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偏轴射频磁控溅射生长LiPON在高性能全固态薄膜锂离子电池中的应用
被引量：
1
1
作者
肖东丽
童君
《集成技术》
2017年第6期24-30,共7页
全固态薄膜锂离子电池(Thin Film Lithium Ion Battery,TFLB)在微型器件储能领域具有巨大的应用潜力,传统上多采用射频磁控溅射生长Li PON薄膜的方法获得稳定的固态电解质层。文章主要研究了基于偏轴磁控溅射技术的Li PON薄膜制备方法,...
全固态薄膜锂离子电池(Thin Film Lithium Ion Battery,TFLB)在微型器件储能领域具有巨大的应用潜力,传统上多采用射频磁控溅射生长Li PON薄膜的方法获得稳定的固态电解质层。文章主要研究了基于偏轴磁控溅射技术的Li PON薄膜制备方法,通过改变薄膜沉积过程中的N2气压值,在0.2 Pa气压下获得了锂离子电导率达到2.4×10-6 S·cm-1的固态电解质层;同时,将优化后的Li PON薄膜应用于Li Co O2/Li PON/Li结构的TFLB中。实验结果表明,TFLB在0.1 C倍率下首次放电容量可达62.1μA·h·cm-2·μm-1,而在高倍率(4 C)条件下放电容量依然可达51.7μA·h·cm-2·μm-1,经过0.1 C、0.5 C、1 C、2 C、4 C倍率条件下各5次充放电循环后,TFLB在0.1 C倍率下的容量保有率仍高达90%,展示出了良好的器件性能。
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关键词
全固态薄膜锂离子电池
锂磷氧氮
固态电解质
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职称材料
题名
偏轴射频磁控溅射生长LiPON在高性能全固态薄膜锂离子电池中的应用
被引量：
1
1
作者
肖东丽
童君
机构
中国科学院深圳先进技术研究院光子信息与能源材料研究中心
中国科
学
技术
大学纳米
科学
技术
学院
出处
《集成技术》
2017年第6期24-30,共7页
基金
深圳市基础研究项目(自由探索)(JCYJ20150401145529006
JCYJ20170307172921592)
文摘
全固态薄膜锂离子电池(Thin Film Lithium Ion Battery,TFLB)在微型器件储能领域具有巨大的应用潜力,传统上多采用射频磁控溅射生长Li PON薄膜的方法获得稳定的固态电解质层。文章主要研究了基于偏轴磁控溅射技术的Li PON薄膜制备方法,通过改变薄膜沉积过程中的N2气压值,在0.2 Pa气压下获得了锂离子电导率达到2.4×10-6 S·cm-1的固态电解质层;同时,将优化后的Li PON薄膜应用于Li Co O2/Li PON/Li结构的TFLB中。实验结果表明,TFLB在0.1 C倍率下首次放电容量可达62.1μA·h·cm-2·μm-1,而在高倍率(4 C)条件下放电容量依然可达51.7μA·h·cm-2·μm-1,经过0.1 C、0.5 C、1 C、2 C、4 C倍率条件下各5次充放电循环后,TFLB在0.1 C倍率下的容量保有率仍高达90%,展示出了良好的器件性能。
关键词
全固态薄膜锂离子电池
锂磷氧氮
固态电解质
Keywords
all-solid-state thin film Lithium ion battery
LiPON
solid state electrolyte
分类号
TM912 [电气工程—电力电子与电力传动]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
偏轴射频磁控溅射生长LiPON在高性能全固态薄膜锂离子电池中的应用
肖东丽
童君
《集成技术》
2017
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