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题名一种用于二次电子探测的放大电路设计
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作者
崔永俊
曾令通
尉东光
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机构
中北大学仪器与电子学院
中国科学院苏州生物医学工程研究所
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出处
《电子设计工程》
2025年第3期87-91,共5页
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文摘
扫描电子显微镜具有非常快的扫描速度,最快可达纳秒级别。而且二次电子信号非常微弱,信号能量仅在50 eV以内。为了更好地实现二次电子信号的成像,通常需要对二次电子探测的放大电路进行专门设计。该放大电路设计采用了ADA4817-1高速低噪声集成运算放大芯片,并设计了一种光电倍增管低噪声前置放大电路,该前置放大电路引入了电源前端滤波以及加法电路。不但实现了稳定放大二次电子信号,提高扫描图像的信噪比等功能,而且能够通过电路线性调节二次电子图像的对比度与亮度。结合信号处理系统,达到了对光电倍增管100 kHz以内的信号增益为27 dB且不失真的目的,从而显著提高了二次电子探测器的分辨率。
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关键词
光电倍增管
放大电路
二次电子
扫描电子显微镜
滤波器
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Keywords
potomultiplier tube
amplifier circuit
secondary electrons
scanning electron microscope
filter
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分类号
TN2
[电子电信—物理电子学]
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