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中国科学院上海微系统与信息技术研究所能源科学与技术实验室
1
作者 夏保佳 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期99-99,共1页
关键词 MH-Ni镍蓄电池 电化学综合测试仪 中科院上海微系统与信息技术研究所 能源科学与技术实验室 研究课题
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氧化镓异质衬底集成技术研究进展
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作者 瞿振宇 徐文慧 +9 位作者 江昊东 梁恒硕 赵天成 谢银飞 孙华锐 邹新波 游天桂 齐红基 韩根全 欧欣 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第3期470-490,共21页
超宽禁带氧化镓在高功率和射频器件领域显示出巨大发展潜力。然而,氧化镓固有的极低热导率和p型掺杂困难问题限制了其器件性能和结构设计。异质集成是突破单一材料性能极限,变革提升器件性能的关键技术。本文综述了异质外延、机械剥离... 超宽禁带氧化镓在高功率和射频器件领域显示出巨大发展潜力。然而,氧化镓固有的极低热导率和p型掺杂困难问题限制了其器件性能和结构设计。异质集成是突破单一材料性能极限,变革提升器件性能的关键技术。本文综述了异质外延、机械剥离和离子束剥离转移三种氧化镓异质集成技术的最新研究进展,重点对比分析不同集成技术在材料质量、电学和热学特性及器件性能等方面的优缺点,并针对衬底种类、界面成键方式、过渡层厚度对纵向散热和电子输运的影响进行探讨。同时,本文对当前氧化镓异质集成技术所面临的挑战进行分析,并对氧化镓异质集成技术未来的发展趋势进行展望,旨在唤起国内氧化镓异质集成衬底相关研究,推动氧化镓异质集成器件开发,加快推进氧化镓材料和器件产业化应用。 展开更多
关键词 氧化镓 异质衬底集成 异质外延 机械剥离 离子束剥离转移 热管理
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集成柔性撑鼻器的双通路可穿戴MEMS呼吸监测微系统
3
作者 赵文浒 王嘉祥 +3 位作者 胡致远 苏开明 李铁 杨卓青 《电子学报》 北大核心 2025年第3期790-799,共10页
呼吸作为维持生命的关键生理过程,与呼吸暂停、哮喘等多种呼吸系统疾病密切相关.为了满足日益增长的健康监测需求,本文创新性地提出了一种集成柔性撑鼻器的双通路可穿戴MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)呼吸监测微系统.该微系统... 呼吸作为维持生命的关键生理过程,与呼吸暂停、哮喘等多种呼吸系统疾病密切相关.为了满足日益增长的健康监测需求,本文创新性地提出了一种集成柔性撑鼻器的双通路可穿戴MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)呼吸监测微系统.该微系统集成了柔性撑鼻器、呼吸传感器和信号处理模块,能够持续实时监测鼻腔内气流.传感器的敏感单元采用折叠式金属电阻结构,通过平面MEMS技术沉积在玻璃基底上,基于热阻效应,实现信号测量.传感器嵌入柔性撑鼻器后,可同时监测鼻腔内左右两侧的呼吸信号,尤其适合长时间连续监测.通过信号模拟及性能测试,结果表明该传感器在灵敏度、响应速度和抗干扰能力上表现出色,并且在模拟呼吸暂停和哮喘等疾病的测试中,传感器能够准确区分正常与异常的呼吸信号,可用于进一步分析各种呼吸疾病.基于此,本文开发了一种集成柔性撑鼻器的双通路可穿戴MEMS呼吸监测装置,旨在实现连续、实时且长时间的呼吸监测,特别适用于睡眠期间的异常呼吸筛查与健康监控.此外,该系统还能捕捉人体鼻周期的变化信息,为深入分析呼吸模式和生理节律提供了新的数据维度,展现了在长期健康管理中的潜在应用价值. 展开更多
关键词 呼吸监测 微机电系统 可穿戴设备 热阻效应 呼吸疾病 呼吸传感器
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用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究
4
作者 张鹏程 汪洋 +7 位作者 李安娜 黄昊 张程 张家昌 张永贵 王栎皓 刘艺晨 武震宇 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第1期120-130,共11页
MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视... MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视场较小的问题,基于伽利略扩角光路,针对小型化、后扫描光路、易加工等需求,设计了一款小型化跟瞄扩角镜头。首先,采用光束发散角和高斯拟合误差等指标,结合光束质量分析仪,对比了激光在扩角前后的光束质量,分析了扩角镜头对光束质量的影响;其次,基于搭建的扩角镜头表征装置,对比理论计算与仿真模型,分析了扩角结果;最后,结合MEMS准静态微镜和扩角镜头,对比了扩角前后的激光扫描图案。实验结果表明:设计的扩角镜头具有约2.88倍的扩角放大率,扩角线性度小于0.7%,且扩角前后激光光束质量无明显变化,扩角后发散全角控制在2 mrad以内。该项研究成果有助于推动小型化MEMS微镜激光跟踪瞄准系统的性能提升。 展开更多
关键词 压电微镜 微机电系统技术 激光跟踪瞄准 扩角镜头 伽利略光路
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用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究
5
作者 陈聪 郑丹 +3 位作者 张熙贵 杨辉 夏保佳 李昕欣 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期261-265,268,共6页
采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察所形成的流场微观形貌。将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA... 采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察所形成的流场微观形貌。将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA)叠片式组装成H2-空气自呼吸式mPEMFC。所制成的单体电池的体积约为0.3cm3,质量不足0.65g。在20℃,相对湿度RH为(60±5)%的室内环境下,用三种不同MEA即Nafion112、Nafion1135自制热压MEA和GorePrimeaR5561MEA组装成的电池,其峰值比功率、体积比功率和质量比功率分别为123、112、58mW·cm-2,410、373、193W·L-1,189.2、172.9、89.2W·kg-1。通过比较上述三种不同mPEMFC的性能,分析了影响电池性能的若干因素。用Nafion1135MEA组装的mPEMFC以50mA·cm-2进行累计260h长时间放电实验,电池电压保持在0.6V以上。 展开更多
关键词 微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC) 微机电系统(MEMS)技术 单晶硅片
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微小卫星星载计算机系统可靠性研究与设计 被引量:5
6
作者 姜连祥 杨根庆 +2 位作者 李华旺 胡伟圣 许培培 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2009年第1期238-240,共3页
针对微小卫星星载计算机系统对可靠性和实时性的苛刻要求,提出一种冷、热备份并存的微小卫星星载计算机系统设计方案。利用计算机系统可靠性理论和马尔可夫链理论对该系统方案的可靠性进行建模、计算和分析。计算结果表明该方案既保留... 针对微小卫星星载计算机系统对可靠性和实时性的苛刻要求,提出一种冷、热备份并存的微小卫星星载计算机系统设计方案。利用计算机系统可靠性理论和马尔可夫链理论对该系统方案的可靠性进行建模、计算和分析。计算结果表明该方案既保留了热备份实时性好的优点,同时在一般条件下,三年内星载计算机系统可靠度能够达到0.97以上,能够满足一般微小卫星星载计算机系统的可靠性需求。 展开更多
关键词 星载计算机系统 可靠性 马尔可夫链 备用系统
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基于纳米磁珠技术的新型微全分析DNA芯片的研究 被引量:4
7
作者 王聿佶 陈翔 +2 位作者 王彬 金庆辉 赵建龙 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2107-2110,共4页
在微全分析系统的研究中,样品提取及DNA分析技术是非常重要的一个环节.也是目前国内外研究的热点之一.文中介绍了一种新型的基于单芯片的样品制备和扩增方法.采用多层微加工技术制作SU-8模具,通过注模成型,制作出有立体微柱结构的PDMS(... 在微全分析系统的研究中,样品提取及DNA分析技术是非常重要的一个环节.也是目前国内外研究的热点之一.文中介绍了一种新型的基于单芯片的样品制备和扩增方法.采用多层微加工技术制作SU-8模具,通过注模成型,制作出有立体微柱结构的PDMS(聚二甲基硅氧烷)芯片,在芯片微池内填充超顺磁性磁珠,利用固相提取(solidphaseextraction,SPE)法,将细胞裂解、DNA提取、PCR反应等功能集成在一个PDMS芯片上.整个流程快速有效,操作简便且易于芯片系统集成,提取产物可以不必洗脱,直接作为下一步PCR反应的模板,在同一芯片上进行扩增反应,实现了样品预处理、DNA提取和PCR扩增的集成. 展开更多
关键词 PDMS 固相提取 磁珠 细胞裂解 PCR
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消防安全管理信息监测系统的研究和实现 被引量:8
8
作者 李世斌 金彦亮 +1 位作者 姚炜 熊勇 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2017年第18期213-217,共5页
针对国内许多大型的消防控制系统仍然处于分散报警阶段,没有统一的消防管理的问题,提出了一种应用在Web环境下的消防安全管理信息监测系统的设计方案。首先,设计了消防安全管理系统的总体架构,并将系统划分为报警监测、故障跟进、监督... 针对国内许多大型的消防控制系统仍然处于分散报警阶段,没有统一的消防管理的问题,提出了一种应用在Web环境下的消防安全管理信息监测系统的设计方案。首先,设计了消防安全管理系统的总体架构,并将系统划分为报警监测、故障跟进、监督管理、报警数据统计和分析四大功能模块;其次,对数据库表单设计、服务层业务逻辑定义、前端页面展示进行了技术实现;最后,以本市重点消防单位为试点进行测试,该系统提高了消防联网单位火灾预警能力和消防安全管理水平,满足了城市消防集中化、信息化、规范化的需求。 展开更多
关键词 消防 安全管理 信息化
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一种基于微流控芯片技术的流式细胞计数系统 被引量:2
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作者 刘守坤 苏显中 +2 位作者 金庆辉 景奉香 赵建龙 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第10期100-102,113,共4页
采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料制作微流控流式细胞计数芯片,利用负压驱动与鞘液夹流技术实现样品的水力聚焦,达到了10μm的样品聚焦宽度。基于激光诱导荧光技术,制作了小型化的检测装置。以488 nm固体激光器为光源,激光束以45°方... 采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料制作微流控流式细胞计数芯片,利用负压驱动与鞘液夹流技术实现样品的水力聚焦,达到了10μm的样品聚焦宽度。基于激光诱导荧光技术,制作了小型化的检测装置。以488 nm固体激光器为光源,激光束以45°方向穿过一个水平狭缝,以线光源形式汇聚到微流控芯片的检测区域,并与微通道垂直交叉,细胞样品的荧光信号通过光电倍增管收集。整个分析系统结构简单,操作方便,灵敏度高,可初步实现细胞的计数。 展开更多
关键词 流式细胞术 微流控芯片 水力聚焦 激光诱导荧光 狭缝
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基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究 被引量:1
10
作者 肖素艳 车录锋 +1 位作者 李昕欣 王跃林 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期184-188,共5页
基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅... 基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅片上;第二种方法是用胶粘剂将P16051膜暂时粘在载体硅片上,然后分别在两种柔性PI衬底上制作铂薄膜热敏电阻温度传感器,最后将器件从硅片载体上分离下来.采用低温(小于300℃)工艺技术减小了PI柔性衬底的热循环.实验测试结果表明,PI衬底上的铂薄膜热敏电阻具备良好的线性度,其电阻温度系数接近于0.0023/℃. 展开更多
关键词 柔性 MEMS技术 聚酰亚胺 铂薄膜电阻 温度传感器
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用于微电子机械系统封装的体硅键合技术和薄膜密封技术 被引量:3
11
作者 王渭源 王跃林 《中国工程科学》 2002年第6期56-62,共7页
对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术 ,整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术 ,以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述 ,强调在器件研究开始时应考虑封装问题 ,具体技术则应在保证器件功能和尽... 对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术 ,整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术 ,以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述 ,强调在器件研究开始时应考虑封装问题 ,具体技术则应在保证器件功能和尽量减少芯片复杂性两者之间权衡决定。 展开更多
关键词 体硅键合技术 薄膜密封技术 微电子机械系统 封装技术 芯片
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用微机电系统技术制作微质子交换膜燃料电池
12
作者 王涛 陈聪 +1 位作者 张熙贵 夏保佳 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第10期663-667,共5页
采用微机电系统(MEMS)技术,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC)的流场板,并用电子扫描电镜(SEM)观察其表面形貌。将它与用Nafion1135质子交换膜以传统热压方法制备的膜电极组装成H2/空气自呼吸式"PEMFC,该电... 采用微机电系统(MEMS)技术,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC)的流场板,并用电子扫描电镜(SEM)观察其表面形貌。将它与用Nafion1135质子交换膜以传统热压方法制备的膜电极组装成H2/空气自呼吸式"PEMFC,该电池的体积为0.28mL,质量不足0.65g。用电化学阻抗谱(EIS)测量了电池装配压缩比与内阻的关系,结果表明:在常温常压下,当压缩比!2%时,随压缩比增加,电池内阻减小,功率性能提高显著;当压缩比为2%时,电池功率性能最好,其峰值比功率约为83mW/cm2;而当压缩比"2%时,这种变化不显著。 展开更多
关键词 微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC) 微机电系统(MEMS) 单晶硅片 压缩比
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基于PCB技术的微型PEMFC的研究
13
作者 李巨峰 张熙贵 +1 位作者 夏保佳 王涛 《电池》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期139-141,共3页
采用印刷电路板(PCB)技术研制了微型质子交换膜燃料电池(PEMFC),峰值功率密度为115 mW/cm2。无水热管理系统、室温常压下运行172 h,电池的性能稳定,电压波动范围仅约0.02 V。采用改进后的准双极结构组装了由6只单体电池组成的电池组,峰... 采用印刷电路板(PCB)技术研制了微型质子交换膜燃料电池(PEMFC),峰值功率密度为115 mW/cm2。无水热管理系统、室温常压下运行172 h,电池的性能稳定,电压波动范围仅约0.02 V。采用改进后的准双极结构组装了由6只单体电池组成的电池组,峰值功率为671 mW。 展开更多
关键词 印刷电路板(PCB) 微型PEMFC 准双极结构
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南极泰山站多能互补微电网系统研究及实证 被引量:6
14
作者 吕冬翔 李钏 +5 位作者 王哲超 姚旭 魏福海 李钊 韩安军 卞建涛 《极地研究》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期184-194,共11页
针对南极泰山站极寒、大风、高原缺氧等极端气候条件,设计高可靠性、高耐候性微电网系统整体架构,根据现场使用环境,研究并仿真计算了微电网系统的必要运行参数和安装实施方式。泰山站多能互补微电网系统研制突破了极端气候条件下太阳... 针对南极泰山站极寒、大风、高原缺氧等极端气候条件,设计高可靠性、高耐候性微电网系统整体架构,根据现场使用环境,研究并仿真计算了微电网系统的必要运行参数和安装实施方式。泰山站多能互补微电网系统研制突破了极端气候条件下太阳能和风能发电能力设计、光伏板防堆雪设计、多能互补微电网系统控制设计等关键技术,研究设计了在无人值守条件下能够自主运行的智能控制平台,通过并网运行与离网运行两种控制模式,构建了高效稳定的风、光、燃、储多能互补型智能微电网系统。系统安装在南极泰山站现场进行了验证性试运行,结果表明微电网系统的各项功能指标均能达到设计要求。南极泰山站多能互补微电网系统的验证性建设和成功试运行为我国在极地地区开展可再生能源利用起到良好的探索和示范作用。 展开更多
关键词 南极 泰山站 多能互补 风能 太阳能 微电网系统
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电子鼻在疾病呼气诊断中的最新研究进展 被引量:3
15
作者 曾睿 李明强 +2 位作者 赵斌 李磊 冯飞 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第4期1-7,共7页
电子鼻(eNose)可用于呼出气体中的挥发性有机化合物(VOCs)检测,由于其具有非侵入性、快速检测等优势,近年来在疾病诊断中展现出巨大潜力。本文综述了近5年电子鼻在气体传感器阵列、信号采集与处理以及模式识别等关键技术的研究现状,系... 电子鼻(eNose)可用于呼出气体中的挥发性有机化合物(VOCs)检测,由于其具有非侵入性、快速检测等优势,近年来在疾病诊断中展现出巨大潜力。本文综述了近5年电子鼻在气体传感器阵列、信号采集与处理以及模式识别等关键技术的研究现状,系统回顾了其在呼吸系统疾病、消化系统疾病、糖尿病以及多种癌症等疾病中的应用。随着技术的不断进步,电子鼻已开始在疾病早期筛查和诊断中发挥越来越重要的作用。尽管当前仍面临传感器长期稳定性和大规模临床验证等挑战,但随着微纳传感技术和人工智能(AI)算法的迅速发展,电子鼻有望在疾病呼气诊断中得到更广泛的应用。 展开更多
关键词 电子鼻 呼出气体检测 疾病诊断 挥发性有机化合物 无创检测
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基于空域技术的无线通信物理层信息安全技术研究 被引量:6
16
作者 吴伊蒙 石志东 +2 位作者 房卫东 邓斌 单联海 《计算机应用与软件》 CSCD 2016年第12期287-290,317,共5页
无线网络通信非常容易受到窃听、拥塞和干扰等攻击,而从物理层层面上来抵御这些攻击能够有效减轻上层网络的压力。从无线通信网络的隐患开始,调研无线通信网络的常见攻击及基于空域的相应安全技术的技术要点,并对这些方法进行比较总结... 无线网络通信非常容易受到窃听、拥塞和干扰等攻击,而从物理层层面上来抵御这些攻击能够有效减轻上层网络的压力。从无线通信网络的隐患开始,调研无线通信网络的常见攻击及基于空域的相应安全技术的技术要点,并对这些方法进行比较总结和技术分类,同时对其安全性能进行分析,为后续的研究与应用提供帮助。 展开更多
关键词 无线通信 物理层安全 空域技术 拥塞干扰 窃听
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基于同步辐射的SGT MOSFET失效无损检测技术 被引量:1
17
作者 万荣桂 郑理 +3 位作者 王丁 周学通 沈玲燕 程新红 《半导体技术》 北大核心 2025年第2期181-186,共6页
屏蔽栅沟槽型MOSFET(SGT MOSFET)在应用中,鉴于电路中存在寄生电感或感性负载,该器件极易受非箝位电感开关(UIS)应力的影响,可能导致器件烧毁失效。采用X射线衍射形貌(XRT)技术对SGT MOSFET雪崩失效后的X射线衍射图像进行研究。在不损... 屏蔽栅沟槽型MOSFET(SGT MOSFET)在应用中,鉴于电路中存在寄生电感或感性负载,该器件极易受非箝位电感开关(UIS)应力的影响,可能导致器件烧毁失效。采用X射线衍射形貌(XRT)技术对SGT MOSFET雪崩失效后的X射线衍射图像进行研究。在不损坏器件的前提下,将烧毁点定位在元胞区域的漂移区。采用开盖检测方式验证了烧毁点位置的准确性,并且通过扫描电子显微镜(SEM)表征烧毁点的微观形貌。最后,通过仿真软件模拟芯片表面的三维图形,并利用TCAD仿真揭示了UIS的失效机理,即电流集中所产生的高温致使漂移区的硅融化。失效机理与实验结果相吻合。 展开更多
关键词 屏蔽栅沟槽型功率MOSFET 雪崩失效 同步辐射 无损检测 截面拓扑
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微小卫星CAN网络自组织技术研究 被引量:1
18
作者 曹立文 李华旺 刘勇 《计算机工程》 CAS CSCD 2013年第10期90-93,共4页
在传统卫星控制器局域网(CAN)网络中,各单机节点地址固定且需预先配置。为此,提出一种微小卫星CAN网络自组织技术设计方法。将网络工作模式分为正常模式和配置模式,采用物理地址逐级匹配的方式实现对连接到网络上节点的自主发现,并根据... 在传统卫星控制器局域网(CAN)网络中,各单机节点地址固定且需预先配置。为此,提出一种微小卫星CAN网络自组织技术设计方法。将网络工作模式分为正常模式和配置模式,采用物理地址逐级匹配的方式实现对连接到网络上节点的自主发现,并根据网络地址表对节点地址进行自动分配。实验结果表明,自组织星载CAN网络可有效发现并配置接入CAN网络的节点,节点的平均配置时间少于30 ms,提高了卫星电子系统的总装、集成及测试速度,缩短了卫星研制周期。 展开更多
关键词 微小卫星 控制器局域网 自组织 物理地址 超时 CANoe环境
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基于微阀流阻控制单液滴分离的研究
19
作者 兰宇伟 周扬 +2 位作者 吴嫚 贾春平 赵建龙 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第12期54-57,共4页
目前的液滴分离方法难以克服流体中液滴随机分布的问题,导致难以实现稳定的单液滴分离,因此分离过程中存在较多的液滴损失。针对上述问题,通过对液滴进行密排减少其间距来消除这一影响,而后间距被增加来控制液滴的间隔。使用微阀将液滴... 目前的液滴分离方法难以克服流体中液滴随机分布的问题,导致难以实现稳定的单液滴分离,因此分离过程中存在较多的液滴损失。针对上述问题,通过对液滴进行密排减少其间距来消除这一影响,而后间距被增加来控制液滴的间隔。使用微阀将液滴间隔随压强变化的斜率降低了1000倍以上,从而实现精确的间隔控制。固定间隔的液滴通过毛细管被收集,稳定状态下可实现5滴/min的无损失分离。 展开更多
关键词 液滴分离 微阀 流阻控制 液滴转移
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基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究 被引量:2
20
作者 陆荣 陆松涛 杨恒 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第12期118-120,共3页
提出了利用无电极电化学腐蚀自停止技术制作亚微米梁结构的新工艺方法。根据金硅腐蚀自停止现象发生的条件,结合硅材料的各向异性腐蚀特性,设计器件结构,利用腐蚀暴露面积变化实现了硅的选择性自停止腐蚀。在(111)型硅片上利用原电池钝... 提出了利用无电极电化学腐蚀自停止技术制作亚微米梁结构的新工艺方法。根据金硅腐蚀自停止现象发生的条件,结合硅材料的各向异性腐蚀特性,设计器件结构,利用腐蚀暴露面积变化实现了硅的选择性自停止腐蚀。在(111)型硅片上利用原电池钝化效应一次性腐蚀出与衬底绝缘,由约4μm厚的金电极支撑,厚度约为235 nm的亚微米梁结构,具有制作简单、成品率高、成本低等特点,应用前景广阔。 展开更多
关键词 亚微米梁 自停止腐蚀 电化学腐蚀 原电池
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