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高控位精度横向模压电微位移器的研究
被引量:
1
1
作者
张望重
陈大任
朱精敏
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第B05期108-110,共3页
介绍了d31 横向伸缩模式压电微位移驱动器的制作过程 ,应用高稳定的填满钨青铜型压电陶瓷作为该器件制备的基料 ,利用P -F干涉仪原理测量了电场 -位移特性曲线 ,由此计算了压电常数d31 ,并进行了讨论。该器件具有电控应变 (位移 )线性...
介绍了d31 横向伸缩模式压电微位移驱动器的制作过程 ,应用高稳定的填满钨青铜型压电陶瓷作为该器件制备的基料 ,利用P -F干涉仪原理测量了电场 -位移特性曲线 ,由此计算了压电常数d31 ,并进行了讨论。该器件具有电控应变 (位移 )线性度高、滞后量小以及结构简单、制作工艺方便等特点 ,它在精密光学等技术领域有一定应用价值。
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关键词
压电陶瓷
微位移驱动器
逆压电效应
压电常数
全文增补中
扫描电声显微镜Ⅱ
2
作者
殷庆瑞
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2001年第2期46-46,共1页
扫描电声显微术(SEAM)是把现代电子光学技术、电声技术、压电传感技术、弱信号检测和图像处理技术以及计算机技术融为一体的一种新型的无损分析和显微成像技术。它既具有声学显微术非破坏性内部成像的本领,又具有电子显微术高分辨率和...
扫描电声显微术(SEAM)是把现代电子光学技术、电声技术、压电传感技术、弱信号检测和图像处理技术以及计算机技术融为一体的一种新型的无损分析和显微成像技术。它既具有声学显微术非破坏性内部成像的本领,又具有电子显微术高分辨率和快速成像的特点。它的独特的成像机理是基于材料的微观电学和热弹性能的变化,用它能获取目前其它手段无法得到的信息。它可以原位(in situ)观察试样的二次电子像(SEM)、电声像(SEAM)、热释电像和EBIC(V)像。
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关键词
扫描电声显微镜
电声成像机理
电声显微术
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职称材料
题名
高控位精度横向模压电微位移器的研究
被引量:
1
1
作者
张望重
陈大任
朱精敏
机构
中国科学院
无机
功能
材料
开放实验室
浙江大学(西溪校区)物理系
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第B05期108-110,共3页
文摘
介绍了d31 横向伸缩模式压电微位移驱动器的制作过程 ,应用高稳定的填满钨青铜型压电陶瓷作为该器件制备的基料 ,利用P -F干涉仪原理测量了电场 -位移特性曲线 ,由此计算了压电常数d31 ,并进行了讨论。该器件具有电控应变 (位移 )线性度高、滞后量小以及结构简单、制作工艺方便等特点 ,它在精密光学等技术领域有一定应用价值。
关键词
压电陶瓷
微位移驱动器
逆压电效应
压电常数
Keywords
piezoelectric ceramics
actuator
converse piezoelectric effect
piezoelectric constant
分类号
TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]
TN384 [电子电信—物理电子学]
全文增补中
题名
扫描电声显微镜Ⅱ
2
作者
殷庆瑞
机构
中国科学院无机功能材料开放实验室上海硅酸盐研究所
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2001年第2期46-46,共1页
文摘
扫描电声显微术(SEAM)是把现代电子光学技术、电声技术、压电传感技术、弱信号检测和图像处理技术以及计算机技术融为一体的一种新型的无损分析和显微成像技术。它既具有声学显微术非破坏性内部成像的本领,又具有电子显微术高分辨率和快速成像的特点。它的独特的成像机理是基于材料的微观电学和热弹性能的变化,用它能获取目前其它手段无法得到的信息。它可以原位(in situ)观察试样的二次电子像(SEM)、电声像(SEAM)、热释电像和EBIC(V)像。
关键词
扫描电声显微镜
电声成像机理
电声显微术
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高控位精度横向模压电微位移器的研究
张望重
陈大任
朱精敏
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
1
全文增补中
2
扫描电声显微镜Ⅱ
殷庆瑞
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2001
0
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职称材料
已选择
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