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微型光纤磁传感器的设计与制作
被引量：
13
1
作者
龙亮
钟少龙
+1 位作者
徐静
吴亚明
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期2294-2302,共9页
提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和...
提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和光纤检测原理,介绍了器件综合设计方法,并给出了器件的结构参数。利用MEMS加工技术成功制作出了MEMS光纤磁传感器样品,最终得到的磁传感器的尺寸为3.7 mm×2.7 mm×0.5 mm。对磁传感器进行了实验测试,得到的输出实验值与理论值吻合。测试结果表明,该磁传感器的光纤检测灵敏度可达到0.65 dB/mT,最小可分辨磁场可达167 nT。将MEMS敏感结构与光纤检测相结合,该传感器兼备了两者的优点,结构紧凑、制作工艺简单、工作时无需电流激励。
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关键词
光纤传感器
磁传感器
微机电系统
光纤检测
磁性薄膜
在线阅读
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职称材料
基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作
被引量：
3
2
作者
龙亮
钟少龙
吴亚明
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第5期59-61,65,共4页
提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEM...
提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEMS磁传感器样品,并进行了测试。测试结果表明:得到的MEMS磁传感器的电容灵敏度可达到27.7 fF/mT,且具有良好的线性度。根据现有的微小电容检测技术,传感器的磁场分辨率可达到36 nT。
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关键词
磁传感器
CoNiMnP永磁薄膜
电容检测
微机电系统
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职称材料
题名
微型光纤磁传感器的设计与制作
被引量：
13
1
作者
龙亮
钟少龙
徐静
吴亚明
机构
中国科学院
上海
微
系统与
信息
技术
研究所传感
技术
国家重点实验室
微
系统
技术
重点实验室
中国科学院大学微系统与信息技术学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期2294-2302,共9页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项资金资助项目(No.2012YQ250002)
文摘
提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和光纤检测原理,介绍了器件综合设计方法,并给出了器件的结构参数。利用MEMS加工技术成功制作出了MEMS光纤磁传感器样品,最终得到的磁传感器的尺寸为3.7 mm×2.7 mm×0.5 mm。对磁传感器进行了实验测试,得到的输出实验值与理论值吻合。测试结果表明,该磁传感器的光纤检测灵敏度可达到0.65 dB/mT,最小可分辨磁场可达167 nT。将MEMS敏感结构与光纤检测相结合,该传感器兼备了两者的优点,结构紧凑、制作工艺简单、工作时无需电流激励。
关键词
光纤传感器
磁传感器
微机电系统
光纤检测
磁性薄膜
Keywords
optical fiber sensor
magnetic sensor
Micro-electro-mechanical System（MEMS）
opticalfiber detection
magnetic film
分类号
TN253 [电子电信—物理电子学]
TM936.1 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作
被引量：
3
2
作者
龙亮
钟少龙
吴亚明
机构
中国科学院
上海
微
系统与
信息
技术
研究所传感
技术
国家重点实验室
中国科学院大学微系统与信息技术学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第5期59-61,65,共4页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2012YQ250002)
文摘
提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEMS磁传感器样品,并进行了测试。测试结果表明:得到的MEMS磁传感器的电容灵敏度可达到27.7 fF/mT,且具有良好的线性度。根据现有的微小电容检测技术,传感器的磁场分辨率可达到36 nT。
关键词
磁传感器
CoNiMnP永磁薄膜
电容检测
微机电系统
Keywords
magnetic sensor
CoNiMnP permanent magnetic film
capacitance detection
micro-electro-mechanical system （MEMS）
分类号
TM936.1 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微型光纤磁传感器的设计与制作
龙亮
钟少龙
徐静
吴亚明
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
13
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职称材料
2
基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作
龙亮
钟少龙
吴亚明
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014
3
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