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一种新的散射电子空间输运坐标转换方法
被引量：
6
1
作者
任黎明
陈宝钦
+1 位作者
谭震宇
顾文琪
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期24-27,共4页
提出一种新的随动坐标系矢量转换方法,给出用于转换散射电子空间输运坐标的矩阵方程。 该方程具有递推的形式,计算方便,并且只涉及乘法运算,不会引起计算上的困难,将其用于PMMA-Si中电子散射过程的Monte Carlo模拟,结果表明可以有效节...
提出一种新的随动坐标系矢量转换方法,给出用于转换散射电子空间输运坐标的矩阵方程。 该方程具有递推的形式,计算方便,并且只涉及乘法运算,不会引起计算上的困难,将其用于PMMA-Si中电子散射过程的Monte Carlo模拟,结果表明可以有效节约机时,提高模拟效率,明显优于习惯上使用的静态坐标系方程。
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关键词
电子束曝光
蒙特卡罗法
坐标转换
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职称材料
题名
一种新的散射电子空间输运坐标转换方法
被引量：
6
1
作者
任黎明
陈宝钦
谭震宇
顾文琪
机构
中国科学院
微电子
中心
微光刻实验室
山东大学电气工程
学院
中国科学院微电子中心电工研究所
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期24-27,共4页
基金
国家九五科技攻关项目(KT0305-G9720 97-762-03-02)
国家重点基础研究项目(973计划)(G2000036504)
文摘
提出一种新的随动坐标系矢量转换方法,给出用于转换散射电子空间输运坐标的矩阵方程。 该方程具有递推的形式,计算方便,并且只涉及乘法运算,不会引起计算上的困难,将其用于PMMA-Si中电子散射过程的Monte Carlo模拟,结果表明可以有效节约机时,提高模拟效率,明显优于习惯上使用的静态坐标系方程。
关键词
电子束曝光
蒙特卡罗法
坐标转换
Keywords
Electron-beam exposure
Monte Carlo method
Coordinate transformation
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新的散射电子空间输运坐标转换方法
任黎明
陈宝钦
谭震宇
顾文琪
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2002
6
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