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基于ZnO薄膜的高次谐波体声波谐振器的研究被引量：4: 1; 作者朱明博刘梦伟汪承灏《应用声学》 CSCD 北大核心 2013年第3期212-216,共5页; 基于氧化锌(ZnO)作压电层和蓝宝石作基底的高次谐波体声波谐振器(HBAR),采用不同电极材料和溅射方法进行优化。优化选定镀铬-金/氧化锌/铬-金/蓝宝石结构。对制备的器件进行了测试分析,结果显示,具有多模谐振特性的HBAR器件在2.87 GHz ... 展开更多; 关键词体声波谐振器 Q值 ZNO薄膜 Mason模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

薄膜体声波谐振器的梯形射频滤波器设计被引量：5: 2; 作者汤亮郝震宏 +1 位作者乔东海汪承灏《声学技术》 CSCD 北大核心 2008年第2期145-149,共5页; 从Mason等效电路模型出发,研究了基于薄膜体声波谐振器的梯形结构射频滤波器的设计。以往的研究中都没有考虑到介质的声损耗,这样得到的滤波器频响中就未计入插入损耗的影响。采用射频网络方法对薄膜体声波谐振器建模,并在模型中加入了... 展开更多; 关键词滤波器双工器振荡器射频微机电系统薄膜体声波谐振器; 在线阅读下载PDF 职称材料

ZnO薄膜体声波谐振器性能分析和研制被引量：2: 3; 作者汤亮郝震宏 +1 位作者乔东海汪承灏《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第4期387-389,413,共4页; 采用射频网络法分析了ZnO薄膜体声波谐振器的谐振特性,并考虑了介质声损耗对品质因数Q值的影响。采用硅体刻蚀工艺在硅基片上制备了以ZnO薄膜为压电膜的薄膜体声波谐振器,并对器件的性能进行了测试。将实验与理论分析结果进行对比,发现... 展开更多; 关键词滤波器双工器振荡器射频微机电系统薄膜体声波谐振器; 在线阅读下载PDF 职称材料

PGC解调光纤传声器技术的讨论被引量：2: 4; 作者邓越宫铭举乔东海《声学技术》 CSCD 北大核心 2007年第5期1014-1015,共2页; 光纤传声器是将声波信号转换成调制的光学信号，并通过光纤传输，再将调制的光信号解调成电信号的一种装置。光纤传声器较之驻极体传声器、硅微电容传声器等有明显的优势：由于在传感探头部分没有电信号的转换．也没有电子电路．因而不... 展开更多; 关键词驻极体传声器光纤传输 PGC解调技术电容传声器光学信号信号转换信号解调; 在线阅读下载PDF 职称材料

声表面波射频标签的快速有限元／边界元分析被引量：1: 5; 作者柯亚兵李红浪何世堂《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第1期16-18,共3页; 改进了漏波近似体波格林函数的快速有限元/边界元法,并应用该声表面波射频标签的分析。Peach提出漏波近似体波格林函数的理论但其方法需要经验公式计算漏波参数,该文提出了不需要经验公式的改进方法。该方法根据不同衰减的漏波在空间域... 展开更多; 关键词声表面波器件射频标签有限元边界元体波格林函数; 在线阅读下载PDF 职称材料

衬底和O_2/Ar气体比例对ZnO薄膜结构及性能的影响被引量：1: 6; 作者李俊红汪承灏徐联《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期79-82,共4页; 采用直流磁控溅射法沉积了ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜等手段对薄膜的晶体结构和微观相貌进行了分析,并对薄膜的电学性能进行了考察。结果表明:所制备薄膜沿c轴高度择优,并具有较高的电阻率;ZnO薄膜的沉积... 展开更多; 关键词 ZNO C轴取向微观结构电阻率; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于ZnO薄膜的高次谐波体声波谐振器的研究被引量：4: 1; 作者朱明博刘梦伟汪承灏; 机构中国科学院声学研究所声学微机电实验室; 出处《应用声学》 CSCD 北大核心 2013年第3期212-216,共5页; 文摘基于氧化锌(ZnO)作压电层和蓝宝石作基底的高次谐波体声波谐振器(HBAR),采用不同电极材料和溅射方法进行优化。优化选定镀铬-金/氧化锌/铬-金/蓝宝石结构。对制备的器件进行了测试分析,结果显示,具有多模谐振特性的HBAR器件在2.87 GHz Q值达到43000。根据一维Mason等效电路模型,HBAR器件还进行了理论仿真,结果表明理论结果与实测值基本一致。; 关键词体声波谐振器 Q值 ZNO薄膜 Mason模型; Keywords Bulk acoustic wave resonator, Quality factor, ZnO film, Mason model; 分类号 TN64 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名薄膜体声波谐振器的梯形射频滤波器设计被引量：5: 2; 作者汤亮郝震宏乔东海汪承灏; 机构中国科学院声学研究所声学微机电实验室; 出处《声学技术》 CSCD 北大核心 2008年第2期145-149,共5页; 基金国家自然科学基金(90607012); 文摘从Mason等效电路模型出发,研究了基于薄膜体声波谐振器的梯形结构射频滤波器的设计。以往的研究中都没有考虑到介质的声损耗,这样得到的滤波器频响中就未计入插入损耗的影响。采用射频网络方法对薄膜体声波谐振器建模,并在模型中加入了介质声损耗的影响,然后就基于薄膜体声波谐振器的梯形射频滤波器的传输响应、带宽、插入损耗、阻带抑制以及带内波纹情况进行了分析和讨论。; 关键词滤波器双工器振荡器射频微机电系统薄膜体声波谐振器; Keywords filter duplexer oscillator RF MEMS FBAR; 分类号 TN713 [电子电信—电路与系统] TN015 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名ZnO薄膜体声波谐振器性能分析和研制被引量：2: 3; 作者汤亮郝震宏乔东海汪承灏; 机构中国科学院声学研究所声学微机电实验室; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第4期387-389,413,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(90607012); 文摘采用射频网络法分析了ZnO薄膜体声波谐振器的谐振特性,并考虑了介质声损耗对品质因数Q值的影响。采用硅体刻蚀工艺在硅基片上制备了以ZnO薄膜为压电膜的薄膜体声波谐振器,并对器件的性能进行了测试。将实验与理论分析结果进行对比,发现实验器件的谐振频率与理论值一致,但器件Q值却比理论值低,进一步的分析揭示了实际器件Q值偏低的原因。; 关键词滤波器双工器振荡器射频微机电系统薄膜体声波谐振器; Keywords filter duplexer oscillator RF MEMS FBAR; 分类号 TN713 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PGC解调光纤传声器技术的讨论被引量：2: 4; 作者邓越宫铭举乔东海; 机构中国科学院声学研究所; 出处《声学技术》 CSCD 北大核心 2007年第5期1014-1015,共2页; 文摘光纤传声器是将声波信号转换成调制的光学信号，并通过光纤传输，再将调制的光信号解调成电信号的一种装置。光纤传声器较之驻极体传声器、硅微电容传声器等有明显的优势：由于在传感探头部分没有电信号的转换．也没有电子电路．因而不会受电磁信号的干扰，可以工作在强电场、强磁场或强射频场环境中。; 关键词驻极体传声器光纤传输 PGC解调技术电容传声器光学信号信号转换信号解调; 分类号 TN641 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名声表面波射频标签的快速有限元／边界元分析被引量：1: 5; 作者柯亚兵李红浪何世堂; 机构中国科学院声学研究所声学微机电系统实验室; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第1期16-18,共3页; 基金国家自然基金资助项目(10834010,11174318,61071054); 文摘改进了漏波近似体波格林函数的快速有限元/边界元法,并应用该声表面波射频标签的分析。Peach提出漏波近似体波格林函数的理论但其方法需要经验公式计算漏波参数,该文提出了不需要经验公式的改进方法。该方法根据不同衰减的漏波在空间域不同分布的原理,在空间域格林函数中区分出各漏波的贡献,然后采用数学拟合提取出漏波参数,最后以128°YX-LiNbO3基片为例计算证实了该方法的有效性。采用改进的快速有限元/边界元分析一种声表面波射频标签器件,仿真与实验吻合证明了该方法的精确性。; 关键词声表面波器件射频标签有限元边界元体波格林函数; Keywords surface acoustic wave devices radio frequency identification FEM/BEM bulk wave Green＇ s func-tion; 分类号 TN65 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名衬底和O_2/Ar气体比例对ZnO薄膜结构及性能的影响被引量：1: 6; 作者李俊红汪承灏徐联; 机构中国科学院声学研究所声学微机电系统实验室; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期79-82,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(90607003) 中国科学院知识创新工程资助项目(20002A01); 文摘采用直流磁控溅射法沉积了ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜等手段对薄膜的晶体结构和微观相貌进行了分析,并对薄膜的电学性能进行了考察。结果表明:所制备薄膜沿c轴高度择优,并具有较高的电阻率;ZnO薄膜的沉积速率和c轴择优度是由O2/Ar气体比例和衬底共同决定的;Au衬底上的ZnO薄膜以三维生长为主,在Al和Si衬底上出现了不同程度的薄膜二维生长;电阻率随O2/Ar气体比例的提高逐渐增加,Si衬底上薄膜的电阻率高于Al和Au衬底上的。; 关键词 ZNO C轴取向微观结构电阻率; Keywords ZnO c-axis orientation microstructure resistivity; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于ZnO薄膜的高次谐波体声波谐振器的研究	朱明博刘梦伟汪承灏	《应用声学》 CSCD 北大核心	2013	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	薄膜体声波谐振器的梯形射频滤波器设计	汤亮郝震宏乔东海汪承灏	《声学技术》 CSCD 北大核心	2008	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	ZnO薄膜体声波谐振器性能分析和研制	汤亮郝震宏乔东海汪承灏	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2008	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	PGC解调光纤传声器技术的讨论	邓越宫铭举乔东海	《声学技术》 CSCD 北大核心	2007	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	声表面波射频标签的快速有限元／边界元分析	柯亚兵李红浪何世堂	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2013	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	衬底和O_2/Ar气体比例对ZnO薄膜结构及性能的影响	李俊红汪承灏徐联	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料