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气相质子交换LiTaO3光波导及其特性
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作者 邓文渊 李玉善 +1 位作者 马少杰 鄂书林 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第0Z2期129-132,共4页
本文利用苯甲酸气相质子交换技术制备了LiTaO3光波导,测量了Z-切LiTaO3光波导的参数(交换深度d和表面折射率增量△nc)和X-切LiTaO3光波导的红外吸收谱,给出了光波导层的折射率分布,并与液相质子交换热退火光波导的结果进行了比较... 本文利用苯甲酸气相质子交换技术制备了LiTaO3光波导,测量了Z-切LiTaO3光波导的参数(交换深度d和表面折射率增量△nc)和X-切LiTaO3光波导的红外吸收谱,给出了光波导层的折射率分布,并与液相质子交换热退火光波导的结果进行了比较。实验结果表明:非寻常折射率分布与热退火液相质子交换方法制备的LiTaO3光波导基本相近,但表面非寻常折射率增量(△nc)更大,其折射率分布更接近于高斯型。 展开更多
关键词 气相质子交换 LITAO3晶体 光波导 钛酸锂晶体 折射率分布 波导参数 气相压 热退火处理 特性
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