期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
晶圆激光切割技术的研究进展
被引量：
13
1
作者
李海鸥
韦春荣
+4 位作者
王晓峰
张紫辰
潘岭峰
李琦
陈永和
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017年第8期561-568,共8页
综述了半导体领域晶圆切割技术的发展进程,介绍了刀片切割技术、传统激光切割技术、新型激光切割技术及整形激光切割技术的特点、工作原理和优缺点以及国内外使用晶圆切割技术获得的研究成果及其应用前景。与刀片切割技术相比,激光切割...
综述了半导体领域晶圆切割技术的发展进程,介绍了刀片切割技术、传统激光切割技术、新型激光切割技术及整形激光切割技术的特点、工作原理和优缺点以及国内外使用晶圆切割技术获得的研究成果及其应用前景。与刀片切割技术相比,激光切割技术具有切割质量好、切割速度快等优点。详细介绍了以进一步改善晶圆切割质量和提高切割速度为目的的几类整形激光切割技术,包括微水导激光切割技术、隐形切割技术、多焦点光束切割、"线聚焦"切割、平顶光束切割和多光束切割等。随着技术的不断完善、切割设备的不断成熟,整形激光切割技术在未来的晶圆切割领域将具有广阔的应用前景。
展开更多
关键词
刀片切割
激光切割
切割速度
切割质量
整形激光
在线阅读
下载PDF
职称材料
三维物体的重建方法
被引量：
3
2
作者
饶志鹏
刘键
夏洋
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2010年第9期564-572,共9页
综述了三维物体重建的各种方法。首先介绍被动还原重建的几种方法,指出了它们的缺陷,即像素匹配问题。接着介绍了从二维坐标空间转化到三维坐标空间所要遵从的对极几何限制,并通过数学推导得出坐标转化表达式。在此基础上重点讨论了三...
综述了三维物体重建的各种方法。首先介绍被动还原重建的几种方法,指出了它们的缺陷,即像素匹配问题。接着介绍了从二维坐标空间转化到三维坐标空间所要遵从的对极几何限制,并通过数学推导得出坐标转化表达式。在此基础上重点讨论了三维物体主动还原重建方式,特别是结构光还原的方法,通过结构光的引入,能够较好地解决像素匹配问题,提高了还原的准确性,减少了拍照的次数,有利于动态物体的重建。根据双色反射模型,通过让系统的光路满足反射定理,且角度为60°,可改善主动还原重建方法对物体颜色限制在中性色的条件。最后讨论了精确匹配和消除强光的方法。
展开更多
关键词
计算机视觉
匹配问题
主动还原
结构光
彩色条纹
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
晶圆激光切割技术的研究进展
被引量：
13
1
作者
李海鸥
韦春荣
王晓峰
张紫辰
潘岭峰
李琦
陈永和
机构
桂林
电子
科技大学广西精密导航
技术
与应用重点实验室
中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室
中国科学院
半导体
研究所
清华大学精密仪器系微纳制造器件与系统协同创新中心精密测试
技术
及仪器国家重点实验室
出处
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017年第8期561-568,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(61376083
61474031)
+4 种基金
广西自然科学基金资助项目(2016GXNSFDA380021)
广西十百千人才工程资助项目
中国科学院装备研制项目
中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室资助项目
射频电路与系统教育部重点实验室(杭州电子科技大学)资助项目
文摘
综述了半导体领域晶圆切割技术的发展进程,介绍了刀片切割技术、传统激光切割技术、新型激光切割技术及整形激光切割技术的特点、工作原理和优缺点以及国内外使用晶圆切割技术获得的研究成果及其应用前景。与刀片切割技术相比,激光切割技术具有切割质量好、切割速度快等优点。详细介绍了以进一步改善晶圆切割质量和提高切割速度为目的的几类整形激光切割技术,包括微水导激光切割技术、隐形切割技术、多焦点光束切割、"线聚焦"切割、平顶光束切割和多光束切割等。随着技术的不断完善、切割设备的不断成熟,整形激光切割技术在未来的晶圆切割领域将具有广阔的应用前景。
关键词
刀片切割
激光切割
切割速度
切割质量
整形激光
Keywords
blade cutting
laser cutting
cutting speed
cutting quality
shaping laser
分类号
TN305.1 [电子电信—物理电子学]
TG485 [金属学及工艺—焊接]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
三维物体的重建方法
被引量：
3
2
作者
饶志鹏
刘键
夏洋
机构
中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室
中国科学院
嘉兴
微电子
仪器与
设备
工程中心
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2010年第9期564-572,共9页
基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2010CB327702)
文摘
综述了三维物体重建的各种方法。首先介绍被动还原重建的几种方法,指出了它们的缺陷,即像素匹配问题。接着介绍了从二维坐标空间转化到三维坐标空间所要遵从的对极几何限制,并通过数学推导得出坐标转化表达式。在此基础上重点讨论了三维物体主动还原重建方式,特别是结构光还原的方法,通过结构光的引入,能够较好地解决像素匹配问题,提高了还原的准确性,减少了拍照的次数,有利于动态物体的重建。根据双色反射模型,通过让系统的光路满足反射定理,且角度为60°,可改善主动还原重建方法对物体颜色限制在中性色的条件。最后讨论了精确匹配和消除强光的方法。
关键词
计算机视觉
匹配问题
主动还原
结构光
彩色条纹
Keywords
computer vision
correspondence problem
active reduction
structured light
color stripes
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
晶圆激光切割技术的研究进展
李海鸥
韦春荣
王晓峰
张紫辰
潘岭峰
李琦
陈永和
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017
13
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
三维物体的重建方法
饶志鹏
刘键
夏洋
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2010
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
