红外波段激光驱动极紫外光刻光源研究进展

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作者 吕天皓 宋艳洁 +3 位作者 宗楠 张申金 薄勇 彭钦军 《激光技术》 北大核心 2025年第3期328-335,共8页

激光驱动等离子体产生13.5 nm的极紫外光源,用于目前最先进的光刻机,而10.6μm CO_(2)气体激光是商用极紫外光刻机的驱动光源。固体激光由于插头效率高、输出功率/能量可扩展性强等优点,有望在未来成为新一代驱动光源。归纳了产生极紫... 激光驱动等离子体产生13.5 nm的极紫外光源,用于目前最先进的光刻机,而10.6μm CO_(2)气体激光是商用极紫外光刻机的驱动光源。固体激光由于插头效率高、输出功率/能量可扩展性强等优点,有望在未来成为新一代驱动光源。归纳了产生极紫外光源的激光-等离子体相互作用的物理过程,综述了10.6μm CO_(2)气体激光器、1μm和2μm固体激光3种红外波段激光在驱动等离子体产生极紫外光和光学系统方面的研究进展,讨论了1μm和2μm固体激光器作为驱动光源的优越性。在此基础上,对红外波段激光驱动极紫外光刻光源的研究前景进行了展望。 展开更多

关键词 激光物理 极紫外光刻光源 激光-等离子体作用 固体激光器 转换效率

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宽温区Yb∶YAG板条激光模块热畸变仿真研究

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作者 朱铎 宋艳洁 +3 位作者 陈中正 许元斋 薄勇 彭钦军 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期503-507,共5页

本文对不同冷却温度下的Yb:YAG晶体板条激光模块高功率运转时的温度场、应力场及对应的热畸变进行了仿真分析研究。结果显示,随着冷却温度从300 K降低至77K,板条的温度梯度热应力与应变都明显降低。当冷却温度为77 K时,最大主应力为4.14... 本文对不同冷却温度下的Yb:YAG晶体板条激光模块高功率运转时的温度场、应力场及对应的热畸变进行了仿真分析研究。结果显示,随着冷却温度从300 K降低至77K,板条的温度梯度热应力与应变都明显降低。当冷却温度为77 K时,最大主应力为4.14 MPa,仅为常温时的15.6%,最大主应变为3.82×10^(-5),仅为常温时的6%。为了分析Yb:YAG晶体板条激光模块不同冷却温度下输出激光的光束质量,以确定其最佳运转温度,我们采用光线追迹的方法,对单程通过板条的1030 nm探测光进行仿真。可以看到,当冷却温度为77 K时,远场光斑能量更为集中,且探测光光程差的PV值为0.7941μm,仅为300 K时的59.6%。模拟结果表明低温运转有利于Yb:YAG晶体板条激光模块产生高功率高光束质量激光输出,这为高功率高光束质量Yb:YAG晶体板条激光的设计工作奠定了基础。 展开更多

关键词 板条激光器 Yb∶YAG 热效应 仿真模拟

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光学元件激光预处理技术研究进展及其应用 被引量：1

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作者 张晶晶 杨峰 +5 位作者 寇洋 王灼寒 袁磊 高宏伟 薄勇 彭钦军 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期1-14,共14页

光学元件中的杂质和缺陷会引起其激光损伤阈值的大幅降低,现阶段这一问题已成为激光装置向高功率、高能量方向发展的“瓶颈”,亟待解决。在对光学元件激光损伤的研究中发现,用低于光学元件损伤阈值的激光对元件表面进行预处理,可以有效... 光学元件中的杂质和缺陷会引起其激光损伤阈值的大幅降低,现阶段这一问题已成为激光装置向高功率、高能量方向发展的“瓶颈”,亟待解决。在对光学元件激光损伤的研究中发现,用低于光学元件损伤阈值的激光对元件表面进行预处理,可以有效提高光学元件的抗激光损伤能力。对激光预处理技术的提出背景、定性作用机理、定量理论模型及国内外技术应用现状进行了概述。并且介绍了一种可在薄膜制备过程中进行原位实时激光预处理的新型薄膜制备技术。最后指出,激光预处理技术作为一种无污染,可有效改善光学薄膜、光学玻璃、光学晶体元件损伤阈值的最有效方法之一,其作用机理、实用化、仪器化还有待进一步发展。 展开更多

关键词 激光预处理 光学薄膜 杂质和缺陷 激光损伤阈值

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不同气氛下YAl_3(BO_3)_4晶体的生长和激光性能研究 被引量：1

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作者 朱阳阳 岳银超 +3 位作者 赵营 涂衡 翟乃霞 胡章贵 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1727-1731,共5页

分别在有氧气氛(空气)和还原气氛(氢气/氩气混合气)下生长了YAl_3(BO_3)_4(YAB)晶体,并研究了不同生长条件下生长的YAB晶体的透过和266 nm激光的输出性能。结果表明,还原气氛下生长的YAB晶体能够消除266 nm附近的吸收,但是晶体的266 nm... 分别在有氧气氛(空气)和还原气氛(氢气/氩气混合气)下生长了YAl_3(BO_3)_4(YAB)晶体,并研究了不同生长条件下生长的YAB晶体的透过和266 nm激光的输出性能。结果表明,还原气氛下生长的YAB晶体能够消除266 nm附近的吸收,但是晶体的266 nm输出性能并未得到提高。分析推测了可能的原因,并对下一步工作提出可行性的建议。 展开更多

关键词 YAB晶体 非线性 四倍频 还原气氛

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新型复合功能晶体Cd_4TbO(BO_3)_3结构与性能研究

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作者 贾丽莎 赵营 +1 位作者 涂衡 胡章贵 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第8期1436-1441,1449,共7页

为探索新型复合功能晶体材料,采用高温固相反应法合成了Cd_4TbO(BO_3)_3多晶粉末,并以Na F-B2O3为助熔剂生长出了小晶体。结构分析表明,Cd_4TbO(BO_3)_3晶体属于单斜晶系,Cm空间群,晶胞常数为a=7.982(1)、b=15.806(3)、c=3.487(7)... 为探索新型复合功能晶体材料,采用高温固相反应法合成了Cd_4TbO(BO_3)_3多晶粉末,并以Na F-B2O3为助熔剂生长出了小晶体。结构分析表明,Cd_4TbO(BO_3)_3晶体属于单斜晶系,Cm空间群,晶胞常数为a=7.982(1)、b=15.806(3)、c=3.487(7)、α=90°、β=100.57°、γ=90°,晶体中的阴离子基团为[BO_3]。测量了TG-DSC曲线、紫外可见透过光谱、红外光谱、拉曼光谱,并计算了晶体单位体积Tb的含量。结果表明,Cd_4TbO(BO_3)_3晶体在500~1500 nm范围内透过率大于70%。Cd_4TbO(BO_3)_3晶体单位体积含Tb量为4.624×1021/cm3,是磁光晶体TGG单位体积含Tb量的0.3倍。综上表明Cd_4TbO(BO_3)_3是一种有前途的复合功能晶体材料。 展开更多

关键词 稀土硼酸盐 非线性光学晶体 Cd4TbO(BO3)3 磁光效应

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新型深紫外非线性光学晶体KBe_2BO_3F_2族的研究进展 被引量：6

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作者 刘丽娟 陈创天 《中国材料进展》 CAS CSCD 2010年第10期16-20,共5页

深紫外非线性光学晶体KBe2BO3F2(KBBF)发展至今,已有将近20年的历史。首先简单回顾了KBBF化合物的发现、晶体生长以及基本光学性质,同时对KBBF族(MBe2BO3F2,M=K,Rb,Cs)的其它化合物如:RbBe2BO3F2和CsBe2BO3F2的晶体生长和其基本光学性... 深紫外非线性光学晶体KBe2BO3F2(KBBF)发展至今,已有将近20年的历史。首先简单回顾了KBBF化合物的发现、晶体生长以及基本光学性质,同时对KBBF族(MBe2BO3F2,M=K,Rb,Cs)的其它化合物如:RbBe2BO3F2和CsBe2BO3F2的晶体生长和其基本光学性质进行了报道,然后对这些新晶体产生深紫外谐波光输出的能力做了评估,最后介绍了利用KBBF晶体器件产生的深紫外相干光源在先进仪器等方面的应用。 展开更多

关键词 非线性光学晶体 晶体生长 深紫外激光

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覆膜浸渍扩散阴极表面微区电子发射像研究 被引量：5

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作者 阴生毅 任峰 +6 位作者 卢志鹏 张永清 张申金 杨峰 卫东 邯娇 李阳 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第10期2535-2540,共6页

覆膜对浸渍扩散热阴极表面电子发射的影响一直是热阴极研究领域的重点课题。该文采用最新研制的深紫外激光光发射电子显微镜/热发射电子显微镜(DUV-PEEM/TEEM),对一半覆膜、另一半未覆膜的浸渍扩散阴极试样作了1150℃×2 h激活,并... 覆膜对浸渍扩散热阴极表面电子发射的影响一直是热阴极研究领域的重点课题。该文采用最新研制的深紫外激光光发射电子显微镜/热发射电子显微镜(DUV-PEEM/TEEM),对一半覆膜、另一半未覆膜的浸渍扩散阴极试样作了1150℃×2 h激活,并对其表面微区的热电子发射像及其随温度的变化作了比较。结果发现,两种阴极的热电子发射均主要位于孔隙及其邻近颗粒边缘;随温度升高,未覆膜阴极发射主要集中于孔隙内及周边有限区域内,发射面积增量较小,覆膜则使阴极有效发射区域得以由孔隙及其边缘向距孔隙更远的区域延伸,发射面积大幅增加。上述结果首次给出了覆膜浸渍扩散阴极微区的电子发射特征,对于理解该类型阴极发射机理有一定参考价值。 展开更多

关键词 覆膜浸渍扩散阴极 电子发射 微区 光发射电子显微镜

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非线性光限幅材料原理、性能表征及研究进展 被引量：4

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作者 吕泽 方佑 +5 位作者 冯迢 宗楠 李云飞 张申金 谢政 彭钦军 《中国光学（中英文）》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期625-639,共15页

激光防护材料在保护人眼和光学器件免受强激光破坏方面具有重要意义,其中基于非线性光学原理工作的固态光限幅材料有望成为未来激光防护的主体。本文介绍了光限幅材料的研究背景、工作机理、参数指标以及测试技术,综述了目前具有实用前... 激光防护材料在保护人眼和光学器件免受强激光破坏方面具有重要意义,其中基于非线性光学原理工作的固态光限幅材料有望成为未来激光防护的主体。本文介绍了光限幅材料的研究背景、工作机理、参数指标以及测试技术,综述了目前具有实用前景的多类光限幅材料的研究进展,对无机半导体材料、共轭有机高分子、无机金属团簇、碳纳米材料、二维材料等5类材料做了重点介绍,探讨这些光限幅材料的发展前景,并介绍了相关材料在固态基质中器件化的研究现状。 展开更多

关键词 光限幅 非线性光学 激光防护

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638nm、532nm激光泵浦的连续波翠绿宝石激光器 被引量：3

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作者 宋越 王志敏 +2 位作者 张丰丰 薄勇 彭钦军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第3期129-135,共7页

报道了一种高功率、高光束质量的755 nm连续波翠绿宝石激光器。首先,对比研究了638 nm激光二极管(LDs)和532 nm固体激光器单端泵浦的翠绿宝石激光器。当638 nm LDs作为泵浦源时,得到的连续输出功率、光-光转换效率分别为3.9 W和19.7%。... 报道了一种高功率、高光束质量的755 nm连续波翠绿宝石激光器。首先,对比研究了638 nm激光二极管(LDs)和532 nm固体激光器单端泵浦的翠绿宝石激光器。当638 nm LDs作为泵浦源时,得到的连续输出功率、光-光转换效率分别为3.9 W和19.7%。保持其他条件基本不变,将泵浦源换成532 nm激光器,得到的连续输出功率、光-光转换效率分别为2.1 W和10.0%。结果表明利用638 nm LDs泵浦翠绿宝石可获得更高的激光功率和转换效率。此外,研究了638 nm LDs双端泵浦的翠绿宝石激光器,在755 nm处得到了6.2 W的连续输出功率,相应的光-光转换效率和斜效率分别为16.3%和24.2%,并且连续输出功率为5.0 W时的光束质量M2优于1.47,这是翠绿宝石激光器在近衍射极限下的最高连续输出功率。这种高功率、高光束质量的755 nm翠绿宝石激光器为连续波紫外激光器的研制提供了良好、稳定的基频源。 展开更多

关键词 翠绿宝石 连续波 端面泵浦 激光二极管

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紧凑高效型百瓦级2μm棒状Tm:YAG激光器 被引量：1

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作者 吴健宏 杜仕峰 +6 位作者 高昀 王海龙 陈玲芝 王志超 薄勇 崔大复 彭钦军 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期2027-2032,共6页

报道了一种结构紧凑、高效率、高功率的2μm棒状Tm∶YAG激光器。通过优化设计三向激光二极管(LD)侧面泵浦激光模块,提高了晶体棒内泵浦光的功率密度。激光谐振腔采用平平腔结构,包含单个激光模块,几何腔长为88 mm,整台激光器结构简单、... 报道了一种结构紧凑、高效率、高功率的2μm棒状Tm∶YAG激光器。通过优化设计三向激光二极管(LD)侧面泵浦激光模块,提高了晶体棒内泵浦光的功率密度。激光谐振腔采用平平腔结构,包含单个激光模块,几何腔长为88 mm,整台激光器结构简单、紧凑且体积小。激光模块通过一个水冷机进行冷却,在冷却温度为12℃条件下,获得了最高功率为119 W、波长为2.02μm的激光输出,光-光转换效率为19.6%,斜率效率达32.7%。该激光器可在最大输出功率下连续稳定运转2 h,功率波动小于1%,晶体端面及光学元件表面不结霜。实验测得x和y方向的光束质量因子分别为21.01和21.68。这种紧凑、可靠、高效的百瓦级2μm激光器对于医疗和科学研究等应用具有重要意义。 展开更多

关键词 激光器 Tm∶YAG 棒状晶体 LD侧面泵浦 2μm 结构紧凑

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脉宽对中红外激光带内损伤HgCdTe材料的影响 被引量：1

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作者 胡蔚敏 王小军 +3 位作者 田昌勇 杨晶 刘可 彭钦军 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期126-133,共8页

研究了脉宽对于中红外脉冲激光带内损伤碲镉汞(HgCdTe)材料阈值的影响,使用一维自洽模型对激光辐照HgCdTe材料程中的载流子数密度,载流子对数目流,载流子对能流,载流子温度和材料晶格温度等相关参数进行仿真计算。仿真结果表明,波长2.85... 研究了脉宽对于中红外脉冲激光带内损伤碲镉汞(HgCdTe)材料阈值的影响,使用一维自洽模型对激光辐照HgCdTe材料程中的载流子数密度,载流子对数目流,载流子对能流,载流子温度和材料晶格温度等相关参数进行仿真计算。仿真结果表明,波长2.85μm,脉宽30 ps~10 ns单脉冲激光带内辐照HgCdTe材料的损伤阈值为200~500 mJ/cm^(2)。其中,300 ps~3 ns脉冲激光的损伤阈值相近,均为200 mJ/cm^(2)且低于其他脉宽激光的损伤阈值。搭建实验光路并进行相关实验验证仿真模型的正确性。实验发现,波长2.85μm、脉宽300 ps的单脉冲激光带内辐照HgCdTe材料的损伤阈值在200 mJ/cm^(2)左右。相同条件下,10 ns单脉冲激光带内辐照HgCdTe材料的损伤阈值约474 mJ/cm^(2)。百皮秒脉冲激光对HgCdTe材料的损伤过程结合了热击穿和光学击穿效应,其独特的毁伤机理加剧了材料的损伤。 展开更多

关键词 激光辐照半导体 碲镉汞 损伤阈值 自洽模型 百皮秒脉冲激光

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金刚石晶体能带计算与光谱分析 被引量：1

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作者 李海东 申玉 +4 位作者 温雅 张申金 宗楠 薄勇 彭钦军 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期899-916,共18页

金刚石具有高热导率、宽光谱透过范围、大拉曼增益系数和大拉曼频移等优点,已成为拓展波长范围、获得高功率高光束质量新波长的重要拉曼介质。利用第一性原理对金刚石晶格参数、能带结构、态密度、声子谱等进行了计算,系统分析了结构特... 金刚石具有高热导率、宽光谱透过范围、大拉曼增益系数和大拉曼频移等优点,已成为拓展波长范围、获得高功率高光束质量新波长的重要拉曼介质。利用第一性原理对金刚石晶格参数、能带结构、态密度、声子谱等进行了计算,系统分析了结构特征、频谱、能带间隙及电子分布特性。在此基础上,考虑了金刚石的电子运动态以及电场方向对金刚石能带间隙的影响,发现金刚石在<100>晶向最易受电场影响,在<111>晶向最稳定。给出了金刚石晶体的全部本征振动模式和相应频率,分析结果表明泵浦光沿着<110>晶向入射、并沿着<111>晶向偏振时拉曼增益最大。同时讨论了光谱区域内多声子吸收机理,为金刚石拉曼激光效率提升以及波长拓展提供了理论依据。 展开更多

关键词 非线性光学 光谱分析 能带计算 第一性原理 金刚石晶体

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高功率陶瓷板条激光器 被引量：1

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作者 宋艳洁 朱铎 +2 位作者 薄勇 彭钦军 李江 《应用光学》 CAS 北大核心 2023年第6期1195-1200,共6页

高功率固体激光在先进制造、能源、信息、医疗及国防等领域有广泛应用。激光陶瓷材料具有掺杂浓度均匀可控、抗激光热损伤能力强、易于制备大尺寸和复合结构等优点,被认为是高功率固体激光的重要增益材料。报道了本课题组近年来在高功... 高功率固体激光在先进制造、能源、信息、医疗及国防等领域有广泛应用。激光陶瓷材料具有掺杂浓度均匀可控、抗激光热损伤能力强、易于制备大尺寸和复合结构等优点,被认为是高功率固体激光的重要增益材料。报道了本课题组近年来在高功率陶瓷板条激光方面的主要研究进展。采用中国科学院上海硅酸盐所制备的大尺寸Nd:YAG陶瓷板条,实现了平均功率4.35 kW的1064 nm脉冲激光输出,脉冲宽度为160μs,重复频率为400 Hz。此外,采用中科院上海硅酸盐所制备的大尺寸Yb:YAG陶瓷板条,实现了平均功率9.8 kW的1030 nm脉冲激光输出,脉冲宽度为560μs,重复频率为160 Hz,光光转换效率为60%。这些研究表明,激光陶瓷材料具备实现高功率、高光束质量与高效率激光的潜力。 展开更多

关键词 激光 高功率 陶瓷 板条 YAG

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100 kHz高功率高光束质量纳秒激光振荡器 被引量：1

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作者 杨天利 杨晶 +3 位作者 周王哲 李雪鹏 王小军 彭钦军 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期48-54,共7页

高功率、高重复频率纳秒脉冲激光广泛应用于激光切割、激光焊接等领域。随着激光重复频率的提升,特别是高于50 kHz时,单个周期有限的时间内难以积累足够的上能级粒子,调Q脉冲的稳定性成为了激光器设计的难点。当前主要采用主振荡器的功... 高功率、高重复频率纳秒脉冲激光广泛应用于激光切割、激光焊接等领域。随着激光重复频率的提升,特别是高于50 kHz时,单个周期有限的时间内难以积累足够的上能级粒子,调Q脉冲的稳定性成为了激光器设计的难点。当前主要采用主振荡器的功率放大器(MOPA)方案,直接振荡获得兼具高功率、高重复频率及高光束质量的纳秒脉冲激光还比较困难。通过对激光动力学过程的仿真模拟,定量分析了高重复频率调Q过程中脉冲强度稳定性与泵浦速率的关系,并利用负透镜使振荡器工作在具有较大基模体积的热近非稳区,实现了Nd:YAG声光调Q激光振荡器在高重复频率、高功率、高光束质量三方面的均衡设计。首次利用侧泵模块实现了100 kHz高功率高光束质量纳秒脉冲激光的直接振荡产生,脉冲强度的离散系数仅为0.041,激光输出功率超过142 W,脉冲宽度为165 ns,光束质量因子M^(2)为1.5。 展开更多

关键词 激光振荡器 高重复频率 声光调Q 纳秒 高光束质量

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固结磨料抛光LBO晶体非水基抛光液优化

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作者 宋龙龙 李军 +3 位作者 王文泽 胡章贵 朱永伟 左敦稳 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期2051-2054,共4页

三硼酸锂(LBO)晶体是优良的非线性光学晶体材料,抛光后晶体表面水份残留导致晶体潮解,影响器件的使用性能。采用非水基抛光液固结磨料抛光LBO晶体,降低水含量,研究非水基抛光液中去离子水、乳酸、双氧水等含量对材料去除率和表面粗糙度... 三硼酸锂(LBO)晶体是优良的非线性光学晶体材料,抛光后晶体表面水份残留导致晶体潮解,影响器件的使用性能。采用非水基抛光液固结磨料抛光LBO晶体,降低水含量,研究非水基抛光液中去离子水、乳酸、双氧水等含量对材料去除率和表面粗糙度的影响,并综合优化得到高材料去除率和优表面质量的抛光液组分。研究表明,抛光液中去离子水浓度16%、乳酸22%、双氧水5%为最优抛光液组分,采用优化的抛光液固结磨料抛光LBO晶体的材料去除率达到392nm/min,表面粗糙度为0.62nm,实现了LBO晶体表面的高效高质量抛光,同时避免了抛光过程中水的大量使用。 展开更多

关键词 固结磨料抛光 非水基抛光液 材料去除率 表面粗糙度

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多级结构银微-纳米晶的制备及其性能

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作者 聂士东 李江涛 +2 位作者 张志颖 刘云 刘春艳 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期4090-4096,共7页

采用液相还原法,通过调控氧化剂硝酸银与还原剂抗坏血酸的摩尔比例制备出具有多级结构的花状及枝状银微-纳米晶,考察了反应介质对形貌及尺寸的影响。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、表面增强拉曼光谱(SERS)、紫外-可见(UV-... 采用液相还原法,通过调控氧化剂硝酸银与还原剂抗坏血酸的摩尔比例制备出具有多级结构的花状及枝状银微-纳米晶,考察了反应介质对形貌及尺寸的影响。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、表面增强拉曼光谱(SERS)、紫外-可见(UV-Vis)漫反射光谱等方法,对样品的形貌、微晶结构、光学及催化性能进行了研究。结果表明:花状及枝状多级结构银微-纳米晶均具有面心立方晶体结构,且(111)晶面为主要曝露晶面;表面增强拉曼光谱表明花状及枝状银微-纳米晶为基底时均表现出优异的表面增强拉曼效应;微结构上的差异使枝状银在紫外-可见漫反射光谱上352 nm处有较强的吸收峰;在银催化硼氢化钠还原4-硝基苯酚的实验中,多级结构枝状银表现出最优良的催化活性。 展开更多

关键词 制备 多级结构 银 形貌 表面增强拉曼 催化

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高效率、高能量、皮秒可见光参量放大器

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作者 董程 杨峰 +4 位作者 王旭明 韩琳 薄勇 彭钦军 许祖彦 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期96-99,共4页

为了提高皮秒可见光参量产生/放大器(OPG/OPA)的转换效率及输出能量,采用走离补偿结构和镜片膜系特殊设计等方法进行了实验验证。研究了在不同的抽运能量下OPA信号光的光束质量因子M 2的演化过程和信号光在430nm^680nm内的调谐输出性能... 为了提高皮秒可见光参量产生/放大器(OPG/OPA)的转换效率及输出能量,采用走离补偿结构和镜片膜系特殊设计等方法进行了实验验证。研究了在不同的抽运能量下OPA信号光的光束质量因子M 2的演化过程和信号光在430nm^680nm内的调谐输出性能。结果表明,在6.9mJ的355nm抽运能量下,最高获得了2.7mJ的510nm信号光能量输出,对应的光光转换效率为39.1%,光子转换效率为56.2%;该方法可以有效提高OPG/OPA的输出能量和转换效率。该研究对紫外和深紫外晶体的表征是有帮助的。 展开更多

关键词 非线性光学 光参量放大器 走离补偿 非线性光学材料

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