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计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动
被引量：
2
1
作者
杜晨辉
龚亮
+3 位作者
蔡小勇
殷伯华
江潮
安立宝
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期860-867,共8页
为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础...
为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础上对机械位移台进行谐响应分析,获取外界载荷频率与位移台上平面应力、应变、变形以及加速度之间的关系。机械位移台的静刚度为6.634×10~5 N/mm;水平X,Z两运动方向的耦合比分别为15.22%和17.63%;通过上层平面振动参数关于频率的响应曲线,得出危险频率为7 750Hz左右,即第8阶固有模态下的频率。X,Z两运动方向耦合较为明显,在对机械位移台进一步改进中,避开危险频率的同时,需对其进行位移补偿。
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关键词
计量型扫描电子显微镜
微位移台
振动
耦合位移
有限元分析
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职称材料
题名
计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动
被引量：
2
1
作者
杜晨辉
龚亮
蔡小勇
殷伯华
江潮
安立宝
机构
华北理工大学机械工程
学院
中国科学院国家纳米科学中心中国科学院纳米标准与检测重点实验室
中国科学院
电工研究所北京市生物电磁学
重点
实验室
中国科学院
大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期860-867,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51472074)
河北省引进海外高层次人才"百人计划"资助项目(No.E2012100005)
国家重点研发计划课题(No.2017YFF0105904)
文摘
为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础上对机械位移台进行谐响应分析,获取外界载荷频率与位移台上平面应力、应变、变形以及加速度之间的关系。机械位移台的静刚度为6.634×10~5 N/mm;水平X,Z两运动方向的耦合比分别为15.22%和17.63%;通过上层平面振动参数关于频率的响应曲线,得出危险频率为7 750Hz左右,即第8阶固有模态下的频率。X,Z两运动方向耦合较为明显,在对机械位移台进一步改进中,避开危险频率的同时,需对其进行位移补偿。
关键词
计量型扫描电子显微镜
微位移台
振动
耦合位移
有限元分析
Keywords
metrological scanning electron microscope
micro-displacement platform
vibration
coupling displacement
finite element analysis
分类号
TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动
杜晨辉
龚亮
蔡小勇
殷伯华
江潮
安立宝
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
2
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