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题名基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备
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作者
贺龙
李淑娴
苗斌
李加东
陈颖
苗小浦
吴森
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机构
大连大学机械工程学院
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所轻量化实验室
中国科学院多功能材料与轻巧系统重点实验室
天津大学精密仪器与光电子工程学院
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期409-413,428,共6页
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基金
国家重点研发计划(2021YFB3201600)
国家自然科学基金(面上项目)(62074159)
苏州市科技计划项目(SSD2023001)
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文摘
针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探针针尖有效高度为5.1~5.8μm,高宽比达到14,相较于传统硅基CD-AFM探针,其有效高度提升了约4倍。利用开发的探针完成了标称深度为2.3μm、深宽比为4.6的深沟槽样品测试。
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关键词
关键尺寸原子力显微镜探针
深沟槽
大悬垂侧壁
大高宽比
有效高度
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Keywords
critical dimension atomic force microscopy probes
deep grooves
large overhanging sidewall
large aspect ratio
effective height
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名基于压电微机械超声换能器的液体密度测量传感器
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作者
周红宇
张玉超
苗斌
李加东
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机构
长春理工大学机电工程学院
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所轻量化实验室
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第3期374-378,共5页
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基金
国家自然基金资助项目(编号:62074159)
国家重点研发计划(项目编号:2021YFB3201600)。
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文摘
液体产品的密度检测是审核产品品质的重要手段之一。针对当前传统密度检测装置体积大、功耗高、不易在线检测的问题,该文设计并制作了一种基于压电微机械超声换能器(PMUT)的液体密度测量传感器。该传感器由两个PMUT(半径为500μm,空气中谐振频率为136 kHz)组成,分别作为发射端与接收端。实验测试结果表明,该传感器的谐振频率与液体密度成线性关系,在776~1150 kg/m^(3)密度范围内具有良好的响应,其灵敏度为17 Hz/kg/m^(3)。
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关键词
密度检测
压电微机械超声换能器
薄膜振动
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Keywords
density detection
piezoelectric micromachined ultrasonic transducer(PMUT)
thin film vibration
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
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