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标准单元可制造性分级
1
作者
张子文
龚敏
陈岚
《现代电子技术》
2008年第24期34-36,共3页
随着制造工艺尺寸的缩小,可制造性不只是工厂需要关注的问题,更是设计者需要考虑的重点,从而提高良率和版图面积的利用率。为了使设计者更好地理解和控制可制造性,对标准单元的可制造性分级显得尤为重要。用加权重的方法对标准单元进行...
随着制造工艺尺寸的缩小,可制造性不只是工厂需要关注的问题,更是设计者需要考虑的重点,从而提高良率和版图面积的利用率。为了使设计者更好地理解和控制可制造性,对标准单元的可制造性分级显得尤为重要。用加权重的方法对标准单元进行可制造性分级,该方法不但包含可制造性规则对版图的约束,还创新性地把工艺参数变化对其造成的影响考虑了进去。用一套简化的可制造性规则和版图来演示此种分级方法的实现,并用模拟结果验证了它的有效性。该分级方法具有统一性和标准性,可以被广泛采用。
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关键词
可制造性
标准单元
权重
光刻模拟
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职称材料
题名
标准单元可制造性分级
1
作者
张子文
龚敏
陈岚
机构
四川大学物理
科学
与
技术
学院
微电子
技术
四川省重点实验室四
中国科学院微电子研究所共性技术研究室
出处
《现代电子技术》
2008年第24期34-36,共3页
文摘
随着制造工艺尺寸的缩小,可制造性不只是工厂需要关注的问题,更是设计者需要考虑的重点,从而提高良率和版图面积的利用率。为了使设计者更好地理解和控制可制造性,对标准单元的可制造性分级显得尤为重要。用加权重的方法对标准单元进行可制造性分级,该方法不但包含可制造性规则对版图的约束,还创新性地把工艺参数变化对其造成的影响考虑了进去。用一套简化的可制造性规则和版图来演示此种分级方法的实现,并用模拟结果验证了它的有效性。该分级方法具有统一性和标准性,可以被广泛采用。
关键词
可制造性
标准单元
权重
光刻模拟
Keywords
DFM
standard cell
weighting approach
litho - simulation
分类号
TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
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1
标准单元可制造性分级
张子文
龚敏
陈岚
《现代电子技术》
2008
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