一种新型微区高灵敏分析装置——溅射原子化激光共振电离飞行时间质谱计 被引量：2

1

作者 马万云 王世亮 +4 位作者 田嘉禾 文克玲 李斌 陈延 肖桂里 《质谱学报》 EI CAS CSCD 1991年第1期8-15,共8页

本文介绍了我们自行设计研制的一种新型微区微量成份分析装置——溅射原子化激光共振电离飞行时间质谱计(SIRI—TOFMS)。这一新型仪器的特点是:高灵敏,高选择性,适用范围广以及基体效应小等,可以实现复杂样品微区微量成份的定量分析。... 本文介绍了我们自行设计研制的一种新型微区微量成份分析装置——溅射原子化激光共振电离飞行时间质谱计(SIRI—TOFMS)。这一新型仪器的特点是:高灵敏,高选择性,适用范围广以及基体效应小等,可以实现复杂样品微区微量成份的定量分析。用本仪器对AuCu合金中的Au进行了分析测试,获得Au的极限灵敏度为5×10^(-8),质量分辩本领为400。 展开更多

关键词 SIRI-TOFMS 质谱计 微量成分

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DX-4透射式电子显微镜设计与调试 被引量：4

2

作者 黄兰友 王克定 +2 位作者 金鹤鸣 李成达 钟治平 《仪器仪表学报》 EI CAS 1981年第2期1-9,共9页

$DX-4透射电子显微镜的分辨率为2.04A!最高放大倍数为80万倍。本文介绍了DX-4电镜的设计原则,重点在于缩小镜筒体积方面。DX-4是高分辨率电镜中体积较小的。我们对透镜的最短绝对焦距、成象系统的畸变补偿以及透镜磁路设计等电子光学问... $DX-4透射电子显微镜的分辨率为2.04A!最高放大倍数为80万倍。本文介绍了DX-4电镜的设计原则,重点在于缩小镜筒体积方面。DX-4是高分辨率电镜中体积较小的。我们对透镜的最短绝对焦距、成象系统的畸变补偿以及透镜磁路设计等电子光学问题进行了研究,得到一些公式和结论,并用到DX-4电镜的设计中,证明这些结果是正确的。本文提供了这些公式和解决问题的途径,并讨论了DX-4电镜调试中的一些问题,分别说明了物镜合轴,物镜上下极靴对成象的不同影响等电子光学实验和高压电源稳定度的一种简便的直接测量方法,这种方法可以在电镜处于正常工作时进行测量。 展开更多

关键词 透射式 成象系统 DX-4 极靴 投影镜 高压电源 高分辨率 标记点 测量方法 透镜组

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扫描电镜中X射线荧光能谱分析——改善分析灵敏度的一种方法 被引量：2

3

作者 姚子华 仇满德 章一鸣 《电子显微学报》 CAS CSCD 1992年第2期152-156,共5页

本文描述了我们在扫描电镜中用于X射线荧光分析的附加装置。对电子激发和X射线激发得到的能谱进行了比较。结果表明,在扫描电镜中用X射线荧光得到的能谱,峰背比(P/B)有明显的提高,能检测出样品中的微量元素。将本实验结果与JEOL的报导和... 本文描述了我们在扫描电镜中用于X射线荧光分析的附加装置。对电子激发和X射线激发得到的能谱进行了比较。结果表明,在扫描电镜中用X射线荧光得到的能谱,峰背比(P/B)有明显的提高,能检测出样品中的微量元素。将本实验结果与JEOL的报导和用Tracor Xray公司的装置所做的实验结果相比较,说明本实验的装置在峰背比、束斑尺寸等方面都有明显的改善。在我们的实验中,原级X射线束斑直径小于1. 展开更多

关键词 扫描电镜 X射线 能谱仪 荧光

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双道X射线分光光谱仪及其与扫描电子显微镜的匹配 被引量：1

4

作者 姚骏恩 余建业 +5 位作者 黄同节 张肇华 姚文浩 李文恩 韩大年 谢信能 《仪器仪表学报》 EI CAS 1981年第2期18-24,共7页

本X光谱仪是一种线性全聚焦弯晶谱仪。装备在扫描电镜上后,可使之兼具电子探针X光微区分析仪的功能。本文重点讨论了X光光谱仪的几何精度、分光晶体的制备、光谱仪与电子光学镜筒的匹配衍射峰值强度的提高、本底噪音的减低以及同轴光学... 本X光谱仪是一种线性全聚焦弯晶谱仪。装备在扫描电镜上后,可使之兼具电子探针X光微区分析仪的功能。本文重点讨论了X光光谱仪的几何精度、分光晶体的制备、光谱仪与电子光学镜筒的匹配衍射峰值强度的提高、本底噪音的减低以及同轴光学显微镜的匹配等问题。X光谱仪的总几何精度应为±1′,重复精度为6″。实际结果表明,元素分析范围为B^5(Be^4)～U^(92);波长分辨率△λ/λ为1～5×10^(-3)(Na^(11)～U^(92))及1～5×10^(-2)(B^5～F^9),可分开Cu,Fe,Ti等元素的K_(α1,α2)谱线,Ti-6A1-4V合金中VK_(α1),VK_(α2)及TiK_β谱线;波长重复性为0.00014A;探测限对Na^(11)～U^(92)为10^(-3)％量级,B^5～F^9为10^(-2)％量级。 展开更多

关键词 分光光谱仪 X射线 扫描电子显微镜 波长分辨 波长重复性 光学显微镜 重复精度 罗兰圆 微区分析 电子探针

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磁电子透镜的磁路设计 被引量：1

5

作者 黄兰友 刘绪平 《仪器仪表学报》 EI CAS 1981年第3期26-34,共9页

本文针对一些典型几何形状的磁路,特别是易于发生饱和的关键部位(如极靴锥面部分,透镜铁芯的根部),在对其磁力线分布提出相应的近似模型后,通过计算磁路表面的磁通密度,得出进入磁路的磁通量,结合磁路各部分的截面积,求得各处的磁通密... 本文针对一些典型几何形状的磁路,特别是易于发生饱和的关键部位(如极靴锥面部分,透镜铁芯的根部),在对其磁力线分布提出相应的近似模型后,通过计算磁路表面的磁通密度,得出进入磁路的磁通量,结合磁路各部分的截面积,求得各处的磁通密度。所获结果简单而便于应用。用此方法设计了DX-4型透射电子显微镜和DX-3型扫描电子显微镜的物镜磁路。与实测结果偏差在20%以内。因此,在选用适当的保险系数后,用本文方法可作出近似而快速的磁路设计。 展开更多

关键词 磁路设计 电子透镜 磁通密度 极靴 透射电子显微镜 铁芯 几何形状 近似模型 磁通计 设计精度

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超高真空原位表面分析摩擦实验装置的研制 被引量：1

6

作者 齐尚奎 王一明 张延坤 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1991年第1期15-22,共8页

研制了一台超高真空摩擦实验装置,与美国P.E公司生产的PHI—550多功能电子能谱仪联机,实现了在超高真空条件下进行摩擦试验,并配置有多种表面分析手段(AES、XPS、SIMS),原位分析评价材料表面的组成变化,对摩擦学及多种材料学科的应用基... 研制了一台超高真空摩擦实验装置,与美国P.E公司生产的PHI—550多功能电子能谱仪联机,实现了在超高真空条件下进行摩擦试验,并配置有多种表面分析手段(AES、XPS、SIMS),原位分析评价材料表面的组成变化,对摩擦学及多种材料学科的应用基础研究有一定的应用前景。 展开更多

关键词 表面分析 材料学科 多功能电子 摩擦学研究 能谱仪 原位分析 试验机 基础研究 真空室 原子尺度

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关于离子探针灵敏度的检验 被引量：1

7

作者 王理 叶涛 魏耀荣 《仪器仪表学报》 EI CAS 1984年第2期131-137,共7页

本文对参考文献[2]以及两台进口IMA-2离子探针的灵敏度检测数据提出不同看法。这个结论已在国产LT-1A 离子探针上得到证实。另外还提出用信噪比验证二次离子质谱检测灵敏度的方法。这种方法在日常试验中颇为方便可靠。

关键词 检测灵敏度 IMA 离子探针 标样 标准样品 信噪比

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扫描电镜数字图象的采集处理和分析 被引量：1

8

作者 陈文雄 张荣 《电子显微学报》 CAS CSCD 1990年第3期260-260,共1页

扫描电镜模拟信号图象处理如微分,高通低通滤波,γ调制等都已成为常规配置,但是其功能相对于数字图象处理来说是很有限的,因此扫描电镜数字图处理日益受到重视。国外的研究始于70年代末,近几年来陆续报道了一些微机组成的联机图象处理... 扫描电镜模拟信号图象处理如微分,高通低通滤波,γ调制等都已成为常规配置,但是其功能相对于数字图象处理来说是很有限的,因此扫描电镜数字图处理日益受到重视。国外的研究始于70年代末,近几年来陆续报道了一些微机组成的联机图象处理系统。国内有关和扫描电镜联机的图象处理系统迄今未见报导。实现图象处理系统和扫描电镜联机的关键是一种专用的慢扫描接口。中科院科学仪器厂英特公司于1989年初研制成带慢扫描接口的联机图象处理系统EMI-1,并在北京大学电镜实验室成功地实现了和KYKY-1000B SEM的联机。我们利用这个联机系统开展了扫描电镜数字图象的采集,处理和分析的实验研究。 展开更多

关键词 扫描晚镜 数字图象 采集处理 电镜

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LS-1型扫描电镜拉伸台的研制 被引量：1

9

作者 范士荣 张肇华 +1 位作者 刘捷 刘亚琦 《电子显微学报》 CAS CSCD 1990年第3期267-267,共1页

扫描电镜这种大型精密分析仪器。主要用于样品的形貌观察及作成份分析,目前我国的扫描电镜主要限于样品的静态特性的观察和分析。而材料科学研究的一个重要方面是对材料进行动态研究,这项工作在我国急需广泛开展,例如:在电镜内进行原材... 扫描电镜这种大型精密分析仪器。主要用于样品的形貌观察及作成份分析,目前我国的扫描电镜主要限于样品的静态特性的观察和分析。而材料科学研究的一个重要方面是对材料进行动态研究,这项工作在我国急需广泛开展,例如:在电镜内进行原材料的质量、构件的强度动态的力学试验;或观察研究材料的显微裂缝及超显微裂缝对强度的影响。利用电子显微镜的高分辨率及高放大倍数独特优点,加上材料力学的拉伸试验台。可以进行金属、非金属、陶瓷、生物、纺织纤维等材料的精密力学测试以及它们的工艺流程的动态监测。依据我们设计各种电镜试样台的经验。 展开更多

关键词 扫描电镜 位伸台 LS-1型

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用于物理研究的分子束外延模拟实验装置

10

作者 董国胜 侯晓远 +3 位作者 丁训民 陈平 张恩善 谢琪 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第2期95-98,共4页

本文报道了一台用于物理研究的分子束外延模拟实验装置的设计和调试。这一模拟实验装置和商业化的大型测试仪器相连接,允许在不破坏超高真空状态时测试用分子束外延方法制备的样品,提供了开展应用研究和在线检测的手段。

关键词 分子束外延 物理研究 模拟实验装置 在线检测 测试仪器 束源 样品架 物理测试 准备室 应用研究

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用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统

11

作者 高鸿钧 刘惟敏 +3 位作者 赵兴珏 于洪滨 薛增泉 肖桂里 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第3期204-210,共7页

本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS... 本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS部分的分辨本领和灵敏度进行了测试:选定质荷比为149的谱峰,得到该质谱计的分辨本领为165;该质谱计对Ar^(40)的最小可检分压强为4.0×10^(-6)Pa。本文也给出了ICB沉积聚乙烯薄膜的飞行时间质谱及其初步分析。 展开更多

关键词 ICB TOFMS 金属超微粒子 薄膜

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采用渐开线仿形模板旋压扩散泵下壳体

12

作者 王振生 邹成桥 +1 位作者 李飞 崔玉珍 《制造技术与机床》 CSCD 1995年第10期16-18,共3页

本文阐述了采用渐开线仿形模板旋压ＫＢ—１５０型扩散泵下壳体的工艺。讨论了工艺流程，渐开线仿形模板的设计和摆动中心的确定。根据实验提出合理的工艺参数和对该工艺的评价。

关键词 渐开线 旋压 成形 扩散泵 下壳体 仿形模板

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低温容器的氦质谱检漏

13

作者 王如竹 徐烈 +1 位作者 刘京龙 熊磊 《低温工程》 CAS CSCD 1994年第2期9-11,共3页

分析了大、小型低温容器的氦质谱检漏的各自特点及应注意的问题，讨论了部分国产氦质谱检漏仪的应用特点。

关键词 检漏 氦质谱仪 低温容器

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用Riccati传递矩阵法求解涡轮分子泵的振动问题

14

作者 李新生 赵鸿宾 +1 位作者 刘宝湘 李杰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第4期225-228,共4页

计算分子泵的临界转速及其振动模态,对选择分子泵参数并降低其振动,有着重要的实际意义。Riccati传递矩阵方法是一种非常有效的计算方法,易于编制程序,速度快,数值稳定性好。对FB-110型涡轮分子泵,用Riccati方法进行了振动分析,说明其... 计算分子泵的临界转速及其振动模态,对选择分子泵参数并降低其振动,有着重要的实际意义。Riccati传递矩阵方法是一种非常有效的计算方法,易于编制程序,速度快,数值稳定性好。对FB-110型涡轮分子泵,用Riccati方法进行了振动分析,说明其工作转速远离临界转速,因而振动小,可以平稳地运转。 展开更多

关键词 RICCATI 传递矩阵法 涡轮分子泵 传递矩阵方法 振动分析 工作转速 振动模态 临界转速 数值稳定性 振型

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氢的离子探针分析

15

作者 王理 魏耀荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第3期193-196,共4页

一、离子探针作氢分析的现状和发展氢是地球上相当丰富的天然生成元素,水和有机化合物中都含有大量的氢。它溶解于金属又会造成灾难性的氢脆。

关键词 离子探针 氢脆 氢含量 检测极限 中都 充氢 质谱图 超高真空系统 真空度 离子分析

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离子探针分析与中性粒子束

16

作者 王理 王淑慧 魏耀荣 《仪器仪表学报》 EI CAS 1982年第3期310-316,共7页

本文介绍了在国产LT-1离子探针上作的有关中性粒子束的实验工作。描述了中性粒子束密度的测量方法。利用中性粒子束分析导体、半导体和绝缘体,并和负离子分析绝缘体的情况进行对比。总的来看,中性粒子束分析绝缘体的灵敏度很低,在一次... 本文介绍了在国产LT-1离子探针上作的有关中性粒子束的实验工作。描述了中性粒子束密度的测量方法。利用中性粒子束分析导体、半导体和绝缘体,并和负离子分析绝缘体的情况进行对比。总的来看,中性粒子束分析绝缘体的灵敏度很低,在一次离子束中有中性粒子存在时,对质量分辨和微区分析都非常不利。这就说明一次离子束应该加装一个离子束的纯化装置,把包括中性粒子在内的所有杂质粒子都过滤掉,这对离子探针的分析将是很重要的。 展开更多

关键词 中性粒子 离子探针 离子分析 微区分析 粒子轰击 二次电子发射 偏转板 质谱图 静电偏转 扇形磁场

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改进普通三极电子枪SEM低压象分辨率的探讨

17

作者 姜新力 章一鸣 《电子显微学报》 CAS CSCD 1990年第3期271-271,共1页

在SEM的应用技术中,低压象的观察引起一些科学工作者的兴趣,因为低加速电压能减少电子束对样品的损伤,减少充放电现象,有些样品可以不经处理直接观察,总之,低压象更能表现样品表面的真实结构。但普通电子枪在低压或超低压时亮度低,图象... 在SEM的应用技术中,低压象的观察引起一些科学工作者的兴趣,因为低加速电压能减少电子束对样品的损伤,减少充放电现象,有些样品可以不经处理直接观察,总之,低压象更能表现样品表面的真实结构。但普通电子枪在低压或超低压时亮度低,图象信噪比差,由于空间电荷效应使成象色差加大,致使图象分辨率下降。通过对1000B型SEM的钨丝附极电子枪的不同几何尺寸和加速电压下的束斑直径、亮度、的测量以及高倍象的观察。探讨了改进低压象质量的途径。实验表明:普通三极电子枪在正常状态下。 展开更多

关键词 三极电子枪 低压象 分辨北 SEM

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二次电子能量分析器

18

作者 余健业 刘绪平 黄兰友 《电子显微学报》 CAS CSCD 1992年第2期144-151,共8页

本文简明地讨论了二次电子能量分析器的基本原理和设计要点。介绍了我们的实验系统和初步的实验结果,达到了优于10毫伏的电压分辨率。

关键词 VLSI 检测 电子能量 分析仪

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离子探针灵敏度的测量方法

19

作者 王理 《计量学报》 CSCD 1990年第4期315-318,共4页

本文讨论了测量离子探针灵敏度的各种方法。作者认为,采用纯硅样品的信噪比法要比其它方法更为方便可靠。

关键词 离子探针 灵敏度 测量

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六硼化镧电子枪 被引量：5

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作者 曾朝伟 李文恩 +1 位作者 钱天宇 黄兰友 《电子显微学报》 CAS CSCD 1990年第1期71-75,共5页

研制成功六硼化镧单晶阴极电子枪,用于扫描电镜后,分辨本领由60埃提高到40埃,阴极寿命由几十小时延长到一千小时。

关键词 六硼化镧 电子枪 扫描电镜

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