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题名等离子体光学加工关键技术研究现状
被引量：3
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作者
焦培琦
辛强
吴湘
吴永前
范斌
陈强
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机构
中国科学院大学光电技术研究所
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期359-374,共16页
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基金
国家自然科学基金项目(61905249)
国家重点研发计划项目(2016YFB0500401,2021YFC2202101)。
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文摘
等离子体加工技术是近年来发展起来的先进光学制造技术,具有快速缓解或去除传统光学加工方法导致的表面/亚表面损伤,以及高效、高精度和高分辨率修整光学面形的优势。从等离子体光学加工基本原理出发,基于等离子体激发频率与特征对发生器进行了简要叙述;进一步对各研究机构在等离子体加工技术涉及的射流特性、界面物化反应、损伤去除机理、去除函数、加工热效应和工艺定位等关键技术研究内容及成果进行分析,并对等离子体的新型光学加工技术进行介绍。随着研究的不断深入,构建多物理场和化学反应综合作用下的等离子体加工模型,揭示表面等离子体特性分布与去除函数的内在联系,从而建立准确的去除函数模型,是提高修形精度的发展方向,研究热效应控制方法和补偿策略在降低由热效应带来的修形误差方面起到了重要作用。
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关键词
先进光学制造
等离子体加工
等离子体发生器
去除函数
热效应
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Keywords
advanced optics fabrication
plasma processing
plasma generator
removal function
thermal effect
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分类号
TN14
[电子电信—物理电子学]
TH74
[机械工程—光学工程]
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