻物镜中光学元件轴向调节机构的使用需求。 展开更多
关键词 光刻物镜 光学元件 调节机构 并联机构 一体化结构 6-PSS
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长春光机所软X射线-极紫外波段光学研究(英文) 被引量:10
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作者 陈波 尼启良 王君林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1862-1868,共7页
综述了我所软X射线-极紫外波段关键技术的研究进展。描述了软X射线-极紫外波段光源技术,研制了工作波段为6 ~22 nm的微流靶激光等离子体光源;介绍了光子计数成像探测器技术,研制出了有效直径为25 mm,等效像元分辨率为0 .3 mm的极紫外... 综述了我所软X射线-极紫外波段关键技术的研究进展。描述了软X射线-极紫外波段光源技术,研制了工作波段为6 ~22 nm的微流靶激光等离子体光源;介绍了光子计数成像探测器技术,研制出了有效直径为25 mm,等效像元分辨率为0 .3 mm的极紫外波段探测器;开展了超光滑表面加工、检测技术的研究,研制了超光滑表面抛光机,加工出高面形精度的超光滑表面,面形精度为6 nm(RMS值) ,表面粗糙度达0 .6 nm(RMS值) ;进行了软X射线-极紫外波段多层膜技术的研究,研制出13 nm处反射率为60 %的多层膜反射镜,150 mm口径反射镜的反射率均匀性优于±2 .5 %;最后,讨论了软X射线-极紫外波段测量技术研究,研制出该波段反射率计,其测量范围为5 ~50 nm,光谱分辨率好于0 .2 nm,测量重复性好于±1 %。在上述关键技术研究基础上,研制出了极紫外波段成像仪和空间极紫外波段太阳望远镜,这些仪器在我国空间科学研究项目中发挥了作用。 展开更多
关键词 空间光学 软X射线 极紫外
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