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题名大能量高功率准分子激光的应用及关键技术
被引量：5
- 1
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作者
赵家敏
游利兵
余吟山
方晓东
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机构
中国科学院安徽光学精密机械研究所激光技术中心
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出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第6期696-702,共7页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61205138)
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文摘
实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理,介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用。分析了大能量高功率准分子激光器的关键技术,如大面积均匀放电技术,预电离技术,高压快脉冲激励技术以及为了得到更大的脉冲能量及功率输出而采用的双腔同步技术。
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关键词
激光技术
准分子激光
大能量
高功率
磁脉冲压缩
激光退火
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Keywords
laser techniques
excimer laser
large energy
high power magnetic pulse compression
laser annealing
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分类号
TN248.2
[电子电信—物理电子学]
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题名准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究
被引量：7
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作者
厉彦超
游利兵
王庆胜
余吟山
方晓东
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机构
中国科学院安徽光学精密机械研究所激光技术研究中心
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第6期803-807,共5页
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文摘
为了解决高重复率下准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位问题,以理论分析为指导,结合磁开关工作特性,设计了一种磁芯精确复位电路,该电路可快速精确复位饱和后的磁开关。将此复位系统应用于准分子激光器脉冲电源测试其性能,复位电流在磁开关饱和后200μs内平息振荡。结果表明,这一磁芯复位系统可满足4kHz重复率下脉冲电源的复位要求。此研究对今后高重复率准分子激光电源的设计是有帮助的。
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关键词
激光器
复位系统
磁脉冲压缩
脉冲电源
准分子激光
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Keywords
lasers
reset system
magnetic pulse compression
pulse power
excimer laser
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分类号
TN86
[电子电信—信息与通信工程]
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题名激光二极管泵浦高功率Nd:YAG紫外激光器
被引量：5
- 3
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作者
董云升
郭强
王首长
吴边
张少飞
胡爱兰
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机构
中国科学院安徽光学精密机械研究所激光技术中心
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2008年第3期449-451,共3页
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基金
合肥市科学技术局资助项目(20051039)
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文摘
对半导体侧面泵浦Nd:YAG准连续高功率紫外激光器进行实验研究,首次采用新颖谐振腔型对基波进行非线性转换获得稳定的355nm紫外激光输出。在主谐振腔中,3列相互呈120°放置的激光二极管线阵对中心处直径3mm的Nd:YAG晶体棒进行连续泵浦,实现了1064nm基频光稳定振荡;在子腔中,使用对基频光双程倍频双程和频的方法提高转换效率,实现了高功率准连续355nm紫外激光单向稳定输出;实验使用角度调谐的Ⅰ类相位匹配LBO晶体与Ⅱ类相位匹配LBO晶体,当调制频率5.4kHz时,355nm紫外激光最高平均输出功率1.89W,脉冲宽度小于65ns,1h内输出功率抖动低于7%。
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关键词
LD泵浦
LBO晶体
三倍频
紫外激光器
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Keywords
LD pumped
LBO crystal
Third harmonic generation （THG）
Ultraviolet laser
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分类号
TN248
[电子电信—物理电子学]
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