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微机械电容式加速度传感器测试电路研究
被引量：
4
1
作者
杨苗苗
陈德勇
+3 位作者
王军波
陈健
毋正伟
陈李
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期2421-2424,共4页
在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路...
在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明,微加速度计灵敏度为1.63V/gn,可以检测到10-17F量级的电容值.
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关键词
硅微加速度传感器
微弱电容检测
差分检测
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职称材料
题名
微机械电容式加速度传感器测试电路研究
被引量：
4
1
作者
杨苗苗
陈德勇
王军波
陈健
毋正伟
陈李
机构
中国科学院电子所传感技术国家重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期2421-2424,共4页
文摘
在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明,微加速度计灵敏度为1.63V/gn,可以检测到10-17F量级的电容值.
关键词
硅微加速度传感器
微弱电容检测
差分检测
Keywords
silicon capacitive accelerometer
weak capacitance detection
differential measurement
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机械电容式加速度传感器测试电路研究
杨苗苗
陈德勇
王军波
陈健
毋正伟
陈李
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
4
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