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大气压等离子体制备类二氧化硅薄膜的实验研究 被引量:8
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作者 程诚 方鹏 +2 位作者 朱晓东 耿松 詹如娟 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期293-296,共4页
本文利用六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为硅的先驱粒子,氮或氩气为稀释气体,进行了大气压等离子体化学气相沉积类二氧化硅薄膜的实验研究。运用红外光谱(FTIR)、光电子能谱(XPS)和扫描电镜(SEM)对沉积的薄膜进行结构和表面分析。实验表明,当... 本文利用六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为硅的先驱粒子,氮或氩气为稀释气体,进行了大气压等离子体化学气相沉积类二氧化硅薄膜的实验研究。运用红外光谱(FTIR)、光电子能谱(XPS)和扫描电镜(SEM)对沉积的薄膜进行结构和表面分析。实验表明,当功率一定时,在低的HMDSO含量下,硅衬底上得到了一层平整、致密、连续的薄膜沉积。红外吸收谱分析呈现出明显的Si-O-Si吸收峰,表明了类二氧化硅结构,其中的[Si]/[O]含量比达到1∶1.56。当HMDSO含量增加时,薄膜中含碳键成分增加,薄膜表面的大颗粒增多。相对地氮气而言,氩气在大气压下更容易获得稳定均匀的等离子体和更大的生长速率/功率比。 展开更多
关键词 大气压等离子体 薄膜沉积
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HMDSO/H_2等离子体化学气相沉积非晶包覆纳米α-SiC薄膜的实验研究 被引量:1
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作者 颜官超 丁斯晔 +3 位作者 朱晓东 周海洋 温晓辉 丁芳 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期326-329,共4页
本文利用六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为先驱物质、氢气为稀释气体,进行了等离子体化学气相沉积碳硅薄膜的实验研究。运用X射线衍射、拉曼光谱、扫描电子显微镜和X射线光电子能谱对薄膜的成份和结构进行了分析。结果表明,在生长温度为750℃... 本文利用六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为先驱物质、氢气为稀释气体,进行了等离子体化学气相沉积碳硅薄膜的实验研究。运用X射线衍射、拉曼光谱、扫描电子显微镜和X射线光电子能谱对薄膜的成份和结构进行了分析。结果表明,在生长温度为750℃的条件下成功地得到了纳米-αSiC沉积,碳化硅晶粒被包覆在非晶的SiOxCy∶H成分中。薄膜由椭球状的颗粒组成,且随着HMDSO比例的增加,薄膜的结晶度和表面均匀性都得到改善。高流量氢气和HMDSO单体的使用被认为有效地促进了-αSiC晶体的形成。 展开更多
关键词 α-SiC 纳米 HMDSO
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微波单极子天线探针对等离子体密度的测量及修正 被引量:2
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作者 王慧慧 李弘 +5 位作者 尤玮 王雨后 李斌 陈志鹏 谢锦林 刘万东 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期82-87,共6页
对一种新的诊断等离子体密度的方法——微波单极子天线探针的反射特性进行了详细的实验和数值研究,并与静电双探针测量结果进行比较,实验验证了两种测量结果能够较好地吻合.结合实验和数值研究,分析了电子碰撞项、鞘层以及等离子体密度... 对一种新的诊断等离子体密度的方法——微波单极子天线探针的反射特性进行了详细的实验和数值研究,并与静电双探针测量结果进行比较,实验验证了两种测量结果能够较好地吻合.结合实验和数值研究,分析了电子碰撞项、鞘层以及等离子体密度不均匀性对测量结果的影响,并分别提出了鞘层修正和碰撞修正的方法,修正结果表明,在所给的实验条件中,即探针表面鞘层厚度小于1mm、气体压强小于200Pa时,鞘层修正及碰撞修正均可被忽略,而随着气压的升高,碰撞加剧,或者在较厚的鞘层条件下,修正的效果将会逐步突显.另外,测量的空间分辨率受探针几何尺寸制约. 展开更多
关键词 单极子天线探针 等离子体 密度诊断
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高增益自由电子激光饱和状态分析的一种统计物理方法 被引量:2
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作者 邹冰 李明光 +4 位作者 张鹏飞 李一丁 张辉 于淼 何多慧 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期612-617,共6页
讨论近年出现的分析自由电子激光系统饱和状态性质的一种统计物理方法.对于自由电子激光系统激光增益达到饱和时的主要物理参数所满足的方程作了推演,进而基于统计物理方法利用Lynden-Bell熵函数和Mathematica程序进行了相关的数值计算... 讨论近年出现的分析自由电子激光系统饱和状态性质的一种统计物理方法.对于自由电子激光系统激光增益达到饱和时的主要物理参数所满足的方程作了推演,进而基于统计物理方法利用Lynden-Bell熵函数和Mathematica程序进行了相关的数值计算和分析.为了对这一方法作验证和对比,通过直接数值模拟的方法分析了暖电子束入射情形下系统光强、聚束因子和粒子相空间分布的性质以及它们之间的对应关系,比较显示数值模拟结果与统计物理方法的相应结果一致. 展开更多
关键词 饱和 熵函数 数值模拟 Vlasov平衡 自由电子激光
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非理想注入电子在平面型波荡器中的运动与辐射 被引量:1
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作者 张鹏飞 庞宗柱 +3 位作者 阮图南 邹冰 李一丁 何多慧 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第9期917-921,共5页
对于平面型波荡器取一维近似,忽略光场对于电子运动的影响,给出了非理想注入相对论性电子在平面型波荡器中的运动方程,进而基于电磁辐射的一般理论基于Lénard-Wicherd势,导出了相应的电磁辐射的角度、频谱分布的表达式.
关键词 非理想注入 平面型波荡器 运动 辐射
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非理想注入电子在螺旋型波荡器中的运动与辐射
6
作者 张鹏飞 李明光 +4 位作者 邹冰 李一丁 张辉 于淼 何多慧 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期221-225,共5页
对于螺旋型波荡器磁场取一维近似,并忽略光场对于电子运动的影响,给出了非理想注入相对论性电子在螺旋型波荡器中的运动方程,进而按照电磁辐射的一般理论基于Liénard-Wiechert势,导出了相应的电磁辐射的角度、频谱分布的表达式.
关键词 非理想注入 螺旋型波荡器 运动 辐射
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加恒定轴向磁场螺旋型波荡器中的单电子轨道分析
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作者 邹冰 张鹏飞 +3 位作者 李一丁 张辉 于淼 何多慧 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期66-71,共6页
研究了在包含恒定轴向磁场的螺旋型波荡器中运动的电子动力学行为.采用Mathematica数值模拟考察一般条件下的电子轨道及其在横向平面内的投影形状.在电子入射偏离理想螺旋型轨道的情况下,电子在波荡器中的运动轨道在横向平面内的投影曲... 研究了在包含恒定轴向磁场的螺旋型波荡器中运动的电子动力学行为.采用Mathematica数值模拟考察一般条件下的电子轨道及其在横向平面内的投影形状.在电子入射偏离理想螺旋型轨道的情况下,电子在波荡器中的运动轨道在横向平面内的投影曲线可能是周期或者准周期的,对此作了讨论并给出了相应的判据. 展开更多
关键词 螺旋型波荡器 电子轨道 准周期
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