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脉冲电子束系统沉积高温超导薄膜研究
1
作者
陈雷明
张燕
+2 位作者
杜银霄
李广成
郭艳峰
《重庆科技学院学报（自然科学版）》
CAS
2010年第1期98-100,共3页
高温超导薄膜生长是研究超导现象和超导器件的基础,一直是凝聚态物理研究的一个重要课题。各种各样的薄膜生长方法都被应用于高温超导薄膜的生长研究。采用一种崭新的薄膜沉积设备——脉冲电子束沉积系统(PED)成功制备出了NCCO、LSCO高...
高温超导薄膜生长是研究超导现象和超导器件的基础,一直是凝聚态物理研究的一个重要课题。各种各样的薄膜生长方法都被应用于高温超导薄膜的生长研究。采用一种崭新的薄膜沉积设备——脉冲电子束沉积系统(PED)成功制备出了NCCO、LSCO高温超导薄膜,并通过优化沉积参数,获得了具有良好表面形貌和超导转变特性的高温超导薄膜。
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关键词
脉冲电子束系统
超导薄膜
靶材
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职称材料
题名
脉冲电子束系统沉积高温超导薄膜研究
1
作者
陈雷明
张燕
杜银霄
李广成
郭艳峰
机构
郑州航空工业管理
学院
中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家重点实验室
出处
《重庆科技学院学报（自然科学版）》
CAS
2010年第1期98-100,共3页
基金
国家自然科学基金面上项目(60571029)
河南省教育厅自然科学基础研究计划项目(2008A140013)
河南省科技攻关计划项目(092102210166)
文摘
高温超导薄膜生长是研究超导现象和超导器件的基础,一直是凝聚态物理研究的一个重要课题。各种各样的薄膜生长方法都被应用于高温超导薄膜的生长研究。采用一种崭新的薄膜沉积设备——脉冲电子束沉积系统(PED)成功制备出了NCCO、LSCO高温超导薄膜,并通过优化沉积参数,获得了具有良好表面形貌和超导转变特性的高温超导薄膜。
关键词
脉冲电子束系统
超导薄膜
靶材
Keywords
pulsed electron beam deposition
superconducting film
target material
分类号
O484 [理学—固体物理]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
脉冲电子束系统沉积高温超导薄膜研究
陈雷明
张燕
杜银霄
李广成
郭艳峰
《重庆科技学院学报（自然科学版）》
CAS
2010
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