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压痕诱发单晶硅非晶化相变的透射电镜观察 被引量:1
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作者 吴亚桥 徐永波 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第5期533-534,共2页
晶体硅在高压下会发生相变[1]。显微压痕实验能够产生极大的压强(GPa级),有可能诱发硅的相变[2]。Clarke等人首次利用透射电子显微镜(TEM)在微观尺度上给出了单晶硅上维氏显微压痕的平视形貌像(plan-vi... 晶体硅在高压下会发生相变[1]。显微压痕实验能够产生极大的压强(GPa级),有可能诱发硅的相变[2]。Clarke等人首次利用透射电子显微镜(TEM)在微观尺度上给出了单晶硅上维氏显微压痕的平视形貌像(plan-view)[3],指出压痕中心已经发生... 展开更多
关键词 压痕诱发 TEM 单晶硅 非晶化相变
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