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不锈钢的电子轰击放气影响特性研究
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作者 罗艳 王魁波 吴晓斌 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第9期742-750,共9页
电子轰击放气对一些真空系统的设计起到决定性作用,但电子轰击放气的影响因素很多。采用典型的真空腔室材料316L不锈钢,开展了电子轰击参数对放气的影响特性实验研究。结果表明,电子束首次轰击新鲜表面时,电子轰击放气响应是立即且剧烈... 电子轰击放气对一些真空系统的设计起到决定性作用,但电子轰击放气的影响因素很多。采用典型的真空腔室材料316L不锈钢,开展了电子轰击参数对放气的影响特性实验研究。结果表明,电子束首次轰击新鲜表面时,电子轰击放气响应是立即且剧烈的,后续轰击虽仍为即时响应,但强度显著衰减;随电子束累积剂量的增加,电子轰击放气量和电子产额逐渐下降,降至初始值的近一半;随电子通量的增加,电子轰击放气量和电子产额略微增加;随轰击电子能量的增加,电子轰击放气量和电子产额逐渐增加;电子束轰击表面积也会显著影响材料的放气响应,随着轰击面积增大,电子产额会迅速增至初始值的8倍。316L不锈钢的电子轰击放气组分主要是H_(2),此外还会释放出N_(2)/CO和CO_(2),且这些放气组分的离子流也受电子束轰击参数的影响。 展开更多
关键词 电子诱导放气 电子束 不锈钢 真空 影响因素
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电子致放气测试装置的研究 被引量:1
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作者 罗艳 王魁波 +5 位作者 吴晓斌 李慧 谢婉露 沙鹏飞 韩晓泉 王金地 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期196-203,共8页
材料表面吸附的气体分子在电子轰击作用下,会加速释放到真空系统中。为了测试在电子轰击下的材料放气特性,研制了一套电子致放气的测试装置。电子束发生器作为重要的组成部件,具有许多可调参数,这些参数会在一定程度上影响输出的电子束... 材料表面吸附的气体分子在电子轰击作用下,会加速释放到真空系统中。为了测试在电子轰击下的材料放气特性,研制了一套电子致放气的测试装置。电子束发生器作为重要的组成部件,具有许多可调参数,这些参数会在一定程度上影响输出的电子束质量,进而影响电子致放气测试结果。文章首先通过实验测量了电子束斑和束流的影响因素,结果表明,聚焦电压和栅极电压对束斑的尺寸有直接的影响,而能量电压对电子束斑直径没有影响。此外,阴极电压、电子能量和栅极电压都可影响到发射电流,从而影响出射的电子束电流。为了验证装置的电子致放气测试能力,采用放气率很低的316 L不锈钢作为测试样品,比较测试其经过三次电子束轰击前后的放气特性。结果表明,经过除气的316 L不锈钢的电子致放气率可较明显地测定,且电子束轰击下放气的主要成分由N_(2)/CO变为H_(2)。 展开更多
关键词 电子诱导解吸 放气 电子束 真空
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AlN介质层对GaN表面生长金刚石钝化膜的影响研究
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作者 梁礼峰 郁鑫鑫 +4 位作者 李忠辉 刘金龙 李成明 王鑫华 魏俊俊 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第8期1417-1425,共9页
GaN表面生长金刚石钝化膜可用于改善器件传热能力,提升器件功率特性及可靠性。在GaN和金刚石层中间的介质层,对于实现高质量的GaN表面金刚石(Diamond-on-GaN)至关重要。本研究采用原子层沉积(ALD)技术在GaN表面预先沉积了10 nm的晶态/... GaN表面生长金刚石钝化膜可用于改善器件传热能力,提升器件功率特性及可靠性。在GaN和金刚石层中间的介质层,对于实现高质量的GaN表面金刚石(Diamond-on-GaN)至关重要。本研究采用原子层沉积(ALD)技术在GaN表面预先沉积了10 nm的晶态/非晶态混合的AlN介质层,并通过氧终端金刚石悬浮液在AlN层上实现了高密度静电自组装播种;随后通过优化的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)工艺再生长约120 nm厚的纳米晶金刚石(NCD)薄膜。表面氧终端调控的纳米金刚石悬浮液可以在AlN介质层表面实现高密度播种,结合梯度甲烷的MPCVD金刚石生长工艺,制备出了具有高结晶度、低粗糙度(Ra=15.2 nm)和低残余应力(0.84 GPa)的NCD薄膜。时域热反射(TDTR)测量表明,NCD薄膜的热导率约为123.85 W·m^(-1)·K^(-1),GaN与NCD之间的有效界面热阻(TBReff)为(9.78±0.27) m^(2)·K·GW^(-1)。透射电子显微镜(TEM)分析表明,AlN介质层有效保护了GaN免受等离子体刻蚀,并实现了金刚石和GaN之间的光滑界面。本研究表明,采用薄的ALD AlN作为在GaN表面生长金刚石的介质层可以与氧终端金刚石籽晶实现静电自组装,从而提高金刚石形核密度,再通过梯度甲烷金刚石沉积工艺,能够在GaN上沉积出高质量的NCD薄膜并降低金刚石与GaN的界面热阻。 展开更多
关键词 纳米晶金刚石 GAN AlN介质层 热导率 界面热阻 原子层沉积 静电自组装播种
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反演光刻技术的研究进展
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作者 艾飞 苏晓菁 韦亚一 《电子与信息学报》 北大核心 2025年第1期22-34,共13页
反演光刻技术(ILT)相比传统的光学临近效应修正(OPC),生成的掩模具有成像效果更好,工艺窗口更大等优点,在当前芯片制造的工艺尺寸不断减小的背景下,逐渐成为主流的光刻掩模修正技术。该文首先介绍了反演光刻算法的基本原理和几种主流实... 反演光刻技术(ILT)相比传统的光学临近效应修正(OPC),生成的掩模具有成像效果更好,工艺窗口更大等优点,在当前芯片制造的工艺尺寸不断减小的背景下,逐渐成为主流的光刻掩模修正技术。该文首先介绍了反演光刻算法的基本原理和几种主流实现方法;其次,调研了当前反演光刻技术应用在光刻掩模优化问题上的研究进展,分析了反演光刻技术的优势和存在的问题。以希望为计算光刻及相关研究领域的研究人员提供参考,为我国先进集成电路产业的发展提供技术支持。 展开更多
关键词 先进集成电路技术 反演光刻技术 光学临近效应修正 掩模优化 研究进展
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FMCW激光雷达目标回波偏振特性研究
5
作者 刘宇 姜成昊 +3 位作者 袁野 解天鹏 平步云 朱精果 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第7期165-176,共12页
调频连续波(Frequency Modulated Continuous Wave,FMCW)激光雷达以其探测精度高、测距测速一体、抗干扰能力强等优势,广泛应用于目标探测、成像、定位与跟踪等领域。针对探测目标表面散射引起的偏振态变化导致回波光与本征光偏振失配现... 调频连续波(Frequency Modulated Continuous Wave,FMCW)激光雷达以其探测精度高、测距测速一体、抗干扰能力强等优势,广泛应用于目标探测、成像、定位与跟踪等领域。针对探测目标表面散射引起的偏振态变化导致回波光与本征光偏振失配现象,从目标探测与识别的角度出发,提出了一种基于偏振正交解调FMCW激光雷达探测系统,通过控制回波偏振态解决因偏振失配造成的探测能力减弱和探测距离受限的问题。实验结果表明,在相同测试环境下,相较于典型探测方式,六种典型目标边模抑制比分别提升了11.85%、11.98%、13.46%、15.39%、17.12%、18.29%。进一步实验表明,通过调整波片夹角(22.5°、45°、60°),得到当波片夹角为45°时,测距标准差取得最小值0.012 m,边模抑制比最高可提升至16.931 dB。通过对回波偏振态的研究,为FMCW激光雷达在目标识别应用提供一定的技术支撑。 展开更多
关键词 激光雷达 调频连续波 偏振正交解调 目标识别
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基于空间上下文的猫眼目标激光主动探测方法研究
6
作者 解天鹏 王春晓 +2 位作者 蒋衍 姜成昊 朱精果 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第8期126-135,共10页
针对复杂环境下猫眼目标探测易受环境干扰、特征区分度不足等问题,提出一种基于空间上下文的决策级融合猫眼目标检测算法(Decision-level Fusion based on Spatial Context,DFSC)。算法由三个模块组成:在猫眼目标检测模块中,提出基于自... 针对复杂环境下猫眼目标探测易受环境干扰、特征区分度不足等问题,提出一种基于空间上下文的决策级融合猫眼目标检测算法(Decision-level Fusion based on Spatial Context,DFSC)。算法由三个模块组成:在猫眼目标检测模块中,提出基于自适应迭代最大类间方差的图像二值化方法,结合迭代前景细化策略和动态收敛机制,在精确提取猫眼目标连通域的同时保留局部细节信息;构建了傅里叶功率谱和归一化加权质心偏移特征描述子,提升猫眼与干扰目标的可区分性;提出基于自适应环境感知的多维特征加权融合方法,实现特征权重的自适应优化。在通用目标检测模块中,将可变形卷积DCNv3引入YOLOv8骨干网络的C2f模块,提升对遮挡目标和小目标的检测性能。在基于空间上下文的决策级融合模块中,通过计算猫眼目标的遮挡率来评估其与环境干扰目标的空间关系,从而有效抑制虚警。在基于自主研发的激光主动探测系统构建的猫眼目标检测数据集上开展实验,结果表明,与现有主流算法相比,召回率由92.2%提升至98.9%,精度由49.0%提升至74.5%,单帧耗时8.3 ms,显著降低了算法在复杂环境下的虚警率。 展开更多
关键词 猫眼目标 激光主动探测 空间上下文 决策级融合 虚警率
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激光跟踪仪主动对准靶标定位误差补偿方法研究
7
作者 程智 邱启帆 +5 位作者 李洋 王国名 张佳 董登峰 周维虎 张滋黎 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第5期136-146,共11页
激光跟踪仪作为高精度大尺寸测量仪器,广泛应用于航空航天、轨道交通等精密制造领域。为克服传统固定式靶标光束接收范围较小导致的测量过程易中断、测量效率不高等问题,设计了一种具备主动对准功能的激光跟踪仪合作靶标,通过基于电流... 激光跟踪仪作为高精度大尺寸测量仪器,广泛应用于航空航天、轨道交通等精密制造领域。为克服传统固定式靶标光束接收范围较小导致的测量过程易中断、测量效率不高等问题,设计了一种具备主动对准功能的激光跟踪仪合作靶标,通过基于电流环、速度环和位置环的三闭环反馈控制模型和分段式PID控制算法,实现靶标对测量激光的快速主动对准。在此基础上,建立了包含主动对准靶标全部几何误差和运动参数的运动学误差模型,提出结合遗传算法和最小二乘法的模型参数辨识方法,基于辨识后的参数对靶标棱镜顶点的空间坐标位置进行补偿。实验结果表明,利用提出的分段式PID对准控制算法,主动对准靶标的最大对准角速率可达51.9(°)/s,动态对准偏差引入的光程变化不超过7.1×10^(-5)mm,可确保动态条件下测量结果与静态测量相一致。利用提出的靶标坐标几何误差补偿方法,靶标位移测量误差极值由补偿前的0.182 mm下降至0.034 mm,验证了该方法的有效性。文中提出的分段式PID对准控制与误差补偿方法显著提升了主动对准靶标的坐标测量精度,可满足工业机器人校准等典型激光跟踪测量应用领域的高精度自动化测量需求。 展开更多
关键词 激光跟踪仪 主动对准 几何误差补偿 精密测量 全局优化
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面向商用存算一体架构矩阵乘算子协同优化策略研究
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作者 贺煜凯 谢童欣 +2 位作者 朱振华 高岚 李冰 《电子与信息学报》 北大核心 2025年第9期3187-3197,共11页
由于近存架构对数据密集型程序加速的潜力,Samsung等公司推出基于高带宽存储器与存内计算(HBM-PIM)的近存芯片用于大模型加速,得益于HBM的高带宽和天然并行特性,近存计算表现出对大模型极佳的加速。该文发现,矩阵规模变化时,HBM-PIM架... 由于近存架构对数据密集型程序加速的潜力,Samsung等公司推出基于高带宽存储器与存内计算(HBM-PIM)的近存芯片用于大模型加速,得益于HBM的高带宽和天然并行特性,近存计算表现出对大模型极佳的加速。该文发现,矩阵规模变化时,HBM-PIM架构的加速性能表现出不稳定性,限制了大模型部署的加速提升。为了释放HBM-PIM的加速潜力,该文深度分析了不同规模算子在HBM-PIM上性能差异的根本原因在于当前HBM-PIM对矩阵乘数据划分、映射和执行的支持不足,进而提出融合动态Bank分配、奇偶Bank交错式地址映射与分片虚拟化计算优化方法,有效提高了资源利用率和计算并行性。评估结果表明,所提方法对不同规模的矩阵计算都取得了1.894~8.225的加速比,相比优化前,性能平均提升了2.7倍。该文所提方案有效增强了PIM体系结构在多尺度任务下的可扩展性与适配能力,为AI算子在存内计算平台上的高效映射与调度提供了有益参考。 展开更多
关键词 存算一体 算子性能优化 矩阵乘算子 数据并行 地址映射策略
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微电子所在黑硅电池研究中取得进展
9
《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期866-866,共1页
近日,中国科学院微电子研究所四室研究员贾锐的科研团队在新型黑硅电池研究方面取得新进展。 黑硅具有良好的陷光特性和极低的光反射率(〈1%),在高效率、低成本晶体硅电池方面有着重要的产业化应用前景,是国际关注的研究热点领域。目... 近日,中国科学院微电子研究所四室研究员贾锐的科研团队在新型黑硅电池研究方面取得新进展。 黑硅具有良好的陷光特性和极低的光反射率(〈1%),在高效率、低成本晶体硅电池方面有着重要的产业化应用前景,是国际关注的研究热点领域。目前,黑硅太阳能电池效率提升存在诸多瓶颈, 展开更多
关键词 硅电池 硅太阳能电池 晶体硅 微电子研究所 微电子所 光特性 力差 产业化应用 载流子输运 中国科学院
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微电子所在石墨烯晶体管物理模型及其电路应用研究中获进展
10
《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3570-3570,共1页
近日,中国科学院微电子研究所在石墨烯晶体管物理模型及其电路应用研究方面取得进展。微电子所微电子器件与集成技术重点实验室在中国科学院、国家自然科学基金委和科技部的支持下,长期致力于分子电子学基本问题的研究,基于半经典的玻... 近日,中国科学院微电子研究所在石墨烯晶体管物理模型及其电路应用研究方面取得进展。微电子所微电子器件与集成技术重点实验室在中国科学院、国家自然科学基金委和科技部的支持下,长期致力于分子电子学基本问题的研究,基于半经典的玻尔兹曼传输理论和热激发传输理论,在国际上首次提出了针对石墨烯晶体管的连续物理模型。 展开更多
关键词 物理模型 石墨烯 微电子所 微电子器件 分子电子学 微电子研究所 热激发 应用研究 玻尔兹曼 中获
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微电子所等在多晶黑硅太阳能电池研究上再获突破
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《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1607-1607,共1页
近日,中国科学院微电子所微电子设备研究室(八室)研究员夏洋带领科研团队联合嘉兴微电子仪器与设备工程中心,在多晶黑硅太阳能电池研究上再次获得突破,电池转换效率达到17.88%,在多晶硅太阳能电池研究领域中处于先进水平。
关键词 多晶硅太阳能电池 微电子设备 中国科学院 工程中心 电子仪器 科研团队 转换效率 研究员
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磁性多层膜的X射线光电子能谱研究 被引量:3
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作者 于广华 赵洪辰 +4 位作者 腾蛟 柴春林 朱逢吾 夏洋 柴淑敏 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2000年第5期315-318,共4页
用射频 /直流磁控溅射法制备了NiOx/Ni81Fe19和Co/AlOx/Co磁性薄膜。利用X射线光电子能谱研究了NiOx 对Ni81Fe19耦合交换场Hex与NiOx 化学状态的关系以及Co/AlOx/Co磁性薄膜中AlOx 对Co膜的覆盖状况。结果表明 :Hex的大小只与 +2价镍有... 用射频 /直流磁控溅射法制备了NiOx/Ni81Fe19和Co/AlOx/Co磁性薄膜。利用X射线光电子能谱研究了NiOx 对Ni81Fe19耦合交换场Hex与NiOx 化学状态的关系以及Co/AlOx/Co磁性薄膜中AlOx 对Co膜的覆盖状况。结果表明 :Hex的大小只与 +2价镍有关 ,单质镍和 +3价镍对Hex没什么作用 ;在Co/AlOx/Co磁性薄膜中 ,Al层将Co膜完全覆盖所需要的最小厚度为 2 .0nm ,用角分辨XPS测出的Al氧化厚度为 1 展开更多
关键词 氧化铝 Ф射线光电子能谱 氧化镍 磁性多层膜
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新型抗蚀剂的电子束曝光性能研究 被引量:1
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作者 赵珉 朱齐媛 +1 位作者 陈宝钦 牛洁斌 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期458-463,共6页
为了满足越来越多的特殊结构纳米电子器件的制作要求,亟需进一步提高电子束光刻的分辨率与质量,选择适合的高分辨率电子束抗蚀剂材料显得尤为重要。从曝光剂量以及显影与烘烤过程中具体工艺条件的影响等方面对三种新型抗蚀剂材料HSQ,Cal... 为了满足越来越多的特殊结构纳米电子器件的制作要求,亟需进一步提高电子束光刻的分辨率与质量,选择适合的高分辨率电子束抗蚀剂材料显得尤为重要。从曝光剂量以及显影与烘烤过程中具体工艺条件的影响等方面对三种新型抗蚀剂材料HSQ,Calixarene和ARN7520进行了电子束曝光性能的研究,同时也对三者的优缺点进行了讨论。通过实验可知,三种新型抗蚀剂均有小于50 nm的高曝光分辨率。HSQ与衬底有更好的附着力,具有较高的机械强度和对比度,在小面积密集图形的制作中具有较好的性能。而ARN7520具有较高的灵敏度,受电子束邻近效应的影响较小,更适合复杂版图的制作。Calixarene虽然也具有较高的曝光分辨率,但过低的灵敏度严重限制了其实用性。 展开更多
关键词 电子束光刻 抗蚀剂 高分辨率 灵敏度 对比度
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集成电路和功率器件抗辐射工艺加固技术研究综述 被引量:2
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作者 李博 王磊 +3 位作者 刘凡宇 陈思远 陆江 舒磊 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第S02期512-526,共15页
随着我国空间装备的高速发展,尤其是深空探测器,微电子器件抗辐射性能得到广泛关注。抗辐射工艺加固是实现器件抗辐射性能提升的重要途径之一。本文围绕空间总剂量效应和单粒子效应,对近年来集成电路和功率器件辐射效应机理和工艺加固... 随着我国空间装备的高速发展,尤其是深空探测器,微电子器件抗辐射性能得到广泛关注。抗辐射工艺加固是实现器件抗辐射性能提升的重要途径之一。本文围绕空间总剂量效应和单粒子效应,对近年来集成电路和功率器件辐射效应机理和工艺加固技术的研究进展进行了介绍和总结,为抗辐射工艺加固技术的发展与应用提供了有益参考。 展开更多
关键词 工艺加固 总剂量效应 单粒子效应 集成电路 功率器件
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基于实验经济学视角的中国排污权拍卖形式研究 被引量:2
15
作者 郭瑞 刘文杰 +2 位作者 赵丹 黄姗姗 胡玉杰 《生态经济》 北大核心 2020年第11期159-164,171,共7页
党的十九大报告指出,中国经济已经进入高质量发展新阶段,供给侧结构性改革和绿色发展理念深入推进,生产企业也逐步由高污染高投入模式向清洁环保低污染模式转型,这就使得现阶段采用的排污权拍卖形式需要按照效率最大化的原则进行重新调... 党的十九大报告指出,中国经济已经进入高质量发展新阶段,供给侧结构性改革和绿色发展理念深入推进,生产企业也逐步由高污染高投入模式向清洁环保低污染模式转型,这就使得现阶段采用的排污权拍卖形式需要按照效率最大化的原则进行重新调整与优化。采用实验经济学研究方法,利用统一价格拍卖、歧视价格拍卖、时钟拍卖、多轮歧视价格拍卖四种方式,分析了成交价格、拍卖效率、买方和卖方收益四个指标,以研究中国生产型企业转型升级过程与拍卖形式选择的关系。实证研究结果显示,统一价格拍卖形式是效率最优的拍卖类型。当行业进行转型升级后,无论采用何种拍卖形式,均会使得拍卖成交价格下降,降低了排污权许可证的稀缺性;从拍卖效率角度来看,升级后只有时钟拍卖会降低拍卖效率;从买者收益角度来看,升级后只有时钟拍卖会降低买者收益;从卖者收益角度来看,无论采用哪种方式都使得卖者收益降低。基于研究结论,提出了在排污权拍卖形式的选择或法制的完善过程中,一定要兼顾效率与公平性,以免形成排污权市场的垄断现象。 展开更多
关键词 排污权拍卖 统一价格拍卖 歧视价格拍卖 时钟拍卖 多轮歧视价格拍卖
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从生物力学和有限元建模仿真角度探讨针刺手法量学研究的新思路 被引量:2
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作者 江天云 辛娟娟 +8 位作者 刘群 郭亚婷 田鹏 戴志伟 余亢 王启航 喻晓春 杨浩 高俊虹 《医用生物力学》 CAS CSCD 北大核心 2024年第S01期271-271,共1页
目的针刺手法是针刺得气和治疗疾病起效的重要因素之一。针刺手法定量化对针刺手法教学传承和临床应用及其标准化意义重大。针刺作用力是表征针刺手法的一个重要物理量,深入研究针刺过程中针体和穴区组织之间的受力情况不论是对于针刺... 目的针刺手法是针刺得气和治疗疾病起效的重要因素之一。针刺手法定量化对针刺手法教学传承和临床应用及其标准化意义重大。针刺作用力是表征针刺手法的一个重要物理量,深入研究针刺过程中针体和穴区组织之间的受力情况不论是对于针刺手法的教学和传承还是其标准化都显得尤为重要。有限元建模仿真方法是研究人体组织应力分布和进行生物力学分析的常用手段。本文拟从生物力学和有限元建模仿真角度探讨针刺手法量学研究的新思路。方法使用ABAQUS软件建立针灸针和人体组织的有限元仿真模型,通过实验获取提插手法进针时针体受力最大值为0.3N,然后计算得到使用提插手法时人体组织的受力情况。结果进针时组织的最大von Mises应力为1.182 MPa,发生在针体刺入的部位;针体的最大MISES应力为20.59 MPa,发生在针尖部位。结论将有限元建模仿真方法应用到针刺手法力学参数的量化研究中,可从生物力学的角度为针刺手法研究及其传承发展提供量化依据,为不同针刺手法量学规律及针刺手法量学标准化的研究提供新的思路。 展开更多
关键词 针刺得气 针刺手法量学 针体 针灸针 生物力学 穴区 临床应用 量化依据
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PEN衬底氧化镓基柔性紫外探测器的制备与性能研究(特邀) 被引量:2
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作者 丁悦 皇甫倩倩 +6 位作者 左清源 梁金龙 弭伟 王迪 张兴成 刘振 何林安 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期49-57,共9页
针对传统硬性衬底无法弯折的问题,采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)衬底制备柔性紫外光电探测器。柔性衬底具有的抗曲折性,能够提升探测器的鲁棒性,并且能让其适用于各种复杂形态的应用场景,同时减少占用空间,有助于整个电路的集成化。实验... 针对传统硬性衬底无法弯折的问题,采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)衬底制备柔性紫外光电探测器。柔性衬底具有的抗曲折性,能够提升探测器的鲁棒性,并且能让其适用于各种复杂形态的应用场景,同时减少占用空间,有助于整个电路的集成化。实验使用磁控溅射镀膜工艺首先在PEN衬底上生长氧化镓薄膜,并在氧化镓薄膜上生长氧化铟锡电极,在室温下成功制备柔性氧化镓紫外光电探测器,器件响应波长处于小于280 nm的深紫外区。将器件弯折20000次后其暗电流无显著变化,光电流增大,保持了良好的紫外光探测性能,探测器上升时间和衰减时间分别为0.24 s/0.74 s和0.10 s/0.71 s,其电流-时间特性曲线呈现周期性稳定,表明即使经过多次弯折,柔性氧化镓紫外探测器仍然具有良好的光电探测性能。 展开更多
关键词 半导体光电探测器 柔性紫外探测器 射频磁控溅射 氧化镓 聚萘二甲酸乙二醇酯 氧化铟锡
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SiC MOSFET高温栅氧可靠性研究 被引量:4
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作者 刘建君 陈宏 +3 位作者 丁杰钦 白云 郝继龙 韩忠霖 《电源学报》 CSCD 北大核心 2024年第1期147-152,共6页
碳化硅SiC(silicon carbide)具有优良的电学和热学特性,是一种前景广阔的宽禁带半导体材料。SiC材料制成的功率MOSFET(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor)非常适合应用于大功率领域,而高温栅氧可靠性是大功率MOSFET最... 碳化硅SiC(silicon carbide)具有优良的电学和热学特性,是一种前景广阔的宽禁带半导体材料。SiC材料制成的功率MOSFET(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor)非常适合应用于大功率领域,而高温栅氧可靠性是大功率MOSFET最需要关注的特性之一。通过正压高温栅偏试验和负压高温栅偏试验对比了自研SiC MOSFET和国外同规格SiC MOSFET的高温栅氧可靠性。负压高温栅偏试验结果显示自研SiC MOSFET与国外SiC MOSFET的阈值电压偏移量基本相等,阈值电压偏移量百分比最大相差在4.52%左右。正压高温栅偏试验的结果显示自研SiC MOSFET的阈值电压偏移量较小,与国外SiC MOSFET相比,自研SiC MOSFET的阈值电压偏移量百分比最大相差11%。自研器件占优势的原因是在SiC/SiO2界面处引入了适量的氮元素,钝化界面缺陷的同时,减少了快界面态的产生,使总的界面态密度被降到最低。 展开更多
关键词 SiC MOSFET 可靠性 栅氧 高温栅偏
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片上集成FMCW激光雷达研究进展(封面文章·特邀) 被引量:3
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作者 朱精果 袁野 +2 位作者 姜成昊 刘宇 赵政伟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第8期1-17,共17页
随着硅基光电子集成技术快速发展,具有测距测速一体、探测精度高、抗干扰能力强的片上集成调频连续波(Frequency Modulated Continuous Wave,FMCW)激光雷达已成为研究热点,并在智能驾驶、航空航天、目标监测和公共安全等领域释放出越来... 随着硅基光电子集成技术快速发展,具有测距测速一体、探测精度高、抗干扰能力强的片上集成调频连续波(Frequency Modulated Continuous Wave,FMCW)激光雷达已成为研究热点,并在智能驾驶、航空航天、目标监测和公共安全等领域释放出越来越大的应用潜力。文中聚焦基于光学相控阵(Optical Phased Array,OPA)的片上集成FMCW激光雷达,介绍了系统工作原理及典型组成,针对国内外研究进展,概述分析了片上集成FMCW激光雷达的发展现状,同时从调频、发射、扫描、探测和处理等角度凝练了主要关键技术,并梳理了片上集成FMCW激光雷达在相关领域的应用前景和典型系统示例。最后,分析并展望了片上集成FMCW激光雷达面临的潜在挑战及发展趋势。 展开更多
关键词 激光雷达 调频连续波 光学相控阵 片上集成
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130 nm 7T SOI SRAM总剂量与单粒子协和效应研究
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作者 肖舒颜 郭刚 +7 位作者 王林飞 张峥 陈启明 高林春 王春林 张付强 赵树勇 刘建成 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期506-512,共7页
为进一步阐明SOI器件中总剂量效应(TID)与单粒子效应(SEE)间的协和效应,本文基于SOI工艺特征尺寸为130 nm的国产7T结构SRAM进行了相关研究。通过对4组SOI SRAM开展了不同TID辐照后的SEE实验,得到器件单粒子翻转(SEU)截面随TID的变化规律... 为进一步阐明SOI器件中总剂量效应(TID)与单粒子效应(SEE)间的协和效应,本文基于SOI工艺特征尺寸为130 nm的国产7T结构SRAM进行了相关研究。通过对4组SOI SRAM开展了不同TID辐照后的SEE实验,得到器件单粒子翻转(SEU)截面随TID的变化规律。SOI SRAM的SEU截面在TID辐照后呈现明显的降低,最大在750 krad(Si)剂量辐照后下降80.5%。器件的饱和截面呈现随剂量增加而下降的趋势,最大下降19.5%,研究中未发现SEU阈值的明显变化。分析认为,延迟晶体管N5的等效关态电阻因为TID辐照而增加,该现象会造成N5的延迟作用增强,是该款器件SEU截面下降的主要原因。采用这种7T结构的SOI SRAM的抗SEE性能会随其在轨累积剂量的增加而逐渐增强,这为今后电子器件的抗辐射加固提供了启示。 展开更多
关键词 总剂量效应 单粒子效应 协和效应 单粒子翻转 静态随机存储器
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