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计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动
被引量：
2
1
作者
杜晨辉
龚亮
+3 位作者
蔡小勇
殷伯华
江潮
安立宝
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期860-867,共8页
为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础...
为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础上对机械位移台进行谐响应分析,获取外界载荷频率与位移台上平面应力、应变、变形以及加速度之间的关系。机械位移台的静刚度为6.634×10~5 N/mm;水平X,Z两运动方向的耦合比分别为15.22%和17.63%;通过上层平面振动参数关于频率的响应曲线,得出危险频率为7 750Hz左右,即第8阶固有模态下的频率。X,Z两运动方向耦合较为明显,在对机械位移台进一步改进中,避开危险频率的同时,需对其进行位移补偿。
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关键词
计量型扫描电子显微镜
微位移台
振动
耦合位移
有限元分析
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职称材料
题名
计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动
被引量：
2
1
作者
杜晨辉
龚亮
蔡小勇
殷伯华
江潮
安立宝
机构
华北理工大学机械工程
学院
中国科学院
国家纳米
科学
中心
中国科学院
纳米标准与检测
重点
实验室
中国科学院电工研究所北京市生物电磁学重点实验室
中国科学院
大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期860-867,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51472074)
河北省引进海外高层次人才"百人计划"资助项目(No.E2012100005)
国家重点研发计划课题(No.2017YFF0105904)
文摘
为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础上对机械位移台进行谐响应分析,获取外界载荷频率与位移台上平面应力、应变、变形以及加速度之间的关系。机械位移台的静刚度为6.634×10~5 N/mm;水平X,Z两运动方向的耦合比分别为15.22%和17.63%;通过上层平面振动参数关于频率的响应曲线,得出危险频率为7 750Hz左右,即第8阶固有模态下的频率。X,Z两运动方向耦合较为明显,在对机械位移台进一步改进中,避开危险频率的同时,需对其进行位移补偿。
关键词
计量型扫描电子显微镜
微位移台
振动
耦合位移
有限元分析
Keywords
metrological scanning electron microscope
micro-displacement platform
vibration
coupling displacement
finite element analysis
分类号
TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动
杜晨辉
龚亮
蔡小勇
殷伯华
江潮
安立宝
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
2
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