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题名飞秒激光双光子聚合三维微纳结构加工技术
被引量：7
- 1
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作者
赵圆圆
金峰
董贤子
郑美玲
段宣明
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机构
暨南大学光子技术研究院广东省光纤传感与通信技术重点实验室
中国科学院理化技术研究所仿生智能界面科学中心有机纳米光子学实验室
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期1-33,共33页
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基金
广州市科技计划资助项目(202007010002)
国家自然科学青年基金资助项目(62005097)
+1 种基金
广东省自然科学基金面上资助项目(2020A1515011529)
广州市基础与应用基础研究资助项目(202102020999)。
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文摘
飞秒激光双光子聚合微纳加工技术作为重要的三维微纳结构制备手段,已成为国际前沿研究热点。该技术利用激光与物质相互作用的双光子非线性吸收效应和阈值效应,可以突破经典光学理论衍射极限,实现纳米尺度的激光加工分辨力,在三维功能性微纳器件制备领域正在发挥着十分重要的作用。本文在介绍飞秒激光双光子聚合三维微纳加工技术的光物理和光化学过程基本原理的基础上,重点回顾人们在改善加工线宽及分辨力、提高加工效率等方面的研究进展与发展概况。该技术所制备的各种微光学器件、集成光学器件、微机电系统以及生物医学器件,不仅充分展示了飞秒激光双光子聚合三维微纳加工技术的高空间分辨力和真三维加工特点,也为其在相关前沿领域的应用提供具有启发性的思路。最后,对该技术实现高精度、高效率、低成本、大面积、多功能的三维微纳结构加工所存在的挑战和未来发展方向,进行了讨论和展望。
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关键词
飞秒激光
双光子聚合
光学衍射极限
加工分辨力
加工效率
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Keywords
femtosecond laser
two-photon polymerization
optical diffraction limit
resolution
efficiency
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
TN253
[电子电信—物理电子学]
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题名数字掩模投影光刻的极限分辨率研究
被引量：3
- 2
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作者
刘玉环
赵圆圆
董贤子
郑美玲
段宣明
赵震声
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机构
中国科学院理化技术研究所仿生智能界面科学中心
中国科学院重庆绿色智能技术研究院
中国科学院大学未来技术学院
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出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期354-359,共6页
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基金
科技部国家重点研发纳米科技重点专项,2016YFA0200501~~
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文摘
研究了一种基于数字微镜器件(DMD)的数字掩模投影光刻(DMPL)技术,以400 nm飞秒激光作为光源,结合高缩放比投影系统,来缩小光刻胶与光子束的反应区域,通过调控不同DMD像素投影光场强度分布,将投影光刻的线宽分辨率推进至亚微米尺度,实现了具有跨尺度加工能力(单次曝光面积在百微米以上,曝光精度在百纳米)的DMPL技术,同时详细对比分析了DMPL中存在的几何和物理光学模型,阐明了像素个数与加工结构尺寸的关系,并进一步基于物理光学模型分析了DMPL中极限分辨率的关键科学问题。
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关键词
激光技术
仪器数字掩模投影光刻
数字微镜器件
跨尺度
飞秒激光
分辨率
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Keywords
laser technology
instrument digital-mask projective lithography
digital micromirror device
cross-scale
femtosecond laser
resolution
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分类号
STN249
[农业科学]
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名高精细水凝胶微图案的快速制备及其对细胞行为的诱导
被引量：3
- 3
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作者
张维彩
郑美玲
董贤子
刘洁
金峰
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机构
中国科学院理化技术研究所仿生智能界面科学中心有机纳米光子学实验室
中国科学院大学未来技术学院
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期62-72,共11页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61975213,61475164,51901234)
中奥国际合作项目(GJHZ1720)
中国科学院国际伙伴计划(GJHZ2021130)。
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文摘
为探索不同尺寸的水凝胶微图案对细胞的诱导调控作用,本文采用飞秒激光无掩模投影光刻技术,将水凝胶前驱体溶液制备成所设计的图案,同时结合大面积拼接,获得了具有大面积、不同尺寸的多边形和多角星微结构。详细研究了微结构的最佳加工条件及其浸润性。带有微结构的基底与成纤维细胞共培养的实验结果表明,微结构的空间限位作用会改变细胞形貌,从而能够对细胞的生长行为进行有效地调控。尤其在小尺寸的多边形和多角星微结构上,细胞核会落入微结构的中心陷窝,细胞骨架则不断铺展分布,并逐渐与微结构形貌趋于一致。该研究证实了微结构图案单元尺寸对诱导细胞行为功能至关重要,将为利用生物相容性水凝胶微结构进行体外细胞研究提供新技术与新方法。
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关键词
无掩模投影光刻
水凝胶
微图案
细胞行为
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Keywords
maskless optical projection lithography
hydrogel
micropattern
cell behavior
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分类号
TH741.5
[机械工程—光学工程]
TN249
[电子电信—物理电子学]
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