等离子体诊断技术对于高密度等离子刻蚀过程的监控显得非常重要。讨论了几种主要的等离子体诊断技术:l a n g m u i r 探针,发射光谱法(O E S),激光诱导荧光法(L I F),光谱椭偏法,质谱法,并就其技术特点及在实际运用时面临的问题进行了...等离子体诊断技术对于高密度等离子刻蚀过程的监控显得非常重要。讨论了几种主要的等离子体诊断技术:l a n g m u i r 探针,发射光谱法(O E S),激光诱导荧光法(L I F),光谱椭偏法,质谱法,并就其技术特点及在实际运用时面临的问题进行了详细的讨论。展开更多
